光调制器及使用光调制器的光发送装置制造方法及图纸

在施加抖动信号的偏压电极与监控在光波导内传播的光信号的光检测器设置于同一基板上的光调制器中，提高通过该光检测器检测的抖动信号成分强度的检测精度，进行稳定的偏压控制。本光调制器具备：具有压电效应的基板(102)；形成在该基板上的光波导(116a等)；控制在该光波导中传播的光波的偏压电极(158a等)；及形成在所述基板上并监控在所述光波导中传播的光信号的光检测器(168a等)，在所述基板上的形成有所述偏压电极的区域与配置所述光检测器的部分之间，配置抑制从所述偏压电极向所述光检测器传播的声表面波的至少一个抑制单元(190等)。

Light modulator and light transmitter using light modulator

A bias voltage electrode with a dither signal is applied to an optical modulator set on the same substrate for monitoring the optical signal propagating in the optical waveguide, and the detection accuracy of the intensity of the dither signal detected by the photodetector is improved, and a stable bias voltage control is achieved. With the light modulator: substrate with piezoelectric effect (102); optical waveguide on the substrate to form (116a); bias electrode control of optical wave propagation in the optical waveguide in the (158a); and formed on the substrate and monitor the propagation in the optical waveguide in the optical signal the optical detector (168a), formed on the substrate with the bias electrode area and the configuration of the optical detector part between the bias electrode configuration is suppressed from at least one suppression unit of surface acoustic wave to the propagation of the optical detector (190).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光调制器及使用光调制器的光发送装置
本专利技术涉及光调制器及使用光调制器的光发送装置，尤其是涉及将偏压电极和监控出射光的光检测器形成在同一基板上的光调制器、及使用这样的光调制器的光发送装置。
技术介绍
在高速/大容量光纤通信系统中，多数使用装入了波导型的光调制器的光发送装置。其中，将具有电光效应的LiNbO3(以下，也称为LN)用于基板的光调制器与使用了磷化铟(InP)、硅(Si)或者砷化镓(GaAs)等半导体系材料的调制器相比，能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。在该使用了LN的光调制器中，形成有马赫-曾德尔光波导、用于将作为调制信号的高频信号向光波导施加的RF电极部、为了良好地确保该光调制器的调制特性而用于进行各种调整的偏压电极。作为这样的偏压电极，存在例如为了补偿以环境的温度变化等为起因的偏压点的变动(所谓温度漂移现象)而用于向光波导施加电场的偏压电极、或用于进行光相位调整的偏压电极。另一方面，关于光纤通信系统的调制方式，受到近年来的传送容量的增大化的趋势的影响，QPSK(QuadraturePhaseShiftKeying(正交相移键控))或DP-QPSK(DualPolarization-QuadraturePhaseShiftKeying(双偏振正交相移键控))等多值调制，或者在多值调制中取入了偏波多重的传送制式成为主流。进行QPSK调制的光调制器(QPSK调制器)或进行DP-QPSK调制的光调制器(DP-QPSK调制器)具备嵌套式的多个马赫-曾德尔光波导，且具备多个高频信号电极及多个偏压电极(例如，参照专利文献1)，因此设备尺寸存在大型化的倾向，尤其是小型化的需求强烈。以往，作为用于这样的小型化的技术，提出了提高各电极与光波导之间的相互作用，即便在长度短的电极中也能够降低驱动电压的方法。例如，已知有对于各波导，将偏压电极构成作为由推用电极和挽用电极构成的梳形电极(或编带状电极)，来降低应向偏压电极施加的电压(偏压)的结构(例如，参照专利文献2)。图13是表示现有的DP-QPSK调制器的结构的一例的图。该DP-QPSK调制器1300例如由Z切割的LN基板1302上形成的嵌套式的马赫-曾德尔光波导(图示粗线的虚线)和电极(图示阴影部分)构成。在该光调制器中，来自激光二极管等光源(未图示)的光从图示右方向入射，调制后的光从图示左方向出射。出射的光例如通过空间光学系统而合波，向与光传送路相连的光纤入射。光波导由接受来自图示右方向的入射光的入射波导1304、对于在该入射波导中传播的光进行分支的光分支部1306、对于在光分支部1306分支的各自的光进行调制的两个马赫-曾德尔光波导部1310a、1310b构成。