气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法制造方法及图纸

具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A)，所述气体下方喷出部(2A)设置于，对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(100)，使所述气体从所述板状工件(100)的上方向下方喷出从而施加压力的位置，在对板状工件进行上浮支承之际，能进行上浮量均匀并且高平面度地支承。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法
本专利技术涉及一种通过气体喷射使玻璃基板等板状工件以非接触的方式上浮的气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法。
技术介绍
关于通过气体喷射使玻璃基板等板状工件上浮的装置，目前为止提出过几种方案。例如，如图7(A)所示，在专利文献1中，提出了在底座上分别设置有产生正压的多孔质块体51和产生负压的抽吸块体52的上浮抽吸混合部50。在多孔质块体51中，通过供给空气来使空气从多孔质体的上表面喷出，从而将由玻璃基板构成的板状工件100以非接触的状态保持。与此同时，通过抽吸块体52产生抽吸力，从而将玻璃基板100拉向上浮抽吸混合部50的上表面侧。通过上述抽吸力和上述上浮力的协同作用，能得到玻璃基板100相对于上浮抽吸混合部50的上表面上浮大致一定的上浮量并处于稳定的上浮状态。另外，如图8(A)所示，在专利文献2中，通过未图示的运送装置将在上浮单元60的上方上浮的板状工件100夹紧并向箭头方向运送。在上述上浮单元60中，空气从多孔质板61的整个表面喷出，由于多孔质板61的整个表面构成为空气轴承表面，所以板状工件100能不发生翘曲地上浮，能以与多孔质板61本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体上浮工件支承装置，其特征在于，具有：使气体向上方喷出的气体上方喷出部；以及位于所述气体上方喷出部的上方侧，并使气体向下方喷出的气体下方喷出部，所述气体下方喷出部设置于，对于通过从所述气体上方喷出部喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件，能从所述板状工件的上方向下方喷出所述气体从而施加压力的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.27 JP 2015-0390501.一种气体上浮工件支承装置，其特征在于，具有：使气体向上方喷出的气体上方喷出部；以及位于所述气体上方喷出部的上方侧，并使气体向下方喷出的气体下方喷出部，所述气体下方喷出部设置于，对于通过从所述气体上方喷出部喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件，能从所述板状工件的上方向下方喷出所述气体从而施加压力的位置。2.如权利要求1所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，所述气体下方喷出部的一部分或者全部与设置有所述气体上方喷出部的区域的全部或者一部分对应地设置。3.如权利要求1或2所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，在所述板状工件的加工区域以外，设置有所述气体下方喷出部。4.如权利要求1～3中任一项所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，以夹住所述板状工件的加工区域的方式，与设置有所述气体上方喷出部的区域的一部分对应地设置有所述气体下方喷出部。5.如权利要求1～4中任一项所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，具有位置调节部，该位置调节部对设置于所述气体上方喷出部的多个气体上方喷出孔和设置于所述气体下方喷出部的多个气体下方喷出孔中的一方或者两方，使一部分或者全部的吹出位置进行调节。6.如权利要求1～5中任一项所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，所述位置调节部对能进行位置调节的喷出孔个别地或者每规定个数地进行位置调节。7.如权利要求1～6中任一项所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，具有气流调节部，该气流调节部...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木祐辉，谷川贞夫，
申请(专利权)人：株式会社日本制钢所，
类型：发明
国别省市：日本,JP