一种团簇离子束纳米加工设备控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接。本实用新型专利技术提供的团簇离子束纳米加工设备控制装置实现了纳米团簇粒径的一致性和稳定性，最大限度地减少组份偏差和物相污染，大幅度地提高了系统的动态响应性能。

A nano cluster ion beam processing equipment control device

The utility model provides a nano cluster ion beam processing equipment control device includes a system control panel, the man-machine interaction module, process control module, data acquisition module, control module and the conveying nano processing module, the human-computer interaction module, process control module, data acquisition module, control module and the conveying of nano machining module is respectively electrically connected to the plate to control the system. The utility model provides a nano cluster ion beam processing equipment control device to realize the nanocluster size consistency and stability, minimize the component deviation and phase pollution, greatly improves the dynamic performance of the system.

【技术实现步骤摘要】
一种团簇离子束纳米加工设备控制装置
本技术涉及纳米材料加工领域，尤其涉及的是一种团簇离子束纳米加工设备控制装置。
技术介绍
纳米材料又称之为超微晶材料，其团簇粒径介于1nm至100nm之间，具有小尺寸效应、量子效应、界面效应和表面效应等独特而优异的物理性能，在陶瓷、微电子、化工、医学等领域具有广阔的应用前景。近十年来，围绕纳米材料的制备方法、性能测试和理论解释已成为各国研究的热点问题，取得了丰硕的理论研究和应用研究成果。就纳米材料的加工技术而言，主要有机械球磨法、分子束外延法、化学气相沉积法、液相沉积法等制备方法。机械球磨法利用研磨球、研磨罐和研磨颗粒的碰撞，改变纳米材料的粒径、形貌和比表面积，在磁性、超饱和固溶体、热电、半导体和硅酸盐等纳米材料的制备以低成本、高效益取得较好的应用成果，但普遍存在分散和污染问题，常采用超声波、机械搅拌改进物理分散，采用改性分散或分散剂分散方法以改进化学分散。但高速球磨伴随的组份偏差和物相污染，目前还未见行之有效的解决措施。分子束外延法是一种特殊的真空镀膜工艺。在超高真空腔内，将热蒸发、气体裂解、辉光放电离子化等方法产生的原子束或分子束，投射到具有一定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，其特征在于，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接；所述过程控制模块用于调控加工设备的温度、压力以及空气流量等参数；所述数据采集模块用于实时采集物料粒径数据，包括与系统控制板电连接的纳米团簇粒径实时检测传感器；所述纳米加工控制模块用于控制纳米加工工序；所述物料输送模块用于进料和出料管理。

【技术特征摘要】
1.一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，其特征在于，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接；所述过程控制模块用于调控加工设备的温度、压力以及空气流量等参数；所述数据采集模块用于实时采集物料粒径数据，包括与系统控制板电连接的纳米团簇粒径实时检测传感器；所述纳米加工控制模块用于控制纳米加工工序；所述物料输送模块用于进料和出料管理。2.根据权利要求1所述的团簇离子束纳米加工设备控制装置，其特征在于，所述纳米团簇粒径实时检测传感器采用激光三角法检测激光光强度，从而间接测量纳米团簇的粒径，包括半导体激光管、第一透镜组、第二透镜组、面阵CCD图像传感器、反射镜、粒径数据处理模块以及激光管控制电路，所述激光管控制电路分别与所述系统控制板和半导体激光管电连接，所述粒径数据处理模块分别与所述面阵CCD图像传感器和所述系统控制板电连接；所述半导体激光管发射激光，依次经过所述第一透镜组、纳米团簇离子、第二透镜组、反射镜，至所述面阵CCD图像传感器，所述面阵CCD图像传感器生成的光强度信号经所述粒径数据处理模块进行数据处理后，实时传输纳米团簇的实时粒径信号至所述系统控制板。3.根据权利要求2所述的团簇离子束纳米加工设备控制装置，其特征在于，所述粒径数据处理模块包括粒径数据处理控制电路以及分别与所述粒径数据处理控制电路连接的模拟前端、噪声抑制单元、模数转换单元、数字滤波单元、自适应高阶统计量加权平均单元以及三阶相关峭度反卷积逆滤波器。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李应高，杨光永，
申请(专利权)人：佛山旋疯纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44