一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，包括双层石英管、放带真空室、收带真空室、射频离子体发生器和管式炉；所述双层石英管，其放带端通过放带端法兰组件与放带真空室相连，其收带端通过收带端法兰组件与收带真空室相连；所述管式炉套接在所述双层石英管的管身；所述射频离子体发生器设置在所述双层石英管上，位于所述放带真空室和管式炉之间的区域；所述双层石英管，包括同心嵌套的内层石英管和外层石英管，所述内层石英管和外层石英管之间形成环形反应室，所述外层石英管承载石墨烯薄膜基膜。本发明专利技术制备石墨烯薄膜，薄膜宽度、制备效率、原料利用率和成膜质量得到大幅提高。

A preparation device for graphene film with rolled coils

The invention discloses a roll of graphene thin films were prepared by means of volume, including double quartz tube, tape take-up vacuum chamber, vacuum chamber, RF plasma generator and tube furnace; the double-layer quartz tube, the end of the tape tape end flange assembly and placed with the vacuum chamber is connected. The take-up side through the take-up flange assembly and a tape winding vacuum chamber is connected; the tube furnace is sheathed on the pipe body of the double-layer quartz tube; the RF plasma generator is arranged in the double-layer quartz tube, is located in the discharge zone between the vacuum chamber and the tube furnace of the region; double layer quartz tube, including concentric nested inner quartz tube and outer quartz tube, the inner tube and the outer layer of quartz quartz tube is formed between the annular reaction chamber, wherein the outer quartz tube bearing graphene film film. The preparation of graphene film is made by the invention, and the width of the film, the preparation efficiency, the utilization rate of raw materials and the quality of the film forming have been greatly improved.

【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置
本专利技术属于石墨烯
，更具体地，涉及一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置。
技术介绍
由于石墨烯薄膜具有极高的机械强度，极高的透光性，优良的导热性和导电性，因此具有广泛的应用：石墨烯薄膜的透光性好，导电性好，弯曲性好等优点，在触摸屏，柔性显示上具有极大的吸引力，随着智能设备快速增长，脆弱的ITO膜无法满足未来柔性电子的要求，而石墨烯的透明导电性及柔韧性在柔性显示领域有无可替代的作用，为石墨烯替代氧化铟锡材料(ITO)打开了市场空间，替代性需求巨大；石墨烯薄膜兼具透明性和导电性，而太阳能电池是将太阳光转化成电能的装置，光透过透明玻璃电极，照射在半导体上产生电流，因此石墨烯制成透明导电薄膜，可以应用在太阳能电池上；石墨烯电阻率极低，因此被期待用来发展出更薄、导电速度更快的新一代电子元件或晶体管；石墨烯与硅有很好的兼容性，将来有望替代硅基工业。现在工业上生产石墨烯薄膜一般采用卷对卷的石墨烯薄膜生产装置，将成卷的基膜(多采用铜箔)通过卷轴带动通过石英管炉内，在石英炉管内将石墨烯薄膜制备于基膜之上，并在在石英管炉出口处收起。如果想制备大尺寸的石墨烯薄膜，只能增本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，包括双层石英管、放带真空室、收带真空室、射频离子体发生器和管式炉；所述双层石英管，其放带端通过放带端法兰组件与放带真空室相连，其收带端通过收带端法兰组件与收带真空室相连；所述管式炉套接在所述双层石英管的管身；所述射频离子体发生器设置在所述双层石英管上，位于所述放带真空室和管式炉之间的区域；所述双层石英管，包括同心嵌套的内层石英管和外层石英管，所述内层石英管和外层石英管之间形成环形反应室，所述外层石英管承载石墨烯薄膜基膜。

【技术特征摘要】
1.一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，包括双层石英管、放带真空室、收带真空室、射频离子体发生器和管式炉；所述双层石英管，其放带端通过放带端法兰组件与放带真空室相连，其收带端通过收带端法兰组件与收带真空室相连；所述管式炉套接在所述双层石英管的管身；所述射频离子体发生器设置在所述双层石英管上，位于所述放带真空室和管式炉之间的区域；所述双层石英管，包括同心嵌套的内层石英管和外层石英管，所述内层石英管和外层石英管之间形成环形反应室，所述外层石英管承载石墨烯薄膜基膜。2.如权利要求1所述的卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，所述放带端法兰组件和/或收带端法兰组件安装有至少一套滚珠整形支撑组件；所述滚珠整形支撑组件包括装配有滚珠的内层滚珠架以及外层滚珠架，所述内层滚珠架和外层滚珠架之间形成与双层石英管外层石英管内壁相配合的窄缝；所述放带端法兰组件的滚珠整形支撑组件，用于当所述基膜通过时，将其整形成与所述双层石英管外层石英管内壁相配合的弧面；所述收带端法兰组件的滚珠整形支撑组件，用于当经过所述双层石英管负载有石墨烯薄膜的基膜通过时，将其整形成平面。3.如权利要求2所述的卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，所述收带真空室和/或放带真空室具有过渡辊子，其表面呈弧形，设置在基膜卷和所述整形支撑组件之间。4.如权利要求1所述的卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，所述放带端法兰组件和/或收带端法兰组件，包括第一法兰、第二法兰、以及第三法兰；所述第一法兰的小端与所述外层石英套管密闭相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金银，罗杰，熊良明，郭王欢，
申请(专利权)人：长飞光纤光缆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42