电子装置的制造装置及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电子装置的制造装置及制造方法。电子装置的制造装置包括：平台，用于支撑基板；靶旋转体，布置于所述基板上，并沿着一方向延伸，且向所述基板提供彼此不同的第一沉积物质及第二沉积物质；腔室，收容所述平台及所述靶旋转体。所述靶旋转体包括：第一靶部，位于沿着所述靶旋转体的所述一方向延伸的第一区域，并供应所述第一沉积物质；第二靶部，与所述第一靶部连接，位于与所述靶旋转体的所述第一区域相邻的第二区域，并供应所述第二沉积物质。

Manufacturing devices and manufacturing methods of electronic devices

The invention provides a manufacturing device and a manufacturing method for an electronic device. Device for manufacturing electronic device includes a platform for supporting a substrate; a target rotator arranged on the substrate, and extends along a direction, and to the substrate provides the first deposited material and two sedimentary materials different from each other; the chamber, shelter of the platform and the target rotating body. The target rotating body comprises a first target, the first region extending along the target in the direction of a rotating body, and supply the first deposited material; second target, connected with the first target, the second region is located adjacent to the target and the rotation of the body of the first areas the second, and the supply of sediments.

【技术实现步骤摘要】
电子装置的制造装置及制造方法
本专利技术涉及一种电子装置的制造装置及制造方法。
技术介绍
近期，基于移动性的电子装置被广为使用。作为移动用电子装置，除了移动电话等小型电子设备以外，最近还广为使用着平板个人计算机(TabletPC)。如上所述的移动式电子设备为了支持多样的功能而包含显示装置，以将图像或视频等视觉信息提供给用户。随着用于驱动显示装置的其他部件的小型化，显示装置在电子装置中所占的比例趋于逐渐增加。尤其，近期随着电子装置的设计的多样化，柔性显示装置及用于制造柔性显示装置的制造装置的必要性正在增加。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种包含弯曲特性得到提高的导电图案的电子装置。本专利技术的又一目的在于提供如下的电子装置的制造装置：在一个腔室内利用一个靶旋转体而形成具有包含互不相同的沉积物质的多个层的导电图案。根据本专利技术的一实施例的电子装置的制造装置可以包括：平台，用于支撑基板；靶旋转体，布置于所述基板上；腔室，收容所述平台及所述靶旋转体。所述靶旋转体可以包括第一靶部和第二靶部。第一靶部可以位于沿着所述靶旋转体的所述一方向延伸的第一区域，并供应所述第一沉积物质。第二靶部可以与所述第一靶部连接，且位于与所述靶旋转体的所述第一区域相邻的第二区域，并供应所述第二沉积物质。所述第一沉积物质及所述第二沉积物质可以在随着所述靶旋转体以沿着所述一方向延伸的旋转轴为中心进行旋转而被定义的多个模式下被供应。所述多个模式可以包括：第一模式，所述第一靶部面对所述基板，并且所述第一沉积物质被供应至所述基板；第二模式，所述第二靶部面对所述基板，并且所述第二沉积物质被供应至所述基板。所述多个模式还可以包括：第三模式，所述第一靶部的一部分与所述第二靶部的一部分同时面对所述基板。在所述第三模式下，所述第一靶部的一部分可以将所述第一沉积物质提供到所述基板上，并且所述第二靶部的一部分将所述第二沉积物质提供到所述基板上。在所述第一模式下的所述靶旋转体的旋转速度和在所述第二模式下的所述靶旋转体的旋转速度可以彼此不同，或者彼此相同。所述靶旋转体可以以具有外侧面及内侧面的圆筒形状提供。所述电子装置的制造装置可以包括：收容于被所述靶旋转体的所述内侧面定义的内部空间的磁体。所述磁体可以被所述靶旋转体包围而布置。所述磁体可以位于所述靶旋转体的所述内侧面中的与所述基板相邻的区域。所述磁体能够以所述旋转轴为中心而沿着所述靶旋转体的所述内侧面而旋转。所述电子装置的制造装置还可以包含旋转驱动部及固定部。所述旋转驱动部可以使所述靶旋转体以所述旋转轴为中心进行旋转。所述固定部可以布置于所述旋转驱动部和所述腔室之间，并将所述旋转驱动部及所述靶旋转体固定在所述腔室。所述旋转驱动部可以分别连接于将所述靶旋转体的所述外侧面和所述内侧面连接的一侧部以及与所述一侧部对向的另一侧部。所述靶旋转体还可以包括第三靶部，所述第三靶部位于所述第一靶部及所述第二靶部之间，并且对应于与所述靶旋转体的所述第一区域及所述第二区域相邻的第三区域，且可以供应第三沉积物质。所述靶旋转体可以被提供为多个，而且所述靶旋转体可以相隔预定间距而平行地排列。根据本专利技术的一实施例的电子装置可以包括：包含弯曲部的柔性基板；以及导电图案，至少一部分被提供于所述弯曲部上。所述导电图案可以包括：第一导电图案层，包括第一沉积物质；第二导电图案层，被提供到所述第一导电图案层上，并且包括与所述第一沉积物质不同的所述第二沉积物质；以及混合层，被提供于所述第一导电图案层及所述第二导电图案层之间，并包含所述第一沉积物质及所述第二沉积物质。所述混合层的厚度与所述导电图案的厚度之比可以大于0且0.05以下。所述导电图案可以包括：感测电极，包括彼此以预定间距相隔而布置的第一感测电极和第二感测电极。所述柔性基板包括薄膜元件层、显示元件层、薄膜封装层，所述导电图案可以布置于所述薄膜封装层上。本专利技术可以提供根据一实施例的弯曲特性得到提高的电子装置。根据本专利技术的一实施例的电子装置的制造装置可以缩短工艺时间。附图说明图1a、图1b以及图1c是根据本专利技术的一实施例的电子装置的示意性的立体图。图2a是对应于图1a的I-I'线的示意性的导电图案的一剖面图。图2b是将图2a的AA'放大而示出的导电图案的一剖面图。图3是根据本专利技术的一实施例的电子装置的示意性的立体图。图4是根据本专利技术的一实施例的电子装置中包含的一像素的剖面图。图5是示意性地示出包含在本专利技术的一实施例的电子装置中的触摸屏面板的平面图。图6是根据本专利技术的一实施例的电子装置的制造装置的示意图。图7是根据本专利技术的一实施例的靶旋转体的立体图。图8a及图8b是靶旋转体的示意性的剖面图。图9a及图9b是根据本专利技术的一实施例的靶旋转体的剖面图。图10a至图10d是根据本专利技术的一实施例的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图。图11是根据本专利技术的另一实施例的靶旋转体的剖面图。图12是根据本专利技术的另一实施例的电子装置的制造装置的示意性的一剖面图。符号说明FB：柔性基板CP：导电图案TSP：触摸屏面板DP：柔性显示面板1000：腔室RT：靶旋转体T1：第一靶部T2：第二靶部M1：第一沉积物质M2：第二沉积物质SR：供应区域DE：沉积区域具体实施方式本专利技术可以实施多样的变换，并可以具有多种实施形态，以下在附图中示出特定的实施例，并在本文中进行详细的说明。然而其目的并不在于使本专利技术局限于特定的公开形式，应当理解的是，本专利技术包含本专利技术的思想以及技术范围所包含的所有的变换、等同物以及替代物。应当理解的是，本申请中，“包括(包含)”或“具有”等术语只用于指定说明书中记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合的存在，而并非预先排出一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合物的存在或附加可能性。此外，当提到层、膜、区域、板等构件位于另一构件“之上(上方)”时，这不仅包括位于另一构件“紧上方”的情形，还包括其中间设有又一构件的情形。相反，当提到层、膜、区域、板等构件位于另一构件“之下(下方)”时，这不仅包括位于另一构件“紧下方”的情形，还包括其中间设有又一构件的情形。在对附图进行说明时，针对类似的构成要素使用了类似的参照标号。在附图中，结构物的尺寸是为了确保本专利技术的明确性而比实际放大示出的尺寸。诸如“第一”、“第二”等的术语用于描述多样的构成要素，但是此类构成要素不应该受到以上术语的限制。以上术语仅用来将一个构成要素与另一构成要素区分开。例如，在不脱离本专利技术的权利范围的前提下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述在文脉上没有明确的其他含义的前提下包含复数的表述。以下，参照附图对本专利技术的实施例进行详细的说明。图1a、图1b、图1c是根据本专利技术的一实施例的电子装置的示意性的立体图。参照图1a、图1b及图1c，根据本专利技术的一实施例的电子装置10可以包含柔性(flexible)基板FB及导电图案CP。导电图案CP可以在柔性基板FB上沿着第一方向DR1层叠。柔性基板FB只要是通常被使用的即可，不受特别的限制，其可以包含塑料、有机高分子等。构成柔性基板FB的有机高分子可以为聚对苯二甲酸乙二酯(PET：Polyethyleneter本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子装置的制造装置，包括：平台，用于支撑基板；靶旋转体，布置于所述基板上，并沿着一方向延伸，且向所述基板提供彼此不同的第一沉积物质及第二沉积物质；腔室，收容所述平台及所述靶旋转体，其中，所述靶旋转体包括：第一靶部，位于沿着所述靶旋转体的所述一方向延伸的第一区域，并供应所述第一沉积物质；第二靶部，与所述第一靶部连接，位于与所述靶旋转体的所述第一区域相邻的第二区域，并供应所述第二沉积物质。

【技术特征摘要】
2016.05.24 KR 10-2016-00636571.一种电子装置的制造装置，包括：平台，用于支撑基板；靶旋转体，布置于所述基板上，并沿着一方向延伸，且向所述基板提供彼此不同的第一沉积物质及第二沉积物质；腔室，收容所述平台及所述靶旋转体，其中，所述靶旋转体包括：第一靶部，位于沿着所述靶旋转体的所述一方向延伸的第一区域，并供应所述第一沉积物质；第二靶部，与所述第一靶部连接，位于与所述靶旋转体的所述第一区域相邻的第二区域，并供应所述第二沉积物质。2.如权利要求1所述的电子装置的制造装置，其中，所述第一沉积物质及所述第二沉积物质在随着所述靶旋转体以沿着所述一方向延伸的旋转轴为中心进行旋转而被定义的多个模式下被供应，并且所述多个模式包括：第一模式，所述第一靶部面对所述基板，并且所述第一沉积物质被供应至所述基板；第二模式，所述第二靶部面对所述基板，并且所述第二沉积物质被供应至所述基板。3.如权利要求2所述的电子装置的制造装置，其中，所述多个模式还包括：第三模式，所述第一靶部的一部分与所述第二靶部的一部分同时面对所述基板，在所述第三模式下，所述第一靶部的一部分将所述第一沉积物质提供到所述基板上，并且所述第二靶部的一部分将所述第二沉积物质提供到所述基板上。4.如权利要求2所述的电子装置的制造装置，其中，在所述第一模式下的所述靶旋转体的旋转速度和在所述第二模式下的所述靶旋转体的旋转速度彼此不同，或者彼此相同。5.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：白炅旼，杨受京，朴俊龙，申铉亿，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR