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本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台,从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度,使测量布置方式最优;再根据测试长平晶位置确定反射镜位置,利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置;使用干涉仪测量时根据不同型号的长...该专利属于南京英特飞光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京英特飞光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台,从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度,使测量布置方式最优;再根据测试长平晶位置确定反射镜位置,利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置;使用干涉仪测量时根据不同型号的长...