可变电容元件制造技术

本发明专利技术提供一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：可变电容层，由电介质材料构成；电极，用于在可变电容层获得静电电容；一对绝缘部，位置隔着可变电容层对置；以及从电极引出的引出部，绝缘部由至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可变电容元件
本专利技术涉及可变电容元件。
技术介绍
作为可变电容元件，已知有如下的可变电容元件，即，通过使电介质层的介电常数根据施加电压而变化，从而使静电电容变化。例如，在专利文献1公开了一种电介质层和电极交替地层叠且电极形成为梳形的可变电容元件。然而，在像专利文献1那样的将电极形成为梳形的可变电容元件中，起因于其电极构造，寄生电容会变大，不容易增大静电电容可变率。为了解决上述的寄生电容的问题，在专利文献2中提出了一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：由电介质材料构成的可变电容层；位置隔着可变电容层对置的一对电极；隔着一对电极将可变电容层支承在中间的一对绝缘部；以及与一对电极分别相连的一对引出部，一对引出部分别配置在一对绝缘部内，并且处于与可变电容层大致垂直的同轴上。在这样的可变电容元件中，因为引出部处于与可变电容层大致垂直的同轴上，所以可抑制寄生电容。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-101041号公报专利文献2：国际公开第2015/030170号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献2的实施例2记载的可变电容元件中，作为可变电容层以及绝缘部，使用了由(B本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：可变电容层，由电介质材料构成；电极，用于在可变电容层获得静电电容；绝缘部，位置隔着可变电容层对置；以及从电极引出的引出部，绝缘部由至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.27 JP 2015-039341;2015.04.16 JP 2015-084431.一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：可变电容层，由电介质材料构成；电极，用于在可变电容层获得静电电容；绝缘部，位置隔着可变电容层对置；以及从电极引出的引出部，绝缘部由至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料构成。2.根据权利要求1所述的可变电容元件，其特征在于，绝缘部中的Zr的摩尔数相对于Ti和Zr的摩尔数的合计的比例为0.25以上且1.0以下。3.根据权利要求1或2所述的可变电容元件，其特征在于，绝缘部中的Zr的摩尔数相对于Ti和Zr的摩尔数的合计的比例为0.25以上且0.75以下。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的可变电容元件，其特征在于，可变电容层由包含选自Ba和Sr的至少一种以及选自Ti和...

【专利技术属性】
技术研发人员：景山惠介，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP