（甲基）丙烯酸酯的制造方法技术

一种(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其具有以下工序：通过醇化合物的制造方法，由下述通式(C)表示的化合物得到作为杂质下述通式(ii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述通式(D)表示的醇化合物的工序，以及通过酯化反应由下述通式(D)表示的化合物得到作为杂质下述通式(iii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述式(A)表示的(甲基)丙烯酸酯的工序，

Manufacturing method of (meth) acrylate

A manufacturing method of (methyl) acrylate, which has the following steps: through the method of producing alcohol compounds, by the following general formula (C) compound represented by the following general formula obtained as impurity (II) compound represented by the following general formula content is less than 9 mass% (D) alcohol compound represented by esterification process, and the reaction by the general formula (D) compound represented by the following general formula obtained as impurity (III) content of compound represented by the formula is less than 9 mass% (A) said the (methyl) acrylate process,

【技术实现步骤摘要】
(甲基)丙烯酸酯的制造方法本专利技术专利申请是针对申请日为2012年06月14日、申请号为201280028977.3、专利技术名称为“醇化合物、(甲基)丙烯酸酯、聚合物及它们的制造方法、抗蚀剂组合物及基板的制造方法”的申请的分案申请(申请号：201510477309.4)提出的分案申请。
本专利技术涉及作为聚合性单体有用的(甲基)丙烯酸酯及其制造方法，作为(甲基)丙烯酸酯的中间体有用的内酯化合物、醇化合物及其制造方法，使用了该(甲基)丙烯酸酯的聚合物及其制造方法，含有该聚合物的抗蚀剂组合物，使用了该抗蚀剂组合物的基板的制造方法，以及新型的(甲基)丙烯酸酯及利用其的聚合物。本申请基于2011年6月14日在日本申请的日本特愿2011-132183号和2011年9月27日在日本申请的日本特愿2011-210667号要求优先权，并将其内容援引于此。
技术介绍
近年来，在半导体元件、液晶元件的制造中的微细加工的领域中，随着光刻技术的进步，微细化正在迅速发展。作为该微细化的方法，一般采用照射光的短波长化，具体而言，照射光从以往的以g射线(波长：438nm)、i射线(波长：365nm)为代表的紫本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其特征在于，具有以下工序：通过醇化合物的制造方法，由下述通式(C)表示的化合物得到作为杂质下述通式(ii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述通式(D)表示的醇化合物的工序，以及通过酯化反应由下述通式(D)表示的化合物得到作为杂质下述通式(iii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述式(A)表示的(甲基)丙烯酸酯的工序，

【技术特征摘要】
2011.06.14 JP 2011-132183;2011.09.27 JP 2011-210661.一种(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其特征在于，具有以下工序：通过醇化合物的制造方法，由下述通式(C)表示的化合物得到作为杂质下述通式(ii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述通式(D)表示的醇化合物的工序，以及通过酯化反应由下述通式(D)表示的化合物得到作为杂质下述通式(iii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述式(A)表示的(甲基)丙烯酸酯的工序，式中，R1表示氢原子或甲基，A1～A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基，R1表示丙烯酰基或甲基丙烯酰基，所述醇化合物的制造方法具有硼氢化反应工序和酸处理工序，所述硼氢化反应工序是在溶剂中使下述通式(C)表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液，所述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后，加入酸而使得pH为0.5～4；式中，A1～A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。2.根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，作为所述硼化剂，使用硼烷-二甲基硫醚配位化合物或硼烷-1,2-二甲氧基乙烷配位化合物。3.根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，具有离析工序，所述离析工序是将所述酸处理工序后的反应液调整为pH5～9而进行重结晶，从而离析所述通式(D)表示的醇化合物。4.根据权利要求2所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，具有离析工序，所述离析工序是将所述酸处理工序后的反应液调整为pH5～9而进行重结晶，从而离析所述通式(D)表示的醇化合物。5.一种(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其特征在于，具有以下工序：通过醇化合物的制造方法，由下述通式(C)表示的化合物得到作为杂质下述通式(ii)表示的化合物的含量小于9质量％的下述通式(D)表示的醇化合物的工序，以及通过酯化反应由下述通式(D)表示的化合物得到在利用高效液相色谱法得到的色谱图中，保存时分解而产生甲基丙烯酸的分子量308的杂质(X)的峰面积相对于所述(甲基)丙烯酸酯(A’)的峰面积为0.3％以下的下述通式(A’)表示的(甲基)丙烯酸酯的工序，式中，R1表示氢原子或甲基，A1～A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基，所述醇化合物的制造方法具有硼氢化反应工序和酸处理工序，所述硼氢化反应工序是在溶剂中使下述通式(C)表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液，所述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后，加入酸而使得pH为0.5～4；式中，A1～A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。6.根据权利要求5所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，作为所述硼化剂，使用硼烷-二甲基硫醚配位化合物或硼烷-1,2-二甲氧基乙烷配位化合物。7.根据权利要求5所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，具有离析工序，所述离析工序是将所述酸处理工序后的反应液调整为pH5～9而进行重结晶，从而离析所述通式(D)表示的醇化合物。8.根据权利要求6所述的(甲基)丙烯酸酯的制造方法，其中，具有离析工序，所述离析工序是将所述酸处理工序后的反应液调整为pH5～9而进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐久间谕，芹泽昌史，安田敦，矢田信久，前田晋一，
申请(专利权)人：三菱化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP