气浮基台制造技术

本实用新型专利技术提供一种气浮基台，属于气浮基台技术领域。本实用新型专利技术的气浮基台包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置、第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；第一压力管道与基台主体中的压力管道气路连接；第一真空管道与基台主体中的真空管道连接；其特征在于，第二压力管道与基台主体中的压力管道连接；第二抽气装置与基台主体中的真空管道气路连接；第一压力管道和第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；第一真空管道和第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；第二吹气装置的功率大于第一吹气装置的功率；第二抽气装置的功率大于第一抽气装置的功率。

Air flotation base

The utility model provides an air floating base, belonging to the technical field of air floating base. The utility model comprises a base station air base station main body, the first vacuum pipeline, first pressure pipeline, the first blowing device, the first pumping device, second vacuum pipelines, second pressure pipelines, second second air blowing device and a suction device; pressure pipeline gas pressure pipeline and first base station in the body of the vacuum pipe first connection; the vacuum pipe and base body connection; which is characterized in that the pressure pipeline pressure pipeline and second base stations in the main connection; second vacuum pipeline gas device and the base station in the main gas path connection; at least one of the first internal pressure pipeline and second pressure in the pipeline is provided with a first pressure detection device; at least one of the first internal vacuum pipe and second in vacuum pipe is provided with second pressure detection device; second power blowing device is greater than the first blowing device The power of the second pumping unit is greater than the power of the first pumping unit.

【技术实现步骤摘要】
气浮基台
本技术属于气浮基台
，具体涉及一种气浮基台。
技术介绍
在进行FTE封装过程中，为了防止因基台表面不平整，在进行有机层涂布之后出现Mura不良，因此采用气浮基台(FloatingGlassStage)来对玻璃进行承接与控制，最大限度保证在进行工艺过程中1玻璃表面的平坦度满足要求。结合图1和2所示，在气浮基台表面有很多小的气孔，这些气孔按照要求与下方的基台主体10中的真空管道12或是压力管道11相连接，使得基板在进行工艺时能够稳定地悬浮在基台表面。在进行工艺过程中，若是有机涂层溶液滴落到基台表面，会被与连接真空管道12的小孔吸入到真空管道中，同时也可能会堵塞连接压力管道11的小孔，因此可能会出现以下问题：当气浮基台表面的小孔被堵塞，会使正在进行工艺的玻璃基板受力不平衡，无法保证其表面的平坦度，在完成工艺之后容易出现Mura不良；若是有机溶液被连接真空管道12的小孔吸入到抽气装置内部，会对装置内部管路造成腐蚀，引起设备故障。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种气浮基台，用以解决现有技术中气浮基台被有机溶液堵塞后影响工艺的问题和有机溶液进入设备内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；其特征在于，所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设...

【技术特征摘要】
1.一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；其特征在于，所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。2.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，还包括第一连接件、第二连接件、第一控制阀和第二控制阀；其中，所述第一连接件的第一端与所述基台主体中的压力管道气路连接，第二端与所述第一控制阀的第三端连接；所述第一控制阀的第一端连接所述第一压力管道，第二端连接所述第二压力管道；所述第二连接件的第一端与所述基台主体中的真空管道气路连接，第二端与所述第二控制阀的第三端连接；所述第二控制阀的第一端连接所述第一真空管道，第二端连接所...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖昂，张杨扬，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11