下载气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法的技术资料

文档序号:16671207

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具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A),所述气体下方喷出部(2A)设置于,对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(10...
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