一种镀层的X荧光测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀层的X荧光测试装置，属于检测设备技术领域，包括测试光路和成像光路，所述测试光路包括X‑ray光管、反射镜、准直器和近景LED灯；所述成像光路包括探测器、固定透镜镜组、可动透镜镜组和CCD，所述测试光路和成像光路系统在反射镜以下共轴，还包括防创板结构；本实用新型专利技术的测试装置，可以保证X‑ray荧光测试点与成像系统中心点为同一点，能实现直观、准确的测试效果；并采用两套照明系统，能实现不论近景照明系统还是远景照明系统消除了全景和近景拍摄时的光线不均匀、亮斑、阴影等现象；采用防创板设计保证性能可靠。

X fluorescence testing device for coating

The utility model discloses a device for testing X fluorescent coating, which belongs to the technical field of testing equipment, including testing and imaging beam path, the optical test including X ray light tube, mirror, collimator and close LED lamps; the imaging optical detector, including fixed lens, lens group the movable lens group and CCD, the optical test and imaging optical system in the mirror following coaxial, also includes a protection plate structure; the measuring device of the utility model, can guarantee the X ray fluorescence imaging system and test center as the same point, can realize the test results directly and accurately; and the two sets of lighting system, can realize the close range regardless of the illumination system or vision lighting system eliminates the panoramic and close range shooting light is not uniform, bright spots and shadow phenomenon; the anti invasive plate designed to ensure reliable performance.

【技术实现步骤摘要】
一种镀层的X荧光测试装置
本技术涉及检测设备领域，尤其涉及一种镀层的X荧光测试装置。
技术介绍
镀层材料的分析是指对镀层和膜的厚度与组分的分析，常用的分析方法有湿化学分析、辉光放电、发射光谱分析(GD-OES)和XRF等。湿化学分析须选择适当的溶剂溶解选定的层，逐层溶解后再进行测定，方法准确但费时费力，特别是溶剂的选择也非易事。GD-OES方法用惰性原子逐层轰击及剥离试样表层，再用发射光谱测定之。这种方法可以实现剖面或逐层分析，但测量的重复性并不理想。X荧光法(XRF)可以非破坏性完成组分和厚度的同时测定，厚度的测量范围视材料和元素而定，通常为1nm-100um。X荧光法分析镀层与常规定量分析相比较，被测元素的特征X射线荧光强度不仅与薄膜中待测元素和基材的组成有关，而且与薄膜的厚度有关，现有的采用X荧光法(XRF)对镀层进行测试的装置，存在直观性、准确性等较差的问题。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种镀层的X荧光测试装置，以解决上述问题。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的：一种镀层的X荧光测试装置，包括测试光路和成像光路，其中，所述测试光路包括X-ray光管、所述X-ra本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀层的X荧光测试装置，其特征在于：包括测试光路和成像光路，其中，所述测试光路包括X‑ray光管(8)、所述X‑ray光管(8)上方设置有X‑ray光管压块(1)、下方设置有反射镜(7)，并设置有用于安装反射镜(7)的反射镜安装轴(15)，在所述反射镜(7)下方安装有准直器(14)，所述准直器(14)下方设置有近景LED灯(17)；所述成像光路包括探测器(12)，所述探测器(12)位于所述反射镜(7)的一侧，还包括固定透镜镜组(21)、可动透镜镜组(23)和CCD(9)，还包括线性步进电机A(22)、直线导轨A(24)、线性步进电机B(19)和直线导轨B(18)，所述线性步进电机A(22)输...

【技术特征摘要】
1.一种镀层的X荧光测试装置，其特征在于：包括测试光路和成像光路，其中，所述测试光路包括X-ray光管(8)、所述X-ray光管(8)上方设置有X-ray光管压块(1)、下方设置有反射镜(7)，并设置有用于安装反射镜(7)的反射镜安装轴(15)，在所述反射镜(7)下方安装有准直器(14)，所述准直器(14)下方设置有近景LED灯(17)；所述成像光路包括探测器(12)，所述探测器(12)位于所述反射镜(7)的一侧，还包括固定透镜镜组(21)、可动透镜镜组(23)和CCD(9)，还包括线性步进电机A(22)、直线导轨A(24)、线性步进电机B(19)和直线导轨B(18)，所述线性步进电机A(22)输出转动力矩，驱动固定在可动透镜镜组(23)架上的丝杆螺母A(25)移动，从而带动可动透镜镜组(23)在直线导轨A(24)上移动；所述线性步进电机B(19)输出转动力矩，驱动固定在固定透镜镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟仲财，
申请(专利权)人：牟仲财，
类型：新型
国别省市：四川,51