The invention discloses a method for measuring the direction of the magnetic field of MEMS magnetic field sensor comprises a glass substrate arranged orderly stacked from bottom to top, deep doped silicon layer, the middle layer is doped silicon torsion interdigital structure, torsion of interdigital structures are arranged on the static interdigital structure. Both ends of the static interdigital structure are provided with an anchor zone, and both ends of the supporting beam for the middle torsional movable fork are provided with an anchor zone; the static interdigital and the intermediate torsion fork form the first capacitor and the second capacitor. The magnetic field sensor has simple structure and can measure the direction and amplitude of the magnetic field.
【技术实现步骤摘要】
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器
本专利技术属于传感器
,具体来说,涉及一种扭摆式叉指微机电磁场传感器。
技术介绍
磁场传感器有着悠久的历史,指南针的专利技术到现代交通导航,磁场传感器越来越被人重视。磁场传感器与我们的生活息息相关,自然界和人类社会生活的许多地方都存在磁场或与磁场相关的信息。利用人工设置的永磁体产生的磁场,可作为许多种信息的载体。因此,探测、采集、存储、转换、复现和监控各种磁场和磁场中承载的各种信息的任务,自然就落在磁场传感器身上。已研制出利用各种物理、化学和生物效应的磁传感器,并已在科研、生产和社会生活的各个方面得到广泛应用,承担起探究种种信息的任务。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,大大推动了MEMS磁场传感器的发展,出现了一些微型磁场传感器的结构,同时新发展的MEMS工艺能够在硅衬底上利用IC(英文全称为:integratedcircuit,中文是:集成电路)后处理工艺制作各种机械结构,为磁场传感器的设计开辟了新的途径,近年来,提出了一些微型磁场传感器的结构,如法国的VincentBeroulle、LaurentLatorre提出的MEMS磁场传感器,在悬臂梁与锚区附近做压阻,通过测量压阻的输出检测磁场。扭摆式MEMS磁场传感器最早由BeverleyEyre等人提出,测量在磁场作用下受力后结构扭摆的幅度,来测量磁场的大小。这些磁场传感器只能测量磁场的大小。磁场是一个矢量,所以对磁场方向信息很重要。
技术实现思路
技术问题:本专利技术所要解决的技术问题是:提供一种扭摆式叉指微机电磁场传感器,该磁场传感器可以测量磁场大小以及磁场角度, ...
【技术保护点】
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器,其特征在于,所述磁场传感器包括衬底(1)、锚区组件(2)和硅掺杂层(3),锚区(2)生长在衬底(1)上,硅掺杂层(3)与锚区组件(2)固定连接;锚区组件(2)包括第一锚区(4)、第二锚区(5)、第三锚区(6)、第四锚区(7)、第五锚区(8)、第六锚区(9)、第七锚区(10)和第八锚区(11),衬底(1)上部设有空腔;硅掺杂层(3)包括第一动态支撑梁(12)、第二动态支撑梁(13)、扭摆粱(16)、第一静态支撑梁(17)、第二静态支撑梁(18);第一动态支撑梁(12)两端分别与第五锚区(8)和第七锚区(10)固定连接,第一动态支撑梁(12)处于悬空状态;第二动态支撑梁(13)两端分别与第六锚区(9)和第八锚区(11)固定连接,第二动态支撑梁(13)处于悬空状态,第一动态支撑梁(12)和第二动态支撑梁(13)平行布设;扭摆粱(16)的一端通过第一内支撑梁(14)与第一动态支撑梁(12)连接,扭摆粱(16)的另一端通过第二内支撑梁(15)与第二动态支撑梁(13)连接,扭摆梁(16)、第一内支撑梁(14)、第二内支撑梁(15)均处于悬空状态;扭转梁(16)相对两 ...
【技术特征摘要】
1.一种扭摆式叉指微机电磁场传感器,其特征在于,所述磁场传感器包括衬底(1)、锚区组件(2)和硅掺杂层(3),锚区(2)生长在衬底(1)上,硅掺杂层(3)与锚区组件(2)固定连接;锚区组件(2)包括第一锚区(4)、第二锚区(5)、第三锚区(6)、第四锚区(7)、第五锚区(8)、第六锚区(9)、第七锚区(10)和第八锚区(11),衬底(1)上部设有空腔;硅掺杂层(3)包括第一动态支撑梁(12)、第二动态支撑梁(13)、扭摆粱(16)、第一静态支撑梁(17)、第二静态支撑梁(18);第一动态支撑梁(12)两端分别与第五锚区(8)和第七锚区(10)固定连接,第一动态支撑梁(12)处于悬空状态;第二动态支撑梁(13)两端分别与第六锚区(9)和第八锚区(11)固定连接,第二动态支撑梁(13)处于悬空状态,第一动态支撑梁(12)和第二动态支撑梁(13)平行布设;扭摆粱(16)的一端通过第一内支撑梁(14)与第一动态支撑梁(12)连接,扭摆粱(16)的另一端通过第二内支撑梁(15)与第二动态支撑梁(13)连接,扭摆梁(16)、第一内支撑梁(14)、第二内支撑梁(15)均处于悬空状态;扭转梁(16)相对两侧设有延伸的第一叉指结构和第二叉指结...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。