The present invention relates to the technical field of pressure sensor, double membrane capacitive pressure sensor and manufacturing method in particular to a single package, including a glass substrate, a glass substrate is provided with a groove and a large shallow groove shallow, shallow tank is communicated with the large shallow groove through the slits, large shallow groove is provided with a measurable amount and low capacitance C1 C2 high pressure capacitance measurement, capacitance measurement C1 low dropout voltage comprises a bottom electrode plate and the thin pressure sensitive film, capacitance C2 measurement of high pressure difference including thick pressure sensitive film and the top electrode plate, and the corresponding slot slot through the koasa capacitor C1 measuring low dropout settings, low dropout voltage measurement capacitance C1 with the capacitance of C2 high pressure measuring the corresponding set. The invention adopts pressure to achieve the conversion of capacitor with variable spacing principle, can measure capacitance C1 low dropout voltage and measuring the pressure differential of the capacitor C2 respectively to achieve high precision measurement of low pressure and high pressure, not only improves the accuracy of pressure, but also enhance the measurement range of the sensor.
【技术实现步骤摘要】
一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法
本专利技术涉及压力传感器
,特指一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法,尤其是在受力方向上薄厚两层压力敏感膜的组合形成的低压段与高压段同时具有较高的测量灵敏度的压力传感器。
技术介绍
压力传感器在医疗、卫生、工业过程控制、汽车电子、消费电子领域都有广泛的应用。市场上已有的压力传感器种类繁多,根据测量原理的不同大致有:应变式、硅压阻式、压电式、电容式、谐振式等几大类。其中,电容式压力传感器因其具有灵敏高、响应速度快、受温度影响小等优点,是压阻式压力传感器的理想升级产品。其原理是利用电容与有效极板面积、极板间距的关系实现压力信号到电信号的转换。传统电容式压力传感器,因为自身结构的特点,量程与灵敏度之间相互制约,为取得较高的灵敏度,必然以牺牲量程为代价,这限制了该类传感器的应用范围。而传统传感器为了节省芯片面积,往往通过背面感压的方式测量压力差,这类结构需要对衬底进行正反两面的加工,而双面工艺的引入使传感器的制造难度加大、工艺可靠性降低。
技术实现思路
针对以上问题,本专利技术提供了一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法,该测量结构主要由厚度不同的两层压力敏感膜以及固定的两层极板以及带有导压通道的浅槽组成,根据所处位置,结构自下而上依次为底面极板、薄压力敏感膜、厚压力敏感膜、顶电极板,在衬底上表面的一侧设有浅槽入口与传感器的工作区的浅槽相连,薄压力敏感膜与厚压力敏感膜间保留一定的间距,其边缘采用支撑材料固定,厚压力敏感膜与顶电极板周围夹以绝缘支撑材料形成电隔离和控制间距,底电极板与薄压力敏感膜构成 ...
【技术保护点】
一种可单面封装的双膜电容式压力传感器,其特征在于:包括玻璃衬底(7),所述玻璃衬底(7)上设有小浅槽(8)与大浅槽(70),所述小浅槽(8)通过细槽(9)连通于大浅槽(70),所述大浅槽(70)上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,所述可测量低压差的电容C1包括底电极板(1)与薄压力敏感膜(2),所述可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜(3)与顶电极板(4),所述小浅槽(8)通过细槽(9)与可测量低压差的电容C1对应设置,所述可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。
【技术特征摘要】
1.一种可单面封装的双膜电容式压力传感器,其特征在于:包括玻璃衬底(7),所述玻璃衬底(7)上设有小浅槽(8)与大浅槽(70),所述小浅槽(8)通过细槽(9)连通于大浅槽(70),所述大浅槽(70)上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,所述可测量低压差的电容C1包括底电极板(1)与薄压力敏感膜(2),所述可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜(3)与顶电极板(4),所述小浅槽(8)通过细槽(9)与可测量低压差的电容C1对应设置,所述可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。2.根据权利要求1所述的一种可单面封装的双膜电容式压力传感器,其特征在于:所述底电极板(1)覆盖于浅槽(70)底面上,所述薄压力敏感膜(2)覆盖于玻璃衬底(7)上表面,所述厚压力敏感膜(3)与薄压力敏感膜(2)之间设有第一支撑材料(5),所述顶电极板(4)与厚压力敏感膜(3)之间设有第二支撑材料(6)。3.根据权利要求2所述的一种可单面封装的双膜电容式压力传感器,其特征在于:所述第一支撑材料(5)设于薄压力敏感膜(2)上表面周边位置,且与浅槽(70)的槽壁齐平设置,所述第二支撑材料(6)设于厚压力敏感膜(3)上表面周边位置,且与浅槽(70)的槽壁齐平设置。4.根据权利要求2所述的一种可单面封装的双膜电容式压力传感器,其特征在于:所述顶电极板(4)上设...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦明,王振军,龙克文,何华娟,
申请(专利权)人:佛山市川东磁电股份有限公司,东南大学,
类型:发明
国别省市:广东,44
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