一种用于矿物相自动识别分析的样品台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于矿物相自动识别分析的样品台，样品台底座形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有样品托，样品托中安装有可拆卸的卡槽，卡槽中安装有两组移动挡板；样品台侧壁镶嵌有Co标样，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面。本实用新型专利技术专门针对地学类的块状样品、靶材样品（粉末状矿物颗粒）特制，用以满足尺寸、形状不一的样品进行有标样的测试需求。

A sample table for automatic identification and analysis of mineral phases

The utility model provides a method for automatic identification of mineral phase analysis of samples, sample table base shape and scanning electron microscopy laboratory sample groove shape matching, the sample table is arranged in the middle of sample holder, sample card slot can be detachably installed in the bracket, the card slot is provided with two groups of movable baffle; sample table the side wall inlaid with Co standard, Co standard and the upper surface of the sample table surface at the same level. The utility model is specially designed for the massive sample and target sample (powder mineral particles) of geo science, so as to meet the testing requirements of the standard sample for the sample with different sizes and shapes.

【技术实现步骤摘要】
一种用于矿物相自动识别分析的样品台
本技术涉及地质样品的扫描电镜仪器分析测试领域，具体是一种适用于矿物相自动识别（INCA-mineral）分析使用的特制样品台。
技术介绍
（1）自动矿物相识别技术（INCA-mineral）：INCA-mineral是目前世界上最先进的矿物相自动识别分析测试系统之一。该矿物分析软件搭载在扫描电镜（SEM）上，通过能谱探头、背散射探头协作工作来完成测试分析。工作原理是依据背散射图像区分不同的矿物相，通过能谱分析获取各相的元素，再通过图形学处理采集到的全矿物特征。元素含量的变化，是鉴定矿物种类的主要依据。INCA-mineral技术在大面积SDD能谱探头的支持下，可以快速准确地采集每一个颗粒的形貌和成分信息，进行矿物分类和鉴别，实现每小时数千个矿物颗粒的自动分析，使得常规的SEM转变为自动矿物分析设备。（2）INCA-mineral实验及样品制备进行INCA-mineral分析测试时，要求试样表面平整，与入射电子束垂直，呈90℃夹角，且样品颗粒均匀分散。因此，对于块状样品，首先要将待测面磨平并抛光。粉末样品则需要将粉末状矿物颗粒置入橡胶模具，注胶并制靶。待树脂固化后，置入自动金相抛光机碾磨抛光。待测样品表面在进行分析前，均需要喷镀连续的导电碳膜，随后装入扫描电镜样品室进行分析，软件测试时需要利用Co作为能谱定量分析标准。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术的问题，提供了一种专门针对地学类的块状样品、靶材样品（粉末状矿物颗粒）特制的一种用于INCA-mineral分析的特制样品台，用以满足尺寸、形状不一的样品进行有标样的测试需求。本技术提供了一种用于矿物相自动识别分析的样品台，为纯Cu材料制作，样品台底座形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有样品托，样品托为空心圆柱体，空心圆柱体内部尺寸与标准一英寸靶尺寸相当，高度可以满足绝大多数靶材的厚度。样品托中安装有可拆卸、可调节的卡槽，用以安装块状岩石样品。卡槽中安装有两组移动挡板，两组可移动挡板用以安装不同尺寸的块状岩石样品。卡槽底部通过调节螺丝与样品托连接，卡槽侧面设有至少两组样品固定螺丝，对样品进行高度调节，以保证样品上表面与样品台的上表面平行且在同一高度。样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面，进而与样品表面在同一高度上，以满足样品能够在同一个工作距离（WD）下通过Co标样进行校准。本技术有益效果在于：提供了一种专门针对地学类的块状样品、靶材样品（粉末状矿物颗粒）特制的一种用于INCA-mineral分析的特制样品台，用以满足尺寸、形状不一的样品进行有标样的测试需求。附图说明图1为样品台俯视图。图2为卡槽结构俯视图。图3为样品台底座示意图。图4为样品台侧视图。图5为样品台主视图。具体实施方式本技术提供了一种用于矿物相自动识别分析的样品台，为纯Cu材料制作，样品台底座如图3所示，形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有高度可调节的样品托，样品托为空心圆柱体，如图4和图5所示，空心圆柱体内部尺寸与标准一英寸靶尺寸相当，高度可以满足绝大多数靶材的厚度。样品托中安装有可拆卸、可调节的卡槽，如图2所示，用以安装块状岩石样品。卡槽中安装有两组移动挡板，两组可移动挡板用以安装不同尺寸的块状岩石样品。卡槽底部通过调节螺丝与样品托连接，卡槽侧面设有至少两组样品固定螺丝，对样品进行高度调节，以保证样品上表面与样品台的上表面平行且在同一高度。样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，如图1所示，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面，进而与样品表面在同一高度上，以满足样品能够在同一个工作距离（WD）下通过Co标样进行校准。本技术具体应用途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于矿物相自动识别分析的样品台，其特征在于：样品台底座形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有样品托，样品托中安装有可拆卸的卡槽，卡槽中安装有两组移动挡板；样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面。

【技术特征摘要】
1.一种用于矿物相自动识别分析的样品台，其特征在于：样品台底座形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有样品托，样品托中安装有可拆卸的卡槽，卡槽中安装有两组移动挡板；样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面。2.根据权利要求1所述的用于矿物相自动识别分析的样品台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李娟，何同，陆现彩，陆建军，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32