数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法制造方法及图纸

公开了数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法包括存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于该对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，和发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。该存储和获得由信息处理设备执行。

Data transmission method, non temporary storage medium, data transmission device, lithographic device and method for manufacturing products

A data transmission method, a non temporary storage medium, a data transmission device, a lithographic device and a method of manufacturing a product are disclosed. The corresponding information between the data transmission method for transmitting data recorded in the log log information manufacturing device in the data to an external device includes storing a first identifier and the second identifier information information, the first identifier is used to identify the identifier on treatment things executed by the manufacturing device and the first identifier by the manufacturing device and external device sharing, second identifier is used to identify a page identifier deal executed by the manufacturing device and the second identifier by the manufacturing device; and based on the first identifier in the log information obtained and recorded the second identifier of the corresponding information corresponding to the information that has added a log information and send the first identifier of the obtained information data. The storage and access is performed by the information processing device.

【技术实现步骤摘要】
数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法
本实施例的一个方面涉及数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。
技术介绍
在制造诸如设备之类的产品的制造装置中，用于控制制造装置的程序收集多条日志信息并且然后将该多条日志信息作为日志数据存储在制造装置的信息处理设备中，在该多条日志信息中例如记录了关于构成制造装置的各种设备的操作或控制的历史。当记录在该日志数据中的日志信息的数据被发送时，监视和控制制造装置的外部设备(诸如主机计算机)可以执行生产控制、装置中的异常检测、故障预测、反馈控制等等。在日本专利特开No.2015-79817中提出的方法是将多个模块的多条日志信息的多条数据发送到外部的方法。这里，在外部设备中，上述生产控制等是通过使用用于标识制造装置的命令操作的作业的标识符、用于标识由该装置处理的材料的标识符等来执行的。这些标识符是由外部设备和制造装置共享的标识符(以下称为外部标识符)。因此，在日志信息的数据的发送中，必须添加和发送外部标识符。然而，在制造装置的控制单元中，在某些情况下，仅使用在制造装置中使用的标识符(以下称为内部标识符)将诸如用于标识命令所操作的作业的标识符之类的标识符记录在日志信息中。因此，当发送日志信息的数据时，在某些情况下，不包含外部标识符的信息的日志信息的数据被发送，使得不可能在外部设备中使用用于上述生产控制等的数据。
技术实现思路
根据实施例的一个方面的数据传输方法是将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法。该数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。所述存储和获得由信息处理设备执行。从以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其它特征将变得清楚。附图说明图1示出了曝光装置和主机计算机的配置。图2是示出了信息处理设备的硬件配置的框图。图3是示出了中央处理单元(CPU)的配置的框图。图4是示出了根据第一实施例的由CPU执行的处理的流程图。图5A至图5J示出了根据第一实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。图6是示出了根据第二实施例的由CPU执行的处理的流程图。图7A和图7B示出了根据第二实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。具体实施方式下面将参考附图详细描述本公开的示例性实施例。在以下的实施例中，将描述曝光装置被用作制造装置的示例。在整个附图中，相同的构件用相同的附图标记指代，并且省略其重复的描述。第一实施例图1示出了曝光装置和主机计算机的配置。如图1中所示，曝光装置10可以包括光源单元101、照明系统102、掩模台104、光学投影系统105、晶片台106、晶片卡盘107、预对准单元109和控制单元111。从光源单元101发射的光经由照明系统102照明由掩模台104保持的掩模103。光源单元101的光源的示例包括高压汞灯、准分子激光器等。在光源是准分子激光器的情况下，光源单元101不一定被设置在曝光装置10的室(chamber)中。光源单元101可以设置在外部。在掩模103上，绘制了待转印的电路图案。照明掩模103的光通过光学投影系统105到达晶片108。晶片108的示例包括硅晶片、玻璃板、薄膜基板等。掩模103上的图案经由光学投影系统105转印到感光介质(例如，抗蚀剂)，晶片108被用该感光介质涂布(coated)。晶片108由晶片卡盘107以通过诸如真空抽吸之类的方法使得该晶片108平坦的方式保持。晶片卡盘107由晶片台106保持。晶片台106是可移动的。在晶片台106沿垂直于光学投影系统105的光轴的表面二维地逐步移动的同时，在晶片108的多个压射区域上重复执行曝光。这是被称为步进和重复(step-and-repeat)的曝光方法。还有被称为步进和扫描(step-and-scan)方法的曝光方法，其中在掩模台104和晶片台106同步的情况下执行扫描和曝光。第一实施例也可以应用于采用这种方法的曝光装置。在曝光装置10中，把要经受曝光处理的晶片108加载到曝光装置10中，其中晶片108被放置在晶片盒110中。在晶片盒110中，存储至少一个晶片108，并且通常存储多个晶片108。一个晶片108通过未示出的机器人手等被从晶片盒110中取出并被放置在预对准单元109中。在预对准单元109中，对晶片108执行定向调整、对准等，并且然后通过机器人手将晶片108放置在晶片卡盘107上，并使晶片108经受曝光处理。经受了曝光处理的晶片108由机器人手从晶片卡盘107中取出并返回到晶片盒110，并且同时，在预对准单元109中等待的后续晶片108被放置在晶片卡盘107上。以这种方式，晶片108顺序地经受曝光处理。在曝光装置10以串联的方式与另一装置(诸如涂布/显影装置)(未示出)连接的情况下，可以从其它装置输送要经受曝光处理的晶片108，并且可以将经受了曝光处理的晶片108输送到其它装置。控制单元111是诸如计算机之类的信息处理设备。控制单元111控制曝光装置10的每个单元或设备，并执行各种算术运算。在图1所示的示例中，虽然设置了一个控制单元111，但是控制单元111的数量不限于一个。可以为曝光装置10的各个单元或设备设置多个控制单元111。主机计算机11是经由网络等与曝光装置10连接的信息处理设备。主机计算机11监视和控制曝光装置10。主机计算机11还连接到除了曝光装置10之外的设备，并且类似地监视和控制另一制造装置等。例如，主机计算机11执行关于曝光装置10进行操作的命令的作业。此时，主机计算机11向作业添加外部标识符(第一标识符)的信息，并将该作业的信息发送到曝光装置10。这里，外部标识符是由曝光装置10和诸如主机计算机11之类的外部设备共享的标识符。外部标识符的示例包括作为用于标识作业的标识符的“JobID”、作为用于标识由曝光装置10处理的晶片的标识符的“WaferID”等。指示作业的属性的信息(诸如批号、配方名称或作业步骤名称)也可以用作外部标识符。指示晶片的属性的信息(诸如晶片所属的晶片盒或晶片盒的槽)也可以用作外部标识符。指示掩模的属性的信息(诸如掩模的标识符)也可以用作外部标识符。也就是说，外部标识符是用于标识关于由曝光装置10执行的处理的事物的标识符。该实施例不限于从主机计算机11获得外部标识符的情况。例如，作为用于标识晶片的外部标识符的“WaferID”可以从另一制造装置获得，诸如以串联的方式连接到曝光装置10的涂布/显影装置(未示出)。此外，作为用于标识掩模103的外部标识符的“MaskID”可以通过利用掩模输送单元(未示出)读取掩模103上的条形码等来获得。图2是示出能够执行数据传输方法的信息处理设备的硬件配置的框图。该方法通过使计算机的处理单元(中央处理单元(CPU)、微处理单元(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数据传输方法，其特征在于，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，所述数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据，其中所述存储和获得由信息处理设备执行。

【技术特征摘要】
2016.04.15 JP 2016-0823171.一种数据传输方法，其特征在于，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，所述数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据，其中所述存储和获得由信息处理设备执行。2.根据权利要求1所述的数据传输方法，其中在存储中，添加与第一标识符的信息和第二标识符的信息相对应的事件时间的信息，并存储对应信息，以及其中在所述获得中，如果在所述对应信息中存在相同的多条日志信息的第二标识符的信息，则基于所述对应信息获得与最接近日志信息的事件时间的信息的一条第二标识符的信息相对应的事件时间的信息，并且获得与所述事件时间的信息相对应的第一标识符的信息。3.根据权利要求2所述的数据传输方法，其中所述第二标识符的信息是如下的序列数，如果该序列数超过一定的数，则该序列数返回到初始数。4.根据权利要求1所述的数据传输方法，其中所述日志信息包括包含第一标识符的信息的日志信息和不包括第一标识符的信息的日志信息。5.根据权利要求1所述的数据传输方法，其中所述发送包括每当所述日志信息被记录时发送所述日志信息的数据。6.根据权利要求1所述的数据传输方法，其中所述获得包括从所述日志数据读取所述日志信息并发送所述日志信息的数据。7.根据权利要求1所述的数据传输方法，其中所述制造装置是在基板上形成图案的光刻装置。8.一种非暂时性存储介质，其特征在于，该非暂时性存储介质存储使信息处理设备执行数据传输方法的程序，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，其中所述数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使...

【专利技术属性】
技术研发人员：增田充宏，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP