The invention discloses a differential capacitance sensor suitable for torque detection, comprising at least a torque input plate, a torque output disk, a plurality of trapezoidal beams, a pair of dynamic electrodes for induction capacitors, and an electrostatic pole and a base plate for a pair of induction capacitors. A moving electrode on the induction capacitor respectively in the input torque of disc outer ring and the inner wheel torque output and input torque of the wheel outer ring are fixedly connected; a pair of electrostatic induction capacitor electrode are respectively positioned in the corresponding induction capacitor dynamic electrode of the same side, and the corresponding induction capacitance of the moving electrode to retain a certain degree clearance; dynamic electrostatic induction capacitor electrode and induction capacitor pole differential structure of vertical electrode type capacitor. The error of linear differential capacitance sensor provided by the invention has low sensitivity, good anti-interference ability and good, moreover greatly improves the linearity of the sensor; the invention can be used to realize the conventional mechanical processing, simple manufacture, is suitable for the detection of tandem type robot joint torque.
【技术实现步骤摘要】
一种适用于力矩检测的差动式电容传感器
本专利技术属于自动化仪表传感器技术与机器人控制领域,涉及一种电容传感器,特别涉及一种适用于力矩检测的差动式电容传感器。
技术介绍
目前在力矩测量中,检测力矩的传感器应用十分广泛,按力矩信号产生的方式可分为光学式、光电式、磁电式与电阻应变式等等。例如,磁电式力矩传感器输出信号的本质是两路具有相位差的角位移信号,对信号进行组合处理后得到力矩信息,它是非接触式传感器,无磨损,然而体积较大,不适合在串联型机器人领域测量机器人关节传递的力矩,且不易安装;电阻应变式力矩传感器以电阻变化产生的电压信号作为检测信号,从而得到力矩信息,其结构复杂,需要额外信号放大电路、A/D转换器等,目前此类传感器价格较为昂贵。目前电容式扭矩传感器,例如中国专利CN201344846Y提出的一种基于电容的动态扭矩传感器,其轴与外壳相对位置发生变化,则轴两端的电容信号会产生相位差,通过检测这个电容差值,从而建立起电容差与扭矩之间的关系,实现扭矩的测量,此电容式扭矩传感器结构尺寸较大,只能在特定场合使用,不易于在串联型机器人领域检测力矩。基于电容边缘效应的变极距垂直电极型电容传感器,其灵敏度相比于传统的平行电极式电容传感器受电极间距影响更小,然而变极距垂直电极型电容传感器存在着严重的非线性,且受噪声干扰较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对上述传感器存在的不足,提供一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,使其具有线性误差小、灵敏度高、抗干扰能力强和结构简单等优点。为实现上述目标,本专利技术采用如下技术方案:一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,至少包括 ...
【技术保护点】
一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,其特征在于:它至少包括力矩输入盘(1)、力矩输出盘(2)、一对感应电容的动电极(3)、一对感应电容的静电极(4)和基板(5);所述感应电容的动电极(3)包括感应电容的动电极(3‑1)和感应电容的动电极(3‑2);所述感应电容的静电极(4)包括感应电容的静电极(4‑1)和感应电容的静电极(4‑2);所述感应电容的动电极(3)与感应电容的静电极(4)构成差动式结构垂直电极型电容器。
【技术特征摘要】
2017.03.29 CN 201710219063X1.一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,其特征在于:它至少包括力矩输入盘(1)、力矩输出盘(2)、一对感应电容的动电极(3)、一对感应电容的静电极(4)和基板(5);所述感应电容的动电极(3)包括感应电容的动电极(3-1)和感应电容的动电极(3-2);所述感应电容的静电极(4)包括感应电容的静电极(4-1)和感应电容的静电极(4-2);所述感应电容的动电极(3)与感应电容的静电极(4)构成差动式结构垂直电极型电容器。2.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,其特征在于:所述感应电容的动电极(3)位于力矩输入盘(1)的外环和力矩输出盘(2)的内环之间且与力矩输入盘(1)的外环固连为一体。3.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,其特征在于:所述感应电容的动电极(3-1)和感应电容的动电极(3-2)关于Y轴对称分布。4.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器,其特征在于:所述感应电容的静电极(4-1)与感应电容的静电极(4-2)分别位于感应电容的动电极(3-1)与感应电容的动电极(3-2)同一侧;且所述感应电容的静电极(4-1)与感应电容的静电极(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈琳,罗年景,潘海鸿,罗国树,莫超亮,
申请(专利权)人:广西大学,
类型:发明
国别省市:广西,45
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