根据本发明专利技术的实施方式的喷嘴设置有本体。本体中设置有：供应口，液体通过供应口被供应；排出口，液体通过排出口向下排出；以及流路，其在供应口与排出口之间延伸。流路设置有存储部和排气部。存储部包括：第一部分，液体在第一部分中朝排出口向下流动；以及第二部分，其设置在第一部分的下游，并且液体在第二部分中朝排出口向上流动。排气部能够在液体处于没有从排出口排出而被存储在存储部中的情况下将位于第二部分的上游的气体排出。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷嘴和液体供应装置
本专利技术的实施方式涉及喷嘴和液体供应装置。
技术介绍
传统上，已知通过喷嘴将化学液体从上方排出到诸如晶片等工件上的液体供应装置。引用列表专利文献专利文献1：日本未审查专利公开No.8-281184A专利文献2：日本未审查专利公开No.2005-44836A专利文献3：日本未审查专利公开No.10-119775A
技术实现思路
本专利技术要解决的问题上述液体供应装置可能在排出化学液体之后将化学液体从喷嘴滴到工件上，导致工件的质量劣化。因此，获得具有防止滴液的新颖结构的喷嘴是有用的。解决问题的手段一种实施方式的喷嘴包括本体。所述本体设置有：供应口，液体被供应至所述供应口；排出口，所述液体从所述排出口向下排出；以及流道，其在所述供应口与所述排出口之间延伸。所述流道包括存储部和排气部，所述存储部包括：第一部分，所述液体通过所述第一部分向下流到所述排出口；以及第二部分，其设置在所述第一部分的下游，所述液体通过所述第二部分向上流到所述排出口，所述排气部能够在所述液体没有从所述排出口排出而被存储在所述存储部中时将所述第二部分的上游的气体排出。附图说明图1是根据第一实施方式的化学液体涂覆装置的示意图。图2是根据第一实施方式的喷嘴的截面图。图3是根据第一实施方式的管的一部分的截面图。图4是根据第二实施方式的喷嘴的截面图。图5是根据第二实施方式的喷嘴的截面图，此时液体存储在排气部中。图6是根据第三实施方式的喷嘴的截面图。图7是根据第三实施方式的喷嘴的截面图，此时液体存储在排气部中。图8是根据第四实施方式的喷嘴的截面图。图9是根据第五实施方式的喷嘴的截面图。图10是沿线X-X截取的图9的截面图。图11是根据第六实施方式的喷嘴的截面图。图12是根据第七实施方式的喷嘴的截面图。图13是根据第八实施方式的喷嘴的截面图。图14是根据第九实施方式的喷嘴的截面图。图15是根据第十实施方式的喷嘴的截面图。图16是根据第十一实施方式的喷嘴的截面图。具体实施方式在下文中，将参考附图描述各实施方式。以下示例性实施方式包括具有相同或相似功能的部件。以相同的附图标记表示具有相同或相似功能的部件，并且可能省略重复的描述。<第一实施方式>参考图1至3描述第一实施方式。图1中示出的化学液体涂覆装置1将例如抗蚀液等化学液体200(图2)施加到诸如晶片等基板100上。化学液体涂覆装置1是液体供应装置的实例，基板100是对象(工件)的实例，并且化学液体200是液体的实例。如图1所示，化学液体涂覆装置1包括支撑单元10、喷嘴11、供给部12、收集器13和罩14。支撑单元10可分离地支撑基板100。支撑单元10通过诸如电动机等驱动源旋转该支撑单元上的基板100。支撑单元10布置在罩14中。喷嘴11布置在支撑单元10上的基板100上方，并且与基板100存在间隔。从供给部12为喷嘴11供应化学液体200并将该化学液体从上方喷射至基板100。供给部12包括容器20、泵21、阀22和管23。容器20存储化学液体200。容器20经由管23连接到喷嘴11。泵21和阀22设置在管23的中部，即在容器20和喷嘴11之间。泵21可以将化学液体200从容器20供应至喷嘴11。化学液体200通过管23被供应到喷嘴11。阀22设置在泵21和喷嘴11之间，以便能够打开和关闭管23中的流道。收集器13包括容器30、泵31、阀32和管33。管33连接到喷嘴11和管23中的阀22之间的部位并且连接至容器20。容器30、泵31和阀32设置在管33的中部。从管33中的容器20侧开始依次设置容器30、泵31和阀32。泵31进行抽吸并且对喷嘴11侧产生吸力。因此，泵31从喷嘴11和管23抽吸化学液体200。泵31所抽吸的化学液体200存储在容器30中。阀32可以打开和关闭管33中的流道。为了将化学液体200施加到基板100上，化学液体涂覆装置1打开阀22并且关闭阀32。然后，随着基板100在支撑单元10上旋转，泵21将化学液体200从容器20供应至喷嘴11。所供应的化学液体200从喷嘴11排出到基板100上。所排出的化学液体200通过离心力扩散到基板100的整个表面上。在化学液体200的施加完成后，化学液体涂覆装置1执行吸回。在吸回过程中，化学液体涂覆装置1关闭阀22并且打开阀32。然后，泵31执行抽吸。结果，从喷嘴11以及管23的位于喷嘴11与阀22之间的部分23a抽吸化学液体200。所抽吸的化学液体200从泵31排出到容器30以便存储。在以这种方式抽吸化学液体200后，化学液体涂覆装置1关闭阀32。通过如上所述的吸回过程，阻止了喷嘴11滴液。接下来，将详细地描述喷嘴11。在下文中，为了方便描述而定义了X方向、Y方向和Z方向。X方向、Y方向和Z方向彼此正交。Z方向沿着喷嘴11的本体40的上下方向(竖直方向)。如图2所示，喷嘴11包括本体40。本体40具有细长的形状，并由诸如陶瓷材料、氟基树脂或氯乙烯基树脂等高耐化学性材料制成。本体40的纵向方向(轴向)沿着本体40的竖直方向(Z方向)。本体40的侧向方向(宽度方向)沿着X方向和Y方向。本体40具有大致柱状的外观。本体40具有作为外表面(表面)的顶面41、底面42和侧面43。顶面41位于本体40的一个纵向端(顶端)并且还可以被称为端面。顶面41具有圆形平面形状。底面42位于本体40的另一个纵向端(底端)并且还可以被称为端面。底面42具有圆形平面形状。底面42面向支撑单元10和基板100。侧面43位于本体40的侧向端并且还可以被称为周面。侧面43在顶面41和底面42之间延伸。侧面43呈圆柱形。此外，本体40设置有供应口44、排出口45和流道46。供应口44设置在顶面41中。管23连接到供应口44。化学液体200从供给部12供应至供应口44。排出口45设置在底面42中。排出口45经由流道46连接到排出口45。排出口45将已经供应至供应口44并流过流道46的化学液体200向下喷射。流道46在供应口44和排出口45之间延伸。在流道46中，供应口44侧是上游侧，而排出口45侧是下游侧。所供应的化学液体200在流道46中从供应口44流到排出口45。流道46包括存储部47。存储部47可以存储化学液体200。存储部47大致呈U形。存储部47的深度由图2中的尺寸h表示。存储部47包括第一部分48、第二部分49和第三部分50。第一部分48在本体40中竖直地延伸。在第一部分48中，化学液体200向下流向排出口45。第二部分49是第一部分48的下游。第二部分49在本体40中竖直地延伸。在第二部分49中，化学液体200向上流向排出口45。第三部分50在第一部分48的下游端与第二部分49的上游端之间延伸，以连接第一部分48和第二部分49。第三部分50具有向上折曲的形状(弯曲状)。第二部分49是第一部分的实例，第一部分48是第二部分的实例。存储部47还可以被称为液体存储部或腔室。第一部分48还可以被称为下游部分或下游通道。第二部分49还可以被称为上游部分或上游通道。第三部分50还可以被称为折曲部或折曲部。第一部分48的上游端经由流道51连接到供应口44。流道51在本体40中竖直地延伸。第二部分49的下游端经由流道52连接到排出口45。流道52位于本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种喷嘴，包括：本体，其设置有：供应口，液体被供应至所述供应口；排出口，所述液体从所述排出口向下排出；以及流道，其在所述供应口与所述排出口之间延伸，其中，所述流道包括：存储部，其包括：第一部分，所述液体通过所述第一部分向下流到所述排出口；以及第二部分，其设置在所述第一部分的下游，所述液体通过所述第二部分向上流到所述排出口；以及排气部，其能够在所述液体没有从所述排出口排出而被存储在所述存储部中时将所述第二部分的上游的气体排出。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.18 JP 2015-0548301.一种喷嘴，包括：本体，其设置有：供应口，液体被供应至所述供应口；排出口，所述液体从所述排出口向下排出；以及流道，其在所述供应口与所述排出口之间延伸，其中，所述流道包括：存储部，其包括：第一部分，所述液体通过所述第一部分向下流到所述排出口；以及第二部分，其设置在所述第一部分的下游，所述液体通过所述第二部分向上流到所述排出口；以及排气部，其能够在所述液体没有从所述排出口排出而被存储在所述存储部中时将所述第二部分的上游的气体排出。2.根据权利要求1所述的喷嘴，其中，所述存储部包括连接所述第一部分和所述第二部分的第三部分，并且所述排气部包括旁路通道，所述旁路通道通向所述流道中的所述第三部分的上游侧的部分和下游侧的部分。3.根据权利要求2所述的喷嘴，其中，所述旁路通道连接到所述流道中的所述第一部分的上游和所述第二部分上方的部位。4.根据权利要求1所述的喷嘴，其中，所述排气部包括包含于所述第二部分中的第四部分，并且所述第四部分具有比所述存储部的其余部分更大的、与所述流道的延伸方向正交的横截面。5.根据权利要求1至4中任一项所述的喷嘴，其中，所述流道的表面的算术平均粗糙度大于10μm。6.一种喷嘴，包括：本体，其设置有：供应口，液体被供应至所述供应口；排出口，所述液体从所述排出口向下排出；以及流道，其在所述供应...
【专利技术属性】
技术研发人员：寺田贵洋，田中正幸，加藤视红磨，出浦香织，町田守宽，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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