一种具有隔垫物的电润湿器件及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种具有隔垫物的电润湿器件及其制备方法，是先取隔垫材料，黄光下热固化，研磨，得到隔垫微球，再将隔垫微球洒在涂布的像素墙材料上，再固化像素墙材料，然后一次光刻同时制备像素墙和隔垫物，洒在未光刻固化区域的隔垫微球，会在显影过程中去除，仅留下光刻固化区域的微球的部分结构，当所述上基板和/或所述下基板发生形变时，所述隔垫物与所述上基板接触，能够有效防止电润湿器件的内部塌陷；因为隔垫物是由微球经光刻得到，隔垫物不会对极性电解质溶液的连通性产生影响；因为像素墙和隔垫物是一步光刻得到，相比通过两次光刻制备隔垫物，不存在因为两次光刻对位所带来的误差链，精度更高，而且工艺更简单，操作难度更低。

Electrowetting device with spacer and its preparation method

The invention discloses a electrowetting device and its preparation method of spacer, spacer material is preferential, heat curing, polishing pad under the yellow light, hollow spheres, and the spacer wall material is coated microspheres sprinkled on the pixels on the pixel and then solidified wall material, then a lithography at the same time preparation of pixel wall and spacer, sprinkled on the spacer region without curing microsphere lithography, will be removed in the development process, only part of the structure of lithography curing region of microspheres on the left, when the substrate and / or the lower substrate deformation occurs, the vibration and the contact pad on the substrate and can effectively prevent the internal collapse of the electrowetting device; because the spacer is obtained by microspheres by photolithography, spacer on polar electrolyte solution connectivity impact; because the pixel wall and the spacer are compared through two photolightprocesses. There is no error chain due to the two lithography alignment, which is more accurate, and the process is simpler and less difficult to operate.

【技术实现步骤摘要】
一种具有隔垫物的电润湿器件及其制备方法
本专利技术涉及电润湿
，具体涉及一种具有隔垫物的电润湿器件及其制备方法。
技术介绍
所谓润湿是指固体表面的一种流体被另一种流体所取代的过程。液体在固体表面能铺展，固液接触面有扩大的趋势，即液体对固体表面的附着力大于其内聚力，就是润湿。液体在固体表面不能铺展，接触面有收缩成球形的趋势，就是不润湿，不润湿就是液体对固体表面的附着力小于其内聚力。电润湿(Electrowetting，EW)是指通过改变液滴与绝缘基板之间电压，来改变液滴在基板上的润湿性，即改变接触角，使液滴发生形变、位移的现象。如图1所示，电润湿显示器件由上下两个基板以及两个基板对向形成的密封腔中填充的两种不互溶的极性电解质液体4’和非极性液体5’组成，其中上基板由上支撑板1’、第一电极2’和密封胶3’组成，下基板由下支撑板9’、第二电极8’、疏水绝缘层7’和像素墙6’组成。从图1结构中我们可以看出，非极性液体5’均匀的填充在由像素墙6’围成的像素格内，由于像素墙6’材料具有亲水性，因此相邻的非极性溶液5’被像素墙6’隔断。像素墙6’和非极性溶液5’上方被极性电解质溶液4’覆盖，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有隔垫物的电润湿器件，包括上基板和下基板，所述下基板包括像素墙，其特征在于，所述像素墙上表面设有多个隔垫物，所述隔垫物随机分散在所述像素墙上，所述隔垫物是由微球经光刻得到，当所述上基板和/或所述下基板发生形变时，所述隔垫物与所述上基板接触。

【技术特征摘要】
1.一种具有隔垫物的电润湿器件，包括上基板和下基板，所述下基板包括像素墙，其特征在于，所述像素墙上表面设有多个隔垫物，所述隔垫物随机分散在所述像素墙上，所述隔垫物是由微球经光刻得到，当所述上基板和/或所述下基板发生形变时，所述隔垫物与所述上基板接触。2.根据权利要求1所述的具有隔垫物的电润湿器件，其特征在于，所述隔垫物是由和所述像素墙相同或同类型的材料制成的。3.根据权利要求1所述的具有隔垫物的电润湿器件，其特征在于，所述隔垫物和所述像素墙的材料均为负性光刻胶材料。4.根据权利要求1所述的具有隔垫物的电润湿器件，其特征在于，所述隔垫物的厚度等于所述像素墙的壁的厚度。5.根据权利要求1-4任一项所述的具有隔垫物的电润湿器件，其特征在于，所述电润湿器件为电润湿显示器、电润湿光学开关或电润湿光学面板。6.根据权利要求1-4任一项所述的具有隔垫物的电润湿器件，其特征在于，所述上基...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋洪伟，闫俊丰，艾利克斯·汉森·维克多，周国富，
申请(专利权)人：华南师范大学，深圳市国华光电科技有限公司，深圳市国华光电研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44