干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及干燥设备的技术领域公开了一种干燥装置，用于基板去光阻设备，包括：机架和设置于机架上的传送机构；该干燥装置还包括翻转机构，该翻转机构包括固定于机架上的用于翻转基板的转动部，以及设置于转动部上的用于固定基板的固定部；该干燥机构还包括位于由多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，风刀朝向第一传送辊。上述翻转机构将被固定在翻转机构上的待干燥的基板旋转大于或者等于90°，将基板上的色组之间狭缝当中的一些残留物可以倾倒一部分出来，再经过风刀，使后续镀铟锡氧化物半导体透明导电膜的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致铟锡氧化物半导体透明导电膜与金属层接触不良，从而提高了产品的合格率。

Drying device

The utility model relates to the technical field of drying equipment and discloses a drying device for substrate to resist equipment, including: transmission mechanism frame and is arranged on the frame; the drying device also comprises a turnover mechanism, the turnover mechanism comprises a fixed on the frame for rotation of turning substrate, and is arranged on the rotating part the fixed part used for fixing the substrate; the drying mechanism also comprises a first transfer roller is composed of a plurality of straight line transmission path formed on the air knife, air knife toward the first transfer roller. The turnover mechanism will be fixed on the turning mechanism for drying the substrate rotation is greater than or equal to 90 degrees, the number of residues slit between the color group on the substrate which can dump a part, and then after the air knife, when subsequent plating indium tin oxide semiconductor transparent conductive film, not because of the presence of residues in the slit as a result of contact of indium tin oxide semiconductor transparent conductive film and a metal layer, so as to improve the qualified rate of products.

【技术实现步骤摘要】
干燥装置
本技术涉及干燥设备的
，尤其涉及一种用于液晶面板干燥处理的干燥装置。
技术介绍
随着科技的发展，电子产品越来越普及，尤其是电脑电视走进了千家万户。这些各类电子产品上安装了大量的电子显示设备，电子显示设备在各个领域都有广泛的应用。目前，液晶显示屏幕越做越大，而且曲面式显示器的逐渐增多，彩色滤波薄膜晶体管(ColorFilterOnTFT，简称COT)技术近年来被广泛的应用于薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay,简称TFT-LCD)电视产品上。而目前的COT技术应用于基板的生产过程中，钝化蚀刻后除光阻时，只是以倾斜五度的传送方式再经过风刀机构来清除色组之间狭缝中留下的液体，但因为狭缝的高度差有的时候高达2μm以上，造成在去光阻时清除液狭缝中的残留物变得比较困难，经常出现清除不干净的情况，致使后续镀铟锡氧化物半导体透明导电膜(IndiumTinOxides，简称ITO)的时候，该ITO层在狭缝中与源极接触不佳，从而发生产品不可靠的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种干燥装置及干燥方法，旨在解决现有技术中，基板彩色滤波薄膜晶体管的色组之间的狭缝太深而导致里面的残留物很难清除的问题。本技术提供了一种干燥装置，用于基板去光阻设备，包括：机架；传送机构，设置于所述机架上，所述传送机构包括用于传送所述基板且呈直线排列的多个第一传送辊，以及用于驱动所述第一传送辊转动的第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述第一传送辊传动连接；翻转机构，包括固定于所述机架上的用于翻转所述基板的转动部，以及设置于所述转动部上的用于固定所述基板的固定部；干燥机构，所述干燥机构设置于所述机架上并位于所述翻转机构一侧，所述干燥机构包括位于由所述多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，所述风刀朝向所述第一传送辊。进一步地，所述转动部包括设置于所述机架上的转轴、固定于所述转轴上的转动台，以及用于驱动所述转动台翻转的转动驱动件，所述转轴与所述转动驱动件传动连接；所述固定部包括固定于所述转动台上的用于固定所述基板的夹具，以及用于驱动所述夹具的固定驱动件，所述夹具与所述固定驱动件传动连接。进一步地，所述转轴呈水平布置，且所述转轴与所述传送路径垂直。可选地，所述转动台的翻转角度大于或者等于90°。进一步地，所述转动台还包括多个呈直线排列的用于传送所述基板且位于所述传送路径上的第二传送辊，以及用于驱动所述第二传送辊转动的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述第二传送辊传动连接。可选地，所述固定驱动件为气缸或液压缸。进一步地，所述夹具包括相对设置的第一夹具模块和第二夹具模块。进一步地，所述第一夹具模块包括固定于所述转动台的第一固定件和固定于所述第一固定件上的第一转动件；所述第二夹具模块包括固定于所述转动台的第二固定件和固定于所述第二固定件上的第二转动件。可选地，所述第一固定件和所述第二固定件呈“一”字型，所述第一转动件和所述第二转动件呈“L”字型。进一步地，所述第一转动件和所述第二转动件翻转的角度范围为0°至180°。基于上述技术方案，本技术中提出的干燥装置，在机架上设置有翻转机构，上述翻转机构将被固定在翻转机构上的待干燥的基板旋转大于或者等于90°，将基板上的色组之间狭缝当中的一些残留物可以倾倒一部分出来，再经过风刀，则可以将狭缝中的残留物清除的更加干净。使后续镀ITO层的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致ITO层与金属层接触不良，从而提高了产品的合格率。附图说明图1为本技术实施例提出的干燥装置示意图；图2为本技术实施例提出的翻转机构剖面示意图；图3为本技术实施例提出的翻转机构旋转示意图；图4为本技术实施例提出的翻转机构夹具松开示意图；图5为本技术实施例提出的翻转机构俯视示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。另外，还需要说明的是，本技术实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。以下结合具体实施例对本技术的实现进行详细的描述。如图1至图5所示，本技术实施例提出了一种干燥装置，用于基板1去光阻设备，包括：机架2和设置于该机架2上的传送机构(附图未标出)，该传送机构包括用于传送基板1且呈直线排列的多个第一传送辊21，以及用于驱动第一传送辊21转动的第一驱动电机(附图未标出)，第一驱动电机与第一传送辊21传动连接；该干燥装置还包括翻转机构3，该翻转机构3包括固定于上述机架2上的用于翻转基板1的转动部b，以及设置于该转动部b上的用于固定基板1的固定部a；另外，该干燥装置还包括干燥机构(附图未标出)，该干燥机构设置于机架2上并位于翻转机构3一侧，该干燥机构包括位于由多个第一传送辊21直线排列形成的传送路径22上的风刀F，风刀F朝向第一传送辊21。如上所述，本技术实施例提出的干燥装置，通过在机架2上设置翻转机构3，利用翻转机构3将固定在其上的待干燥基板1旋转大于或者等于90°，如此，可将基板1上的色阻(附图未标出)之间狭缝当中的一些残留物倾倒一部分出来，接着再经过风刀F中气流冲击，使得狭缝中的残留物可进一步被清除。使后续镀ITO层(附图未标出)的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致ITO层与金属层(附图未标出)接触不良，从而提高了产品的合格率。在本技术实施例中，上述机架2可选地呈直线水平布置，当然，在其他实施例当中，该机架2还可为“L”型、“口”型或者其他形状的布置方式，此处不作唯一限定。具体地，设置于该机架2上的第一传送辊21数量可以为多个且呈直线排列，形成了上述基板1的传送路径22，基板1干燥过程中的各道工序都在该传送路径22上进行，节省了空间，方便上一道工序和下一道工序的衔接，压缩了加工所用的时间。当然，在其他实施例中，第一传送辊21还可以为其他方式排列，比如每道工序都独立形成一条传送路径，或者传送路径并非直线而是在中途改变方向，同时，上述第一传送辊21还可以为其他可以让基板1移动的装置，比如机器手臂搬运或者用吸盘吸附然后再移动基板1的其他可以使基板1移动的装置，此处不作唯一限定。在本技术实施例中，上述第一传送辊21与第一驱动电机传动连接，该第一驱动电机驱动第一传送辊21转动，带动位于第一传送辊21上的基板1移动。当然，在其他实施例当中，第一驱动电机还可以采用汽油发动机或者柴油发动机等其他类型的动力装置，只需要能够带动第一传送辊21运动即可，此处不作唯一限定。在本技术实施例中，上述翻转机构3包括有固定于上述机架2上的转动部b，以及设置于该转动部b上的固定部a，该固定部a可以将基板1固定在转动部b上，转动部b可以将基板1旋转一定角度，使得基板1色阻之间狭缝中的残留本文档来自技高网...

【技术保护点】
干燥装置，用于基板去光阻设备，其特征在于，包括：机架；传送机构，设置于所述机架上，所述传送机构包括用于传送所述基板且呈直线排列的多个第一传送辊，以及用于驱动所述第一传送辊转动的第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述第一传送辊传动连接；翻转机构，包括固定于所述机架上的用于翻转所述基板的转动部，以及设置于所述转动部上的用于固定所述基板的固定部；干燥机构，所述干燥机构设置于所述机架上并位于所述翻转机构一侧，所述干燥机构包括位于由所述多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，所述风刀朝向所述第一传送辊。

【技术特征摘要】
1.干燥装置，用于基板去光阻设备，其特征在于，包括：机架；传送机构，设置于所述机架上，所述传送机构包括用于传送所述基板且呈直线排列的多个第一传送辊，以及用于驱动所述第一传送辊转动的第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述第一传送辊传动连接；翻转机构，包括固定于所述机架上的用于翻转所述基板的转动部，以及设置于所述转动部上的用于固定所述基板的固定部；干燥机构，所述干燥机构设置于所述机架上并位于所述翻转机构一侧，所述干燥机构包括位于由所述多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，所述风刀朝向所述第一传送辊。2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述转动部包括设置于所述机架上的转轴、固定于所述转轴上的转动台，以及用于驱动所述转动台翻转的转动驱动件，所述转轴与所述转动驱动件传动连接；所述固定部包括固定于所述转动台上的用于固定所述基板的夹具，以及用于驱动所述夹具的固定驱动件，所述夹具与所述固定驱动件传动连接。3.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述转轴呈水平布置，且所述转轴与所述传送路径垂直。4.如权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：简重光，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44