一种多工位坩埚下降炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工位坩埚下降炉，包括坩埚、升降装置，炉体、隔热板等，隔热板纵向设置在炉体的中间位置；其特征在于，所述的坩埚设置在所述的炉体的中央，所述的升降装置设置在所述的坩埚的下方；所述的坩埚的两侧设置第一组U型加热棒；在所述的炉体的下方设置第二组U型加热棒。所述下降炉可按晶体需要的长度调节U型加热棒热端长度以控制炉膛温场，并且可以实现一炉同时生长出多根晶体，极大提高了产率，降低了晶体生长及产业化成本。

A multi station crucible descending furnace

The utility model discloses a multistage Bridgman furnace, including the crucible, lifting device, furnace body, insulation board, insulation board is vertically arranged in the middle position of the furnace body; which is characterized in that the crucible furnace body is provided in the center of the bottom, the lifting device arranged in the crucible the two sides of the crucible; the setting of the first set of U type heating rod; at the bottom of the furnace body is provided with second groups of the U type heating rod. The downward furnace can adjust the length of the hot end of the U type heating rod according to the required length of the crystal to control the temperature field of the furnace, and can realize the simultaneous growth of a plurality of crystals at the same time, which greatly improves the yield and reduces the crystal growth and industrialization cost.

【技术实现步骤摘要】
一种多工位坩埚下降炉
本技术涉及人工晶体生长设备领域，具体涉及到一种多工位坩埚下降炉。
技术介绍
目前人工晶体生长领域中对于生长如PWO、BGO、LaBr3、LaCl3等低温晶体一般都是采用坩埚下降法生长，其炉子结构一般分为上下两个温场，上面温场为高温区，下面温场为低温区，通常在高温区中水平方向上采用两根平行的直型硅钼棒作为加热器，高温区和低温区之间为隔热板，通过隔热板形成一定的温度梯度，但是该方式的下降炉由于其加热棒自身的特点，所生长晶体的长度一般都较短，很难生长出长度较长的晶体，晶体材料利用率较低，晶体生长成本较高，不利于晶体的产业化发展。因此，为生长出长度较长的晶体，提高产率，降低晶体生长及产业化成本，需要对现有的坩埚下降炉设备进行改进处理。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种多工位坩埚下降炉，使其能够有效解决目前采用坩埚下降法所生长晶体长度较短的问题，提高产率和降低晶体生长及产业化成本。为达到上述技术目的，本技术通过以下技术方案实现一种多工位坩埚下降炉，包括坩埚；升降装置，炉体、隔热板；隔热板纵向设置在炉体的中间位置；其特征在于，所述的坩埚设置在所述的炉体的中央，所述的升降装置设置在所述的坩埚的下方；所述的坩埚的两侧设置第一组U型加热棒；在所述的炉体的下方设置第二组U型加热棒。进一步所述的第一组U型加热棒和所述的第二组U型加热棒，为硅钼棒或硅碳棒，发热部分长度为10～100cm。进一步所述的第一组U型加热棒的数量为2～20个，且竖直、平均分布在所述的炉体的上方。进一步所述的第二组U型加热棒的数量为2～20个，且竖直、平均分布在所述的炉体的下方。进一步所述的炉体为1-20个炉体并排组合，形成并排多工位。进一步所述的升降装置穿过所述的炉体；在炉体的下方的外侧设置电机驱动变速装置，与所述的升降装置形成螺纹传动。