电可编程熔丝系统及其测试方法技术方案

一种电可编程熔丝系统及其测试方法，其中电可编程熔丝系统包括：逻辑控制模块、分别与逻辑控制模块耦接的主编程模块以及冗余编程模块；所述逻辑控制模块，适于输入编程控制信号，根据编程控制信号产生控制主编程模块操作的主输入信号；以及接收主编程模块反馈的主输出信号，并在检测到主编程模块编程失败时，产生控制冗余编程模块操作的冗余输入信号；所述主编程模块，适于接收主输入信号，并进入编程状态；以及向逻辑控制模块反馈主输出信号；所述冗余编程模块，适于接收冗余输入信号，并进入编程状态；以及向所述逻辑控制模块反馈冗余输出信号。本发明专利技术简化了使用者对编程控制信号的输入，提高了电可编程熔丝系统的良率。

Electrically programmable fuse system and its test method

An electrically programmable fuse system and test method thereof, wherein the electrically programmable fuse system comprises a logic control module, and logic control module is coupled to the main program module and redundant programming module; the logic control module, suitable for programming input control signal according to the input signal generating the main control of the main program module operation programming control the main program module and receiving signal; the main feedback output signal, and to detect the main program module programming fails, produce redundant signal input to the control module redundant programming operation; the main program module, for receiving the main input signal, and into the programming state; and the control module of feedback signal to the main output of the logic; the redundant programming module, for receiving redundant input signal, and into the programming state; and to the logic control module redundancy feedback Output signal. The invention simplifies the input of the program control signal by the user, and improves the yield of the electric programmable fuse system.

【技术实现步骤摘要】
电可编程熔丝系统及其测试方法
本专利技术涉及电可编程熔丝
，特别涉及一种电可编程熔丝系统及其测试方法。
技术介绍
Efuse(ElectricallyProgrammablefuse，电可编程熔丝)技术是利用金属电迁移(EM)特性发展起来的一项技术，与传统的激光熔丝(LaserFuse)技术不同，Efuse技术能够用来生成小的多的电熔丝(E-fuse)结构。电熔丝的初始电阻值很小，当有大电流经过电熔丝时，电熔丝被熔断，其电阻值倍增。被熔断的电熔丝将永久的保持断开状态，而未被熔断的电熔丝则依然为导通状态。因此，由电熔丝构成的储存单元以判断电熔丝是否被熔断来得知其内部存储的数据。Efuse技术主要用于现场修复芯片，执行冗余等。与传统的激光熔丝技术相比，Efuse技术主要具有以下优点：一、它与目前广泛应用的CMOS制造工艺完全兼容，不增加额外的工艺步骤，价格低廉；二、体积小，占用更小的硅片面积且能够提供更高的灵活性，因此被广泛的应用于嵌入式系统和一次可编程存储运用中；三、由于使用了与MOS栅极一种的多晶硅材料，对未来技术的可缩小性好；四、Efuse技术还具有完成现场修复芯片的功能，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电可擦除熔丝系统，其特征在于，包括：逻辑控制模块、分别与所述逻辑控制模块耦接的主编程模块以及冗余编程模块；所述逻辑控制模块，适于输入编程控制信号，根据所述编程控制信号产生控制主编程模块操作的主输入信号；以及接收所述主编程模块反馈的主输出信号，并在检测到所述主编程模块编程失败时，产生控制所述冗余编程模块操作的冗余输入信号；还适于输出编程结果，所述编程结果基于所述主输出信号或所述冗余编程模块反馈的冗余输出信号获得，用于标示所述电可擦除熔丝系统是否编程成功；所述主编程模块，适于接收所述主输入信号，并进入编程状态；以及向所述逻辑控制模块反馈主输出信号，所述主输出信号用于标示所述主编程模块是否编程成...

【技术特征摘要】
1.一种电可擦除熔丝系统，其特征在于，包括：逻辑控制模块、分别与所述逻辑控制模块耦接的主编程模块以及冗余编程模块；所述逻辑控制模块，适于输入编程控制信号，根据所述编程控制信号产生控制主编程模块操作的主输入信号；以及接收所述主编程模块反馈的主输出信号，并在检测到所述主编程模块编程失败时，产生控制所述冗余编程模块操作的冗余输入信号；还适于输出编程结果，所述编程结果基于所述主输出信号或所述冗余编程模块反馈的冗余输出信号获得，用于标示所述电可擦除熔丝系统是否编程成功；所述主编程模块，适于接收所述主输入信号，并进入编程状态；以及向所述逻辑控制模块反馈主输出信号，所述主输出信号用于标示所述主编程模块是否编程成功；所述冗余编程模块，适于接收所述冗余输入信号，并进入编程状态；以及向所述逻辑控制模块反馈冗余输出信号，所述冗余输出信号用于标示所述冗余编程模块是否编程成功。2.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述主编程模块包括Efuse阵列单元，所述冗余编程模块包括Efuse阵列单元，且所述主编程模块与冗余编程模块相同。3.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述主编程模块包括编程单元，所述编程单元适于在接收所述主输入信号后进入编程状态；所述主编程模块还包括：与所述编程单元相连的第二读取单元，所述第二读取单元适于，在所述编程单元结束编程后，读取所述编程单元的状态；与所述第二读取单元相连的第二判断单元，所述第二判断单元适于接收读取的所述第二读取单元的状态，并判断所述编程单元是否编程成功；与所述第二判断单元相连的输出单元，所述输出单元适于向所述逻辑控制模块反馈主输出信号。4.如权利要求3所述的电可编程熔丝系统，其特征在于，所述主编程模块还包括：与所述编程单元相连的第一读取单元，所述第一读取单元适于，在接收到所述主输入信号后，读取所述编程单元的状态；与所述第一读取单元以及输出单元相连的第一判断单元，所述第一判断单元适于接收读取的所述第一读取单元的状态，并判断所述编程单元是否进行过编程，当进行过编程时结束对主编程模块的操作，当未进行过编程时，所述编程单元进入编程状态。5.如权利要求1所述的电可编程熔丝系统，其特征在于，所述冗余编程模块包括冗余编程单元，所述冗余编程单元适于，在接收到冗余输入信号后进入编程状态；所述冗余编程模块还包括：与所述冗余编程单元相连的冗余读取单元，所述冗余读取单元适于在所述冗余编程单元结束编程后，读取所述冗余编程单元的状态；与所述冗余读取单元相连的冗余判断单元，所述冗余编程单元适于接收读取的所述冗余读取单元的状态，并判断所述冗余编程单元是否编程成功；与所述冗余判断单元相连的冗余输出单元，所述冗余输出单元适于向所述逻辑控制模块反馈冗余输出信号。6.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述主编程模块还适于：接收所述逻辑控制模块提供的行编译地址。7.如权利要求6所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述主编程模块还适于：依次对所述行编译地址对应的列编程地址的每一列进行操作，以获知所述主编程模块在所述行编译地址的所有列编程地址是否编程成功。8.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述主输出信号标示主编程模块为编程成功，或者，所述冗余输出信号标示冗余编程模块为编程成功时，输出的所述编程结果标示电可擦除熔丝系统编程成功。9.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述编程控制信号包括：实际编程时间以及编程数据。10.如权利要求1所述的电可擦除熔丝系统，其特征在于，所述逻辑控制模块还适于，输出外部标识信号，所述外部标识信号适于标识所述主编程模块的编程状态以及冗余编程模块的编程状态；所述逻辑控制模块还适于，输出握手信号，所述握手信号适于标识电可擦除熔丝系统是否处于编程状态。11.一种电可编程熔丝系统的测试方法，其特征在于，包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈罗平，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31