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本实用新型涉及干燥设备的技术领域公开了一种干燥装置，用于基板去光阻设备，包括：机架和设置于机架上的传送机构；该干燥装置还包括翻转机构，该翻转机构包括固定于机架上的用于翻转基板的转动部，以及设置于转动部上的用于固定基板的固定部；该干燥机构还包...该专利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司授权不得商用。