一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置，涉及有机蒸镀技术领域，能够解决磁隔板吸附金属掩模版时，金属掩模版上各处受磁力均一性差的问题。包括匀强磁场发生器组，包括第一匀强磁场发生器，第一匀强磁场发生器为中空圆柱形结构，还包括设置在第一匀强磁场发生器中空区域的至少一个第二匀强磁场发生器，第二匀强磁场发生器为亥姆赫兹线圈，第一匀强磁场发生器与第二匀强磁场发生器同轴设置。蒸镀组件还包括支撑架，金属掩膜板和待蒸镀基板沿垂直于第一匀强磁场发生器轴向的方向设置在第一匀强磁场发生器的中空区域内。

A steam plating assembly, steam plating chamber and evaporation device

The embodiment of the utility model provides a vapour plating module, evaporation chamber and evaporation device, which relates to the field of organic evaporation technology, and can solve the problem of poor magnetic force uniformity on the metal mask board when the magnetic separator is adsorbing metal mask. Including the magnetic field generator group comprises a first magnetic field generator, the first magnetic field generator is a hollow cylindrical structure, is provided with at least one of the second magnetic field generator first magnetic field generator in the hollow region, second magnetic field generator for Helmholtz coil, the magnetic field generator and the first set second the magnetic field generator coaxial. The evaporation assembly also includes a support frame, and the metal mask plate and the evaporating plated substrate are arranged in the hollow area of the first uniform magnetic field generator along the axial direction perpendicular to the first uniform magnetic field generator.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置
本技术涉及有机蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，简称OLED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点，已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。OLED显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成，目前主要采用掩膜板并通过蒸镀工艺制作在各子像素单元中。掩模版上具有构图图案，随着屏幕PPI(PixelsPerInch，每英寸内拥有的像素数目)的增多，掩模版上的构图图案区域也进一步精细化，形成精细金属掩模版(FMMMask)。在进行蒸镀操作前，先将精细金属掩模版移入蒸镀腔室内，并沿精细金属掩模版的边缘将精细金属掩膜板固定设置在支撑架上，然后将待蒸镀基板通过机械手移入蒸镀腔室内，与精细金属掩膜板之间进行对位后将待蒸镀基板下移放置在精细金属掩模版上。在蒸镀腔室上方设置有磁隔板，磁隔板通常为制作成条状或块状的永磁体，磁隔板的磁力作用将精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀组件，其特征在于，包括匀强磁场发生器组，所述匀强磁场发生器组包括第一匀强磁场发生器，所述第一匀强磁场发生器为中空圆柱形结构，所述匀强磁场发生器组还包括设置在所述第一匀强磁场发生器中空区域的至少一个第二匀强磁场发生器，所述第二匀强磁场发生器为亥姆赫兹线圈，所述第一匀强磁场发生器与所述第二匀强磁场发生器同轴设置，依次向所述匀强磁场发生器组中的所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器通入恒定电流，所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器的中空区域内依次产生并保持平行于所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器轴向的匀强磁场；所述蒸镀组件还包括支撑架，用于固定金属掩膜板以及放置...

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀组件，其特征在于，包括匀强磁场发生器组，所述匀强磁场发生器组包括第一匀强磁场发生器，所述第一匀强磁场发生器为中空圆柱形结构，所述匀强磁场发生器组还包括设置在所述第一匀强磁场发生器中空区域的至少一个第二匀强磁场发生器，所述第二匀强磁场发生器为亥姆赫兹线圈，所述第一匀强磁场发生器与所述第二匀强磁场发生器同轴设置，依次向所述匀强磁场发生器组中的所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器通入恒定电流，所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器的中空区域内依次产生并保持平行于所述第二匀强磁场发生器和所述第一匀强磁场发生器轴向的匀强磁场；所述蒸镀组件还包括支撑架，用于固定金属掩膜板以及放置在所述金属掩膜板上的待蒸镀基板，所述金属掩膜板和所述待蒸镀基板沿垂直于所述第一匀强磁场发生器轴向的方向设置在所述第一匀强磁场发生器的中空区域内。2.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述第一匀强磁场发生器包括螺线管。3.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述第一匀强磁场发生器包括亥姆赫兹线圈。4.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于，所述匀强磁场发生器组中设置有一个第二匀强磁场发生器，所述匀强磁场发生器组还包括第三匀强磁场发生器，所述第三匀强磁场发生器为亥姆赫兹线圈，所述第三匀强磁场发生器设置在所述第二匀强磁场发生器...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11