晶圆清洁装置的驱动机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆清洁装置的驱动机构，其包含有：一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。本实用新型专利技术可增加晶圆清洁装置的使用寿命，降低维修更新的成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术与半导体设备有关，特别是指一种晶圆清洁装置的驱动机构。
技术介绍
晶圆清洁装置主要具有二可旋转的清洁刷，利用清洁刷沾附清洁液刷洗晶圆表面，以移除沾附在晶圆上的表面微粒与制造过程中的残余物。上述晶圆清洁装置的清洁刷由一驱动装置带动旋转，驱动装置包含有齿轮组，利用皮带绕设于齿轮组与清洁刷即可带动其旋转。然而，当皮带与齿轮相互传动的时候，两者之间为直接摩擦，因而容易造成磨耗现象，使得齿轮必须经常更换，影响了制造运作的顺畅，以及增加使用困扰。再者因清洁晶圆的清洁液多为氢氟酸(HF)，氢氟酸具有强烈的腐蚀性，会造成定位组件受到腐蚀，也必须时常更换零件，增加维修上的困难。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的主要目的在于提供一种晶圆清洁装置的驱动机构， 其可增加晶圆清洁装置的使用寿命，降低维修更新的成本。为达到上述目的，本技术所提供的一种晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于包含有一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。上述本技术的技术方案中，所述第一齿轮具有一固定部，所述固定部为旋向与所述转轴转向相反的螺纹。所述第二齿轮用复数个螺丝以平行于所述转轴轴向地固定于所述第二端。所述第一挡板与第二挡板均以具有自润性的材料制成。所述转轴另设有一第三齿轮。采用上述技术方案，本技术由于第一及第二挡板均为具有自润性的材料，能减少皮带与各挡板接触时的摩擦力，增加使用寿命，而且维修时也只需拆下与更换挡板即可，可降低更新的成本。再者，由于第一齿轮固定于转轴的旋向与转轴转向相反，因此可以加强齿轮的固定强度，使齿轮不易松脱。附图说明图1是本技术一较佳实施例的立体分解图；图2是本技术一较佳实施例的立体组合图；图3是本技术一较佳实施例另一角度的立体组合3图4是本技术一较佳实施例的侧视图；图5是图3中5-5剖线的剖视图。具体实施方式为了详细说明本技术的结构、特点及功效，现举以下较佳实施例并配合附图说明如下。如图1至图3所示，为本技术一较佳实施例所提供的晶圆清洁装置的驱动机构，包含一基座10、一第一齿轮组件20，与一第二齿轮组件40。第一、第二齿轮组件20、40 平行分设于基座10的左右二侧。第一齿轮组件20包括一转轴22，转轴22具有一第一端M与一第二端26。一第一齿轮28具有一固定部30，固定部30为旋向与转轴22转向相反的螺纹。第一齿轮28具有二侧面32，第一齿轮观以固定部30螺设于转轴22的第一端24。第一齿轮观的二侧面 32分别设有一第一挡板34，第一挡板34呈圆环状，且以具有自润性的材质制成，第一挡板 34利用若干螺丝35可拆卸地设于第一齿轮观的侧面32，第一挡板34的外缘大于第一齿轮28的外周。转轴22的第二端沈也设有一第二齿轮36，第二齿轮36具有一固定部33，固定部 33套设于转轴22，第二齿轮36利用复数个螺丝41以平行于转轴22轴向地固定于转轴22 的第二端沈。第二齿轮36具有一侧面37，第二齿轮36的侧面32设有一第二挡板38，第二挡板38也为圆环状，且以具有自润性的材料，例如工程塑料所制成。第二挡板38为利用螺栓39可拆卸地设于第二齿轮36的侧面32，第二挡板38的外缘同样大于第二齿轮36的外周。第一齿轮组件20与第二齿轮组件40通过二分设各转轴22且啮合的第三齿轮42 相互带动，第二齿轮组件40的构件概同于第一齿轮组件20，具有第一齿轮观与设于第一齿轮观侧面32的第一挡板34，差异则在于第二齿轮组件40并未设置第二齿轮36，只单纯由第一齿轮组件20所传动。如图4所示，当本技术应用于8时Mirra Mesa化学机械研磨系统或12时 Reflexion化学机械研磨系统的晶圆清洁装置时，晶圆清洁装置设有一用于带动清洁刷的定位组件50，定位组件50具有一传动齿轮52。一皮带M绕设于本技术的第一齿轮观与传动齿轮52，另一皮带M则绕设于驱动源及第二齿轮36。通过上述连结关系，驱动机构即可带动定位组件50旋转。而当皮带M带动第一及第二齿轮观、36旋转的时候，各皮带M可分别由第一、第二挡板34、38限位于啮合位置，除了不让皮带M产生滑脱的问题， 也由于第一及第二挡板34、38均为具有自润性的材料，能减少皮带M与各挡板34、38接触时的摩擦力，增加使用寿命，而且维修时也只需拆下与更换挡板34、38即可，降低更新的成本。再者，由于第一齿轮观固定于转轴22的旋向与转轴22转向相反，可以加强齿轮观的固定强度，使齿轮观不易松脱。最后，必须再次说明，本技术在前述实施例中所揭示的构成组件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其它等效组件的替代或变化，均应为本案的专利保护范围所涵盖。权利要求1.一种晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于包含有一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。2.如权利要求1所述晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于所述第一齿轮具有一固定部，所述固定部为旋向与所述转轴转向相反的螺纹。3.如权利要求1所述晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于所述第二齿轮用复数个螺丝以平行于所述转轴轴向地固定于所述第二端。4.如权利要求1所述晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于所述第一挡板与第二挡板均以具有自润性的材料制成。5.如权利要求1所述晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于所述转轴另设有一第三齿轮。专利摘要本技术涉及一种晶圆清洁装置的驱动机构，其包含有一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。本技术可增加晶圆清洁装置的使用寿命，降低维修更新的成本。文档编号B08B11/00GK202199565SQ20112027582公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月1日 优先权日2011年7月22日专利技术者刘元周 申请人:科建国际实业股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘元周，
申请(专利权)人：科建国际实业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：