一种加工基板的设备制造技术

本发明专利技术公开一种加工基板的设备，包括传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。本发明专利技术加工基板的设备，可以有效降低传感器振子因结晶而发生故障的概率，降低基板因为过度蚀刻而发生废弃和返工的概率，最终达到减少成本的效果。

A device for processing substrates

The invention discloses a substrate processing device, including transmission device, the transmission device for transmission of the substrate; etching device, the etching device used for etching the substrate; vibration sensor, the vibration sensor is disposed in the path of the transmission device; the switch switch component. The component by the oscillator sensor to control the on-off state; the control module, the control module and the switch assembly is electrically connected with the transmission device used to control the start and stop; cleaning device, the cleaning device for spray cleaning liquid to the oscillator sensor. The device for processing the substrate can effectively reduce the probability of failure of sensor oscillator due to crystallization, reduce the probability of abandonment and rework due to excessive etching, and ultimately achieve the effect of reducing cost.

【技术实现步骤摘要】
一种加工基板的设备
本专利技术涉及显示器件制程领域，尤其涉及一种加工基板的设备。
技术介绍
在显示
，液晶显示器件(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管显示器件(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代CRT显示器。OLED具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示器件。OLED显示器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极，发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。现有的基板的制造过程参考图1及图2，基板从基板进出口111进来，通过传送装置11传送，通过APPlasma装置(大气压等离子清洗装置)12时，去除表面的有机物。然后，通过电梯13依次传送至药液隔离间14、第一蚀刻间15、第二蚀刻间16、第三蚀刻间17进行蚀刻。蚀刻过程中，蚀刻装置28的草酸溶液一直处于喷射状态。蚀刻完毕后，基板依次进入第一清洗间18、第二清洗间19进行清洗，最后通过干燥间110干燥后从出货口出来。继续参见图1和图2，当新进基板21进入第一蚀刻间15后，就成为蚀刻基板26，蚀刻基板26与振子传感器22接触，振子传感器22发生偏移后，带动开关组件27的状态发生变化，从而给控制模块23发送电信号。控制模块23接收到电信号后，控制电机24带动传送带25转动，保证传送带25上的蚀刻基板26在规定的时间内，例如90秒，通过第一蚀刻间15，并由蚀刻装置28对蚀刻基板26进行蚀刻。蚀刻基板26只要在第一蚀刻间15内，就会压迫振子传感器22偏移，这样控制模块23就一直控制传送带25转动。当蚀刻基板26离开第一蚀刻间15后，振子传感器22就接收不到蚀刻基板26的压迫，开关组件27状态发生变化，控制模块23接收到新的电信号控制指令，控制电机24停止转动。但是，由于蚀刻装置28喷射的蚀刻液是草酸溶液，而草酸溶液具有很强的挥发性，使得振子传感器22的转子、转轴等部位经常会有结晶的情况发生，导致振子传感器22发生固化，控制模块23接收不到正确的控制指令，最终导致整个加工设备的运转异常。例如，当第三蚀刻间17中的基板加工完毕离开第三蚀刻间17后，由于振子传感器22不能回复原状，开关组件27状态不发生变化，控制模块23就一直控制电机24运转。即，造成了第三蚀刻间17内还有蚀刻基板26的假象。这样，新进基板21无法进入第三蚀刻间17，而第三蚀刻间17内系统一直在运作却并无基板在加工，这就导致了整个系统无法正常运行，即所谓停机。进一步的，第一蚀刻间15、第二蚀刻间16内的基板一直停留在本蚀刻间内蚀刻，这样就造成对基板的过度蚀刻，导致基板返工或废弃。