一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台及其标定方法技术

本发明专利技术提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台，从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度，使测量布置方式最优；再根据测试长平晶位置确定反射镜位置，利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置；使用干涉仪测量时根据不同型号的长平晶对照标定图像，从而确定该长平晶的面型信息。本发明专利技术在标定时无需测量全部面型参数，增加了简易性，且在测量时节省空间，有统一的标准，精度高，易于实现。

Calibration method and test platform for tilt test of standard long flat crystal

The invention provides a standard for the long flat calibration method and test platform tilt test crystal, from the first according to the tilt angle of long flat type to determine the optimal measurement, make arrangement; then according to the test of optical flat position determining mirror position, find the mirror reflecting light vertical position by automatic laser alignment using the interferometer measurement system; according to the different types of long Ping Jing control calibration image, so as to determine the long flat surface information. The invention does not need to measure all the surface parameters at the standard timing, increases the simplicity, and saves the space at the time of measurement, has uniform standards, high accuracy and easy realization.

【技术实现步骤摘要】
一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台
本专利技术属于光学测量领域，涉及一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台。
技术介绍
长平晶主要用于测量高光洁表面的平面度误差，因此对其表面面型有严格的要求。当前国际通用的光学元件面型偏差有三个指标：光圈公差和两个局部光圈公差，在国内的生产加工中，原始光圈已被更新为最大光圈和局部光圈，面型偏差主要是用双光束干涉来检验，有早期的相对检验和现在的绝对检验两种。随着数字干涉仪的发展和普及以及国际标准(ISO10110)在国内外的推广，国际上又有了一种新的描述波前面型的方式，并引申出许多新的概念，如PV值，RMS值，PSD值等。传统的相对检验方法主要有样板法和条纹法。样板法即根据标准样板制造出可以在生产中使用的工作样板，将待测件与样板贴合，然后在灯光下通过观察他们之间的空气间隙形成的干涉条纹，从条纹形状和颜色分析工件面型。但由于属于接触式测量，一般会对待测面表面产生额外损伤。条纹法是通过提取干涉图上的条纹，利用计算机进行后续的数字图像处理，因干涉仪技术和计算机迅速发展使得该方法在平面度计量领域得到了应用，但在长平晶测量领域，由于长平晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台，其特征在于：包括自准直激光器（2）、平面反射镜（3）、圆形底座（4）、转盘（6）、0刻线（7）、待测件卡座（13）和视场光阑（14），转盘（6）设置在圆形底座（4）上，与其转动连接，转盘（6）直径小于圆形底座（4）直径，两者之间形成环形凹槽（5），视场光阑（14）固定在转盘（6）的中心，待测长平晶（1）通过待测件卡座（13）固定在转盘（6）上，待测长平晶（1）与视场光阑（14）平行；平面反射镜（3）设置在所述凹槽（5）中；自准直激光器（2）固定在平面反射镜（3）的顶部，0刻线（7）设置在转盘（6）上，且与视场光阑（14）和待测长平晶（1）垂直。

【技术特征摘要】
1.一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台，其特征在于：包括自准直激光器（2）、平面反射镜（3）、圆形底座（4）、转盘（6）、0刻线（7）、待测件卡座（13）和视场光阑（14），转盘（6）设置在圆形底座（4）上，与其转动连接，转盘（6）直径小于圆形底座（4）直径，两者之间形成环形凹槽（5），视场光阑（14）固定在转盘（6）的中心，待测长平晶（1）通过待测件卡座（13）固定在转盘（6）上，待测长平晶（1）与视场光阑（14）平行；平面反射镜（3）设置在所述凹槽（5）中；自准直激光器（2）固定在平面反射镜（3）的顶部，0刻线（7）设置在转盘（6）上，且与视场光阑（14）和待测长平晶（1）垂直。2.根据权利要求1所述的针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台，其特征在于：所述转盘（6）上沿0刻线顺时针依次设有45°刻度线8、62°刻度线10、72°刻度线11和81°刻度线12。3.根据权利要求1所述的针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台，其特征在于：还包括一个尺度对准标记点（9），尺度对准标记点（9）设置在圆形底座（4）顶部边缘。4.根据权利要求1所述的针对标准长平晶面型倾斜测量的测试光路，其特征在于：所述视场光阑（14）采用圆形光阑。5.一种采用如权利要求1所述的针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台的标定方法，其特征在于，方法步骤如下：步骤1、确定斐索干涉仪（15）与针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台的相对位置；步骤2、确定不同长度的长平晶所对应的倾斜角度；步骤3、根据不同长度的长平晶所对应的倾斜角度调整转盘（6），使得角度刻度线与尺度对准标记点（9）重合；步骤4、调整平面反射镜（3）的位置；步骤5、斐索干涉仪（15）发出的测试光经视场光阑（14）入射至待测长平晶（1），经待测长平晶（1）反射至平面反射镜（3），平面反射镜（3）将携带待测长平晶（1）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王青，齐思璐，周泉仙，孟令强，石慧，王晓烨，
申请(专利权)人：南京英特飞光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32