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本实用新型提供了一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制...
该专利属于佛山旋疯纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山旋疯纳米科技有限公司授权不得商用。

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