马赫-曾德尔光波导部1310a具有入射波导1312a、对于在该入射波导1312a中传播的光进行分支的光分支部1314a、使在光分支部1314a分支的各自的光传播的平行波导1316a、1318a、对于在该平行波导1316a、1318a中传播的光进行合波的合波部1320a、和使在该合波部1320a合波的光向外部出射的出射波导1322a。而且，马赫-曾德尔光波导部1310a具有在上述平行波导1316a及1318a的一部分上分别形成的马赫-曾德尔光波导1330a(图示虚线所示的矩形内的部分)、1332a(图示双点划线所示的矩形内的部分)。在马赫-曾德尔光波导1330a的平行波导1334a、1336a的光出射侧(图示左方)和马赫-曾德尔光波导1332a的平行波导1338a、1340a的光出射侧(图示左方)分别形成由电极1342a、1344a构成的偏压电极1346a和由电极1348a、1350a构成的偏压电极1352a。而且，在马赫-曾德尔光波导部1310a的平行波导1316a、1318a的光出射侧(图示左方)形成有由电极1354a、1356a构成的偏压电极1358a。马赫-曾德尔光波导部1310b的结构如图所示与马赫-曾德尔光波导部1310a的结构相同。由此，光调制器1300具备由标号1346a、1352a、1358a、1346b、1352b、1358b表示的6个偏压电极。而且，在光调制器1300中，在4个马赫-曾德尔光波导1330a、1332a、1330b、1332b的8条平行波导1334a、1336a、1338a、1340a、1334b、1336b、1338b、1340b上也分别形成有由电极1370、1372、1374、1376、1378、1380、1382、1384、1386构成的RF电极。在此，偏压电极1346a、1352a、1346b、1352b分别是用于调整由马赫-曾德尔光波导1330a、1332a、1330b、1332b构成的光调制器的偏压点的偏压电极，偏压电极1358a及1358b分别是用于调整从出射波导1322a及1322b出射的光的相位的偏压电极。另外，在光调制器1300中，为了降低偏压点调整或相位调整用的向各偏压电极1346a、1352a、1358a、1346b、1352b、1358b应施加的电压，而这些偏压电极如图所示构成作为梳形电极。然而，将光调制器装入于实用装置而使用时，为了补偿上述温度漂移并将光传送特性维持成良好的状态，需要准确地控制偏压，以避免产生偏压点的变化。因此，向用于补偿温度漂移的偏压电极施加用于检测偏压点的变化的低频信号(抖动信号)和补偿该变化而用于使偏压点返回规定值的直流电压(DC偏压)。即，将抖动信号向偏压电极施加，并通过光检测器监控从光调制器输出的光信号，以使该光信号包含的该抖动信号的强度成为最小的方式调整向该偏压电极施加的DC偏压，由此来补偿温度漂移等的偏压点的变化。这样的DC偏压的控制用的光检测器例如图13所示，可设为在对在出射波导1322a、1322b中传播的出射光(调制光)的一部分进行分支的分支波导1360a、1360b的一部分(即，形成有分支波导1360a、1360b的LN基板1302的表面的一部分)上分别配置的光检测器1362a、1362b而实现。光检测器1362a及1362b的输出分别经由通过电极1364a、1366a构成的监控电极1368a及通过电极1364b、1366b构成的监控电极1368b而向光调制器1300的外部输出。图14A、图14B、图14C是以安装有光检测器1362a的LN基板1302的部分的沿着分支波导1360a的剖面表示用于使在分支波导1360a中传播的光的一部分向光检测器1362a入射的结构的例子的图。在图14A所示的结构中，在分支波导1360a上配置光检测器1362a，光检测器1362a通过透明树脂1400而粘结于分支波导1360a。在该结构中，通过在光检测器1362a的图示下部边缘附近配置的受光器(未图示)使从分支波导1360a渗出的光(倏逝光(evanescentlight))入射而接收。而且，在图14B所示的结构中，在分支波导1360a′上部的LN基板1302′的表面设置凹凸部1402而使表面粗糙度变粗，使在分支波导1360a′中传播的光在该表面散射而向基板外放射，使该放射的光向光检测器1362a入射而接收。而且，在图14C所示的结构中，在形成有分支波导1360本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光调制器，具备：具有压电效应的基板；形成在该基板上的光波导；控制在该光波导中传播的光波的偏压电极；及形成在所述基板上并监控在所述光波导中传播的光信号的光检测器，在所述基板上的形成有所述偏压电极的区域与配置有所述光检测器的部分之间配置有至少一个抑制单元，该抑制单元抑制从所述偏压电极向所述光检测器传播的声表面波。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.18 JP 2016-0556551.一种光调制器，具备：具有压电效应的基板；形成在该基板上的光波导；控制在该光波导中传播的光波的偏压电极；及形成在所述基板上并监控在所述光波导中传播的光信号的光检测器，在所述基板上的形成有所述偏压电极的区域与配置有所述光检测器的部分之间配置有至少一个抑制单元，该抑制单元抑制从所述偏压电极向所述光检测器传播的声表面波。2.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述抑制单元由在所述基板上的形成有所述偏压电极的区域与配置有所述光检测器的部分之间设置的金属膜构成。3.根据权利要求2所述的光调制器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎德一，菅又徹，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP