本实用新型专利技术公开了一种立式干涉仪升降调整架，包括第一支撑机构、安装于所述第一支撑机构上的可沿着第一支撑机构轴向移动的第一调整架机构、与第一调整架机构相连且可在第一支撑机构上锁止的磁性锁止机构以及通过连接机构与第一调整架连接的配重机构。本实用新型专利技术的立式干涉仪升降调整架，可多维度方向调节被测件姿态，易损结构保护隐藏，整体结构具有框架平稳、可靠性高、操作简单方便，适用于立式干涉仪的大批量镜片表面的快速检测。
【技术实现步骤摘要】
一种立式干涉仪升降调整架机构
本技术涉及一种光学测量设备及光学零件调整架，特别涉及一种干涉测量用的立式干涉仪升降调整架机构。
技术介绍
随着手机镜头、监控镜头等大批量产品(以万件为计数单位)对光学冷加工的精度要求越来越高，立式激光干涉仪以其可以快速测量球面类零件的光圈和面形而被广泛用于生产现场。在立式激光干涉仪中，可升降调整架系统，承载了被测件，并与标准镜头一起构成干涉腔。其对于调整快速方便、抗生产现场环境干扰等要求比实验室用的卧式干涉仪高的多。首先，载物调整架需要的是稳定。构成干涉测量的标准镜头和被测球面，通过调整架连接在一起，需要保证干涉图的稳定。因此不怕两个光学元件的同步振动，而敏感于两个光学元件相对振动产生的腔长变化。在现场测量环境下，就是需要调整架实现更好的刚性连接。其次，载物调整架需要在导轨上实现快速平稳的升降，并能停止于任何一个位置。因此有导轨、配重、弹簧、丝杠等各种机构。其中导轨与配重是最常见的组合，而弹簧一般只用在小型干涉仪的轻型调整架系统中，且亦损坏。丝杠费用较高，且一般也需要配重块平衡调整架重量。一般升降系统中，用于连接配重和调整架的钢丝绳外露，非但不美观，其上的防锈润滑油脂还易被触碰到，形成污染源。第三，载物调整架需要能够锁止在轨道的任意高度。常规锁止方法是采用机械结构夹紧(或顶紧)在导轨或立板表面。这两种方法均会对导轨产生一个侧向的力，锁紧松了可能会上下蠕动，使得干涉条纹在较长时间中发生变化影响干涉仪连续测量；紧了则长期使用过程中对导轨的直线度造成不利影响，必须采用费用较高的加重型导轨。
技术实现思路
技术目的：为了解决上述问题，本技术提供一种刚性好、隐藏配重系统、避免锁止机构对导轨施加侧向力影响的立式干涉仪升降调整架。技术方案：本技术所述的一种立式干涉仪升降调整架，包括第一支撑机构、安装于所述第一支撑机构上的可沿着第一支撑机构轴向移动的第一调整架机构、与第一调整架机构相连且可在第一支撑机构上锁止的磁性锁止机构以及通过连接机构与第一调整架机构连接的配重机构。所述第一支撑机构包括底座以及垂直安装于所述底座上的轴向延伸的立柱，所述第一调整架机构与配重机构分别安装于所述立柱的两侧；所述立柱上安装有用于第一调整架轴向导向的第一导轨。所述配重机构包括配重块以及安装于所述立柱上用于所述配重块导向的第二导轨以及连接第二导轨以及配重块的直线轴承。所述第一调整架机构包括X/Y平移台以及Z轴微动固定结构。所述磁性锁止机构包括安装于所述立柱上的固定钢板以及安装于第一导轨上的磁座固定机构，所述磁性锁止机构与第一调整架机构的Z轴微动固定结构固接。所述第一调整架机构的X/Y平移台上表面设置有间隔分布的若干第二支撑机构和定位卡座。所述第一调整架机构的X/Y平移台上方设置有第二调整架机构，所述第二调整架机构下端设置有与所述定位卡座相匹配的定位机构。所述连接机构包括安装于所述立柱顶部的转向机构以及跨越转向机构前后的软性悬挂机构。所述立柱表面左右对称设置有用于容纳软性悬挂机构的第一凹槽，中间设置有容纳所述固定钢板第二凹槽。有益效果：(1)本技术可多维度方向调节，适用多种样式的镜片；(2)本技术操作简单方便，基本实现无培训即可使用；(3)本技术将易损结构保护隐藏，提高产品使用寿命；(4)本技术具有框架平稳、可靠性高、操作方便、应用范围广等优势，适用于立式干涉仪的大批量镜片表面的快速检测。附图说明图1为本技术立式干涉仪升降调整架整体结构示意图；图2为本技术的调整架机构立柱顶视结构示意图；图3为本技术第一调整架机构与配重机构的结构与安装示意图；图4为本技术的磁性锁止机构示意图；图5为本技术的第一调整架机构表面结构示意图；图6为本技术的配重机构示意图；图7为本技术的第二调整架机构结构示意图。具体实施方式实施例1：如图1所示，本技术所述的一种立式干涉仪升降调整架，包括第一支撑机构1、安装于第一支撑机构1上的第一调整架机构2和磁性锁止机构3、以及通过连接机构4与第一调整架结构2连接的配重机构5，本实施例中，第一调整架机构2与配重机构5通过连接机构4以软性悬挂方式相互牵连。如图1所示，本技术中所述的轴向为图1中Z轴竖直方向，所述横向为图1中X轴方向，垂直于纸面的Y方向作为纵向。如图1和图2所示，第一支撑机构1包括水平放置(X轴-Y轴平面)的底座11以及垂直安装于底座1上的沿着轴向延伸的立柱12；立柱12用于提供本技术的加强刚性结构，立柱12是凹形结构，包括正立面板121和后侧左右各一的加强围护板122。立柱12安装于底座11上，正对干涉仪7的一侧为正面。本技术中的立柱12有两种方法制造，其一是直接用铝材拉制成型，然后再加工出各种安装位置和螺丝孔等结构；其二是用铝板单独加工后拼接成型。在本实施例中，采用稳定性更好的铝材拉制成型工艺。立柱后侧形成一个容纳配重机构5的空间，实现配重机构5隐藏和稳定运行。如图1和图2所示，第一调整架机构2与配重机构5分别安装于立柱12的不同侧面(正面和背面)，立柱12正面的两侧边安装有用于第一调整架2导向运动的轴向延伸的第一导轨21，立柱12的背侧(背面)有两块围护加强板123，其围护空间用于安装配重机构5。如图3和图4所示，第一调整架机构2上包括X/Y平移台22以及Z轴微动固定结构23，第一调整架机构2的X/Y平移台22以及Z轴微动固定结构23的结构与运动方式属于现有技术，磁性锁止机构3锁止之后，第一调整架机构2的X/Y平移台22可进行Z轴的微调；第一调整架机构2的运动部件(X/Y平移台)与磁性锁止机构3的运动部件(磁座固定机构32)分别通过滑块固定于第一导轨21上。如图4所示，磁性锁止机构3包括安装于立柱12上的固定钢板31以及安装于第一调整架机构2的第一导轨21上的磁座固定机构32，磁座固定机构32与第一调整架机构2通过Z轴微动机构23固接，磁性锁止机构3还包括安装于磁座固定机构上的带开关磁头33。本技术的磁性锁止机构3的固定钢板31固定于立柱12正面板121的中间槽即第二凹槽125(第二凹槽125为设置于正面板121的凹槽)中，而活动的磁座固定机构32通过滑块安装在第一导轨21上，并通过Z轴微动机构23连接第一调整架机构2的X/Y平移台22。磁性锁止机构3的工作方式为：磁性锁止机构3的磁头与固定钢板31需预留微小缝隙，在本实施例中，间隙在0.01mm至0.02mm之间，以保证松开时，磁头33可以离开固定钢板31表面顺滑移动；而锁止时，磁头33可以与固定钢板31表面紧密接触，其强磁压力下的摩擦阻力可以完全阻止磁座固定机构32上下移动。此时磁座固定机构32就成为第一调整架机构2的Z轴调整固定块，微调螺杆可操纵第一调整架机构2的X/Y平移台22上下微调。如图5所示，本技术的X/Y本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种立式干涉仪升降调整架，其特征在于，包括第一支撑机构(1)、安装于所述第一支撑机构(1)上的可沿着第一支撑机构(1)轴向移动的第一调整架机构(2)、与第一调整架机构(2)相连且可在第一支撑机构(1)上锁止的磁性锁止机构(3)以及通过连接机构(4)与第一调整架机构(2)连接的配重机构(5)。/n
【技术特征摘要】
1.一种立式干涉仪升降调整架，其特征在于，包括第一支撑机构(1)、安装于所述第一支撑机构(1)上的可沿着第一支撑机构(1)轴向移动的第一调整架机构(2)、与第一调整架机构(2)相连且可在第一支撑机构(1)上锁止的磁性锁止机构(3)以及通过连接机构(4)与第一调整架机构(2)连接的配重机构(5)。
2.根据权利要求1所述的立式干涉仪升降调整架，其特征在于，所述第一支撑机构(1)包括底座(11)以及垂直安装于所述底座(11)上的轴向延伸的立柱(12)，所述第一调整架机构(2)与配重机构(5)分别安装于所述立柱(12)的两侧；所述立柱上安装有用于第一调整架轴向导向的第一导轨(21)。
3.根据权利要求2所述的立式干涉仪升降调整架，其特征在于，所述配重机构(5)包括配重块(52)以及安装于所述立柱(12)上用于所述配重块(52)导向的第二导轨(51)以及连接第二导轨以及配重块的直线轴承(53)。
4.根据权利要求3所述的立式干涉仪升降调整架，其特征在于，所述第一调整架机构(2)包括X/Y平移台(22)以及Z轴微动固定结构(23)。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭，刘凤鸣，王青，
申请(专利权)人：南京英特飞光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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