进一步所述的电机驱动变速装置包括电机、丝杆，所述的电机的右侧连接所述的丝杆；所述的丝杆与所述的升降装置形成十字连接；所述的电机为伺服电机，所述的丝杆为滚珠丝杆。其有益的技术效果是将原来水平方向上的一组直型硅钼棒改为竖直的上下两组U型硅钼棒，同时将坩埚下降炉由原来一个工位改造为多个工位，从而实现一炉生长多根、长度较长晶体的目的。采用本技术的技术方案后，能够实现一炉生长出多根晶体，且生长出长度较长的晶体，满足对晶体长度有特殊需求的要求，极大提高了晶体材料的利用产率，降低了晶体生长及产业化成本。附图说明图1是本技术的剖视图。图2是本技术的俯视图。图3是本技术的晶体生长的示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。结合附图1、附图2，本实施例1采用了一种多工位坩埚下降炉，炉体1为1-4个炉体并排组合，形成并排多工位。包括坩埚8；升降装置7，炉体1、隔热板2；隔热板2纵向设置在炉体1的中间位置；其特征在于，坩埚8设置在炉体1的中央，升降装置7设置在坩埚8的下方；坩埚8的两侧设置第一组U型加热棒3；在炉体的下方设置第二组U型加热棒4。第一组U型加热棒3和第二组U型加热棒4，为硅钼棒，发热部分长度为10～100cm。在炉体1的右侧的上、下各设置一铂-铑热电偶5和6。第一组U型加热棒3的数量为2～20个，且竖直、平均分布在炉体1的上方。第二组U型加热棒4的数量为2～20个，且竖直、平均分布在炉体1的下方。根据工位的不同可以将炉体1为1-20个炉体并排组合，形成并排多工位，这样能够提高产品的产量。在本实施例的附图3中，升降装置7穿过炉体1；在炉体1的下方的外侧设置电机驱动变速装置9，与升降装置7形成螺纹传动。电机驱动变速装置包括电机91、丝杆92，电机91的右侧连接丝杆92；丝杆92与升降装置7形成十字连接；电机91为伺服电机，丝杆92为滚珠丝杆。本技术的-一种多工位坩埚下降炉的炉体1是采用静止的，由1-4个工位组成，每个工位分别由高温区、梯度区和低温区组成，炉体1采用保温材料制成，对坩埚下降炉设备进行保温，隔热板2将高温区和低温区隔开，形成适于晶体生长的温度梯度，控制在15～35℃/cm，每个工位的高温区和低温区分别由2-6根的第一组U型加热棒3和一套铂-铑热电偶5与第二组U型加热棒4和一套铂-铑热电偶6组成，分别用于加热和检测温度，第一组U型加热棒3和第二组U型加热棒4的发热部分长度均为60mm，且分别平均分布在高温区和低温区中，铂-铑热电偶5和铂-铑热电偶6分别由精密温度控制仪控制，其控制精度在在0～0.5℃范围内。结合附图2，将配制好的晶体原料装入到坩埚8中，之后一并放在升降装置7中，将坩埚8上升到高温区中，启动精密温度控制仪进行加热，待原料熔化、恒温一段时间后，通过电机驱动变速装置9使升降装置7以恒定速率下降，坩埚8由上向下运动，经过梯度区时开始晶体10生长，待坩埚8全部穿过梯度区进入到低温区后，在恒温区保温一段时间，进行原位退火，消除晶体10内部的热应力，最后降温到室温，将坩埚8取出，得到所需尺寸的晶体10。作为本技术的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术，也是本技术的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多工位坩埚下降炉，包括坩埚；升降装置，炉体、隔热板；隔热板纵向设置在炉体的中间位置；其特征在于，所述的坩埚设置在所述的炉体的中央，所述的升降装置设置在所述的坩埚的下方；所述的坩埚的两侧设置第一组U型加热棒；在所述的炉体的下方设置第二组U型加热棒。

【技术特征摘要】
1.一种多工位坩埚下降炉，包括坩埚；升降装置，炉体、隔热板；隔热板纵向设置在炉体的中间位置；其特征在于，所述的坩埚设置在所述的炉体的中央，所述的升降装置设置在所述的坩埚的下方；所述的坩埚的两侧设置第一组U型加热棒；在所述的炉体的下方设置第二组U型加热棒。2.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉，其特征在于，所述的第一组U型加热棒和所述的第二组U型加热棒，为硅钼棒或硅碳棒，发热部分长度为10～100cm。3.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉，其特征在于，所述的第一组U型加热棒的数量为2～20个，且竖直、平均分布在所述的炉体的上方。4.如权利要求1所述的一种多工位...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁言国，叶崇志，邵明国，丁祖兵，陈凯，
申请(专利权)人：上海新漫晶体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31