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种加工基板的设备，能防止振子传感器在加工基板的过程中发生结晶而引起的整个加工系统的停机，解决基板在加工过程中因过刻蚀而返工或废弃的问题。为实现上述目的，本专利技术提供一种加工基板的设备，包括传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术加工基板的设备增加了清洗装置，该清洗装置向振子传感器喷射清洗液，能够大大降低振子传感器发生结晶的概率，减少加工基板系统的停机故障，有效避免基板因为过刻而发生的返工或废弃，从而降低生产成本。附图说明图1是现有技术中加工基板的设备加工基板的整体流程图；图2是现有技术中对基板进行蚀刻对基板进行蚀刻的控制流程图；图3是本专利技术加工基板的设备第一实施例的设备对基板进行蚀刻的控制流程图；图4是本专利技术加工基板的设备第一实施例的设备中清洗装置安装在振子传感器上的示意图；图5是本专利技术加工基板的设备第二实施例中振子传感器结构示意图；图6是本专利技术加工基板的设备第三实施例中开关组件的工作原理示意图；图7是本专利技术加工基板的设备第四实施例中开关组件的工作原理示意图；图8是本专利技术加工基板的设备第五实施例中定位刻度线和定位螺母的示意图；图9是本专利技术加工基板的设备第五实施例中定位板示意图；图10是本专利技术加工基板的设备第五实施例中振子传感器在蚀刻间入口的安装位置示意图。具体实施方式下面结合具体实施方式和附图对本专利技术进行详细说明。参见图3，本专利技术的第一实施例为加工基板的设备，包括电机104、传送带105、蚀刻装置108、振子传感器102、开关组件107、控制模块103和清洗装置109。电机104与传输带105共同构成传输装置，用于传输新进基板101。当新进基板101进入蚀刻间后就成为蚀刻基板106。蚀刻装置108用于对蚀刻基板106进行蚀刻。振子传感器102设置在传输装置的路径上，开关组件107由振子传感器102控制其开关状态(具体的工作过程参见图6和图7)。控制模块103与开关组件107电连接，用于控制电机104的启停。清洗装置109用于向振子传感器102喷射清洗液。新进基板101进入蚀刻间成为蚀刻基板106，蚀刻基板106压迫了振子传感器102，振子传感器102发生偏移后带动开关组件107发生偏移，这样就会给控制模块103发送电信号，控制模块103接到电信号后控制电机104工作，电机104带动传送带105转动，从而传送蚀刻基板106通过蚀刻间。在整个蚀刻过程中，蚀刻装置108会不间断的喷射蚀刻液。继续参见图4，清洗装置109中的软管61及软管62安装在振子传感器63上方，清洗装置109不间断的向振子传感器102喷射清洗液。具体地，软管61和软管62会持续的喷射清洗液以防止振子传感器63发生结晶，这样就可以保证整个基板加工设备正常运作。本实施例中，蚀刻装置108与清洗装置109喷射的液体均为草酸溶液。区别于现有技术，本实施例加工基板的设备在现有技术的基础上加入了清洗装置，可以克服振子传感器因为草酸蚀刻液挥发结晶而导致的固化问题，有效减少基板加工过程中的故障发生率，避免基板因过刻蚀而返工或废弃的概率，降低基板的加工成本。参见图5，图5是本专利技术加工基板的设备第二实施例中振子传感器结构示意图。本实施例加工基板的设备与第一实施例加工基板的设备结构基本相同，区别在于，本实施例中，振子传感器310包括支架35和振子体32，振子体32通过转轴33安装在支架35上，振子体32顶部设有转子31。转轴33与支架35的连接处设有垫片34。在振子体32的下方设有导管36，导管36通过固定螺母38固定在支架上，开关组件39安装在导管36内，并设置在振子体32的下方。导线37安装在导管36内，导线37一端与开关组件39电连接，另一端与控制模块(图中未示出)电连接。本实施例中，当转子31受本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工基板的设备，其特征在于包括：传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。

【技术特征摘要】
1.一种加工基板的设备，其特征在于包括：传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。2.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述设备还包括定位板，所述振子传感器固定在所述定位板上，所述定位板上设置有定位刻度线；定位螺母，所述定位螺母用于在调整、安装或更换振子传感器时标定定位刻度线上的刻度。3.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述振子传感器包括支架和振子体，所述振子体通过转轴安装在所述支架上，所述开关组件设置在所述振子体的下方。4.如权利要求3所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述转轴与所述支架的连接处设有垫片。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建锋，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42