改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法技术

本发明专利技术提供一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，包括如下步骤：在显示面板倒角区域表面形成导热缓冲层，导热缓冲层包括第一区域及第二区域，第一区域导热缓冲层的厚度小于第二区域导热缓冲层的厚度；发射激光，激光作用在第一区域，第一区域及第二区域的导热缓冲层汽化，第一区域的导热缓冲层完全汽化，第二区域的导热缓冲层部分汽化，使得激光作用在第一区域对应的显示面板上；继续发射激光，激光继续切割所述显示面板，在切割过程中，剩余的第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中，且在切割过程中，流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化；形成具有倒角的显示面板。本发明专利技术优点在于，能够有效改善热应力的产生和微裂纹的扩展等不良现象。

Method of improving chamfering area defect in laser cutting process

The invention provides a method for improving the laser cutting process of the chamfering defects, which comprises the following steps: the display panel in the chamfer region formed on the surface of buffer layer heat conduction, the buffer layer includes a first region and a two region, the first region thermal buffer layer thickness is less than second of regional thermal buffer layer thickness; laser, laser action in the first area, thermal buffer layer vaporization first region and a two region, the first region of the thermal buffer layer completely vaporized, thermal buffer layer partially vaporized in the second area, the laser in the first region corresponding to the display panel; continue to emit laser, laser cutting to the display panel in the cutting process, thermal buffer layer melting second of the remaining area and into the cutting gap, and in the cutting process, cutting into the thermal cracks in the corrosion The layer is evaporated and a display panel with chamfer is formed. The advantages of the invention are that it can effectively improve the occurrence of thermal stress and the expansion of microcracks.

【技术实现步骤摘要】
改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法
本专利技术涉及液晶显示领域，尤其涉及一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法。
技术介绍
平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示装置(LCD,LiquidCrystaiDisplay)及有机发光.显示装置(OLED,OrganicLightEmittingDisplay)。有机发光显示装置具备自发光高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲，低能耗等特性，因此受到广泛的关注，并作为新一代的显示方式，已开始逐渐取代传统液晶显示装置，是未来显示行业新的增长点，被广泛应用于手机屏幕、电脑显示器、全彩电视等电子产品上。OLED显示面板制备过程中每一个工艺的作用效果都会直接影响后续制程以及最终产品的性能。激光倒角技术是利用激光切割技术对显示面板(panel)边角区域进行倒角切除，以满足客户或者产品设计方面的需求。图1A是现有的OLED显示面板激光倒角前的侧面示意图，图1B是现有的OLED显示面板激光倒角后的侧面示意图，图1C是现有的OLED显示面板激光倒角后的俯视示意图，图1D是现有的OLED显示面板激光倒角后的另一示意图。请参阅图1A及图1B，在OLED显示面板10的倒角区域A区域，激光11照射该区域，完成倒角动作。请参阅图1C，在OLED显示面板10的角落区域是倒角区域A区域。随着未来产品多样化的需求，倒角区域可能会采用形状不规则的倒角(根据用户需求的个性定制化倒角)，请参阅图1D，倒角区域A区域的倒角为形状不规则的倒角。激光倒角技术的缺点在于，由于激光能量密度很高，在倒角区域A区域易产生较大的温度梯度，其不规则变形造成的应力集中容易产生微观缺陷和宏观缺陷，例如热应力和微裂纹等。图1E是激光倒角后热影响区域及未裂纹示意图，请参阅图1E，在倒角区域A区域，激光11照射后，在一定范围内会形成热影响区及裂纹区，如图中B箭头所示。图1F是激光倒角后倒角区域的显微镜图，请参阅图1F，如图中箭头所指示，在倒角区域出现倒角缺陷。现有制备工艺下，在倒角后并没有修复缺陷的附加工艺，如果这些微观和宏观缺陷在后续制程中的扩展可能会直接影响OLED显示面板的产品性能。另外，如图1D所示，随着未来产品多样化的需求，倒角区域A区域可能会采用形状不规则的倒角，倒角区域产生