下载一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台及其标定方法的技术资料

文档序号:16482092

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本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台,从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度,使测量布置方式最优;再根据测试长平晶位置确定反射镜位置,利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置;使用干涉仪测量时根据不同型号的长...
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