Slow light device of the present invention is a terahertz, specifically refers to a polyimide substrate, periodic electromagnetic resonator array processing a specific set of geometric structure, the realization of passive device band electromagnetic pulse group velocity delay, slow light device technical field relates to thz. The invention uses the surface plasma interference resulted in a huge dispersion of terahertz band, so as to realize the group velocity of electromagnetic pulse delay work principle, the concave gear resonator with a 120 degree arc resonator and a 48 gear combination at 0.23 THz, the group velocity delay to achieve 38.89 picosecond. The present invention has the advantages of simple process and convenient operation, and can precisely control the processing area of the micro structure of the resonator, thereby greatly reducing the production cost. In the future, the development and application of THz communication technology, passive devices, provides a solid technical material basis for the future.
【技术实现步骤摘要】
一种太赫兹波段的慢光器件及其制作
本专利技术涉及太赫兹慢光
,具体指一种采用弧形谐振器和内凹齿轮谐振器组合在聚酰亚胺表面排列成周期性金属结构阵列的无源器件的设计与制作。
技术介绍
太赫兹波(Terahertz,简称THz)是指在微波和红外光谱之间,频率范围为0.1THz到10THz的电磁波(1THz=1012Hz),在电磁波谱上位于超高频率微波到远红外辐射之间的特殊区域。相比于人们常见的超声波、X射线、中远红外来说,THz波具有非电离和相干特性,不会破坏被探测物质的内部结构及本征属性。常见的纸张、塑料、干燥木材,对THz电磁辐射接近透明,而金属或导电率很高的物体却能够有效反射THz波。由此,利用THz波成像可广泛用于机场、海关等地方的安全监测,比如探查隐藏的枪械、爆炸物、毒品等,而不会对人体造成伤害;在工业上还可以用于探测集成电路焊接的损伤,用于质量控制的手段。由此可见THz技术对我国国家安全、医学诊断,质量检测等领域具有重要的意义。为实现THz技术的广泛应用,除了有效的产生和探测THz波以外,还包括如何对在空间中传播的THz波进行操控。在太赫兹通讯应用中,由于传播噪声、背景噪声等干扰,需消除噪声,提高系统的性能,如:在某些特定THz波段使用滤波器,来消除噪声干扰,然而滤波器对传输信号具有一定的衰减,导致THz通讯效率下降。光学领域中慢光器件的出现,为解决上述技术瓶颈提供的新的途径。慢光(Slowlight)效应是在高色散器件和媒质中存在的一种反常的物理现象。真空中的电磁波传播存在相速度和群速度,其中相速度是大家所熟知“光速”,也就是3×108米/每 ...
【技术保护点】
一种太赫兹波段的慢光器件,其特征在于,采用柔性电子器件加工工艺,在25微米厚聚酰亚胺薄膜单一表面,制备产生类表面等离子体干涉相消的周期性电磁谐振单元阵列;在0.23太赫兹频率上产生等离子体诱导透明窗口,在该窗口上实现对频率中心位于0.23太赫兹的电磁脉冲的群速度延迟,延迟时间达到38.9皮秒。
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹波段的慢光器件,其特征在于,采用柔性电子器件加工工艺,在25微米厚聚酰亚胺薄膜单一表面,制备产生类表面等离子体干涉相消的周期性电磁谐振单元阵列;在0.23太赫兹频率上产生等离子体诱导透明窗口,在该窗口上实现对频率中心位于0.23太赫兹的电磁脉冲的群速度延迟,延迟时间达到38.9皮秒。2.如权利要求1所述的一种太赫兹波段的慢光器件,其特征在于,所述周期性电磁谐振单元阵列,其电磁谐振单元阵列具有周期性,每个单元尺寸为420微米×420微米;每个周期性电磁谐振单元由一个弧形金属谐振器和一个内凹齿轮形金属谐振器组成。3.如权利要求2所述的一种太赫兹波段的慢光器件,其特征在于,所述周期性电磁谐振单元中的弧形金属谐振器,弧度为120度,弧长355微米,弧宽5微米;周期性电磁谐振单元中的内凹齿轮形金属谐振器,环外径152微米,内径150微米,环宽2微米,在环内径壁上衔接48个内凹齿,齿长60微米,齿宽8微米,呈矩形,均匀分布在金属环上;有效区域呈现10.5毫米×10.5毫米的矩形。4.如权利要求2所述的一种太赫兹波段的柔性慢光器件,其特征在于,所述周期性电磁谐振单元的金属层结构,为2微米厚、纯度为99.99%的黄金。5.一种太赫兹波段的慢光器件的制作方法,其特征在于,按所述周期性电磁谐振单元结构图型订购光掩膜版,然后采用正胶工艺在将该图案转移到聚酰亚胺薄膜上,具体流程如下:第一步:将25微米厚聚酰亚胺薄膜黏贴在三英寸硅衬底上,并将其置于去离子水中,在10kHz频率的超声环境中清洗,去除表面残留颗粒物,然后用高压氮气将表面吹干;第二步:将吹...
【专利技术属性】
技术研发人员:郎万中,黄袁炜,崔慧敏,谷一航,程鹏,左继浩,张雨奇,
申请(专利权)人:上海师范大学,
类型:发明
国别省市:上海,31
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