One form of wafer grinding positioning ring, including a top surface and a bottom surface, and an outer peripheral surface of the positioning ring using polymer to plastic injection molding is made, the top surface of a concave annular positioning groove and a plurality of spaced apart in the positioning groove of the assembly, the bottom surface is provided with a plurality of concave a spaced guide channel, each channel is formed on the bottom surface of the lateral opening width is greater than the medial opening width; through the technical characteristics of the utility model can reach the manufacturing efficiency and product quality, and the grinding efficiency are greatly improved by the purpose of the invention.
【技术实现步骤摘要】
一体成形式晶圆研磨定位环
本技术涉及化学机械研磨工艺的晶圆研磨定位环,特别是涉及一种一体成形式晶圆研磨定位环。
技术介绍
半导体晶圆要进行化学机械研磨工艺(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)的时候,通常会通过设置在晶圆外周围的晶圆研磨定位环固定在化学研磨设备的研磨头,利用晶圆研磨定位环可以限位与避免晶圆在研磨过程发生移动,甚至是造成损坏的状况。目前晶圆研磨定位环的制造方式,主要是先将一以聚合物材质所制成的圆棒切割出多片圆盘,然后再针对每个圆盘加工出中心孔,使中心孔可配合晶圆的直径而定位住晶圆,另外还会在晶圆研磨定位环的表面加工出用以设置于研磨头上的组配孔,才算是完成制造整个晶圆研磨定位环。但是,上述晶圆研磨定位环的制造程序较多与复杂,成品的不良率较高,生产效率较差,而且会浪费掉非常多的聚合物材料,增加整体制造成本。
技术实现思路
因此,本技术的主要目的在于提供一种制造效率、成品品质,以及研磨效率都大幅提升的一体成形式晶圆研磨定位环。本技术所提供的一体成形式晶圆研磨定位环,包括一顶面、一底面,以及一环绕于该顶面与该底面之间的外周面,该定位环利用聚合物以塑胶射出成形方式制成,该顶面凹设一环形定位槽与多个间隔设置于该定位槽的组配部,该底面凹设多个呈间隔状的导沟,各该导沟在该底面成形出的最外侧开口宽度大于最内侧开口宽度;藉此,本技术即可实现制造效率、成品品质,以及研磨效率都大幅提升的专利技术目的。附图说明以下将搭配附图与实施方式进一步说明与理解本技术的技术特征和优点,但是并非用于限制本技术的权利范围。图1为本技术一优选实施例的立体图;图2为本 ...
【技术保护点】
一种一体成形式晶圆研磨定位环,包括一顶面、一底面,以及一环绕于该顶面与该底面之间的外周面,该定位环利用聚合物以塑胶射出成形方式制成,该顶面凹设一环形定位槽与多个间隔设置于该定位槽中的组配部,该底面凹设多个呈间隔状的导沟,各该导沟在该底面成形出的最外侧开口宽度大于最内侧开口宽度。
【技术特征摘要】
1.一种一体成形式晶圆研磨定位环,包括一顶面、一底面,以及一环绕于该顶面与该底面之间的外周面,该定位环利用聚合物以塑胶射出成形方式制成,该顶面凹设一环形定位槽与多个间隔设置于该定位槽中的组配部,该底面凹设多个呈间隔状的导沟,各该导沟在该底面成形出的最外侧开口宽度大于最内侧开口宽度。2.根据权利要求1所述的一体成形式晶圆研磨定位环,其特征是该聚合物为聚醚醚酮。3.根据权利要求1所述的一体成形式晶圆研磨定位环,其特征是各该导沟的内壁面呈倾斜状从该底面朝该顶面方向凹...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘元周,
申请(专利权)人:科建国际实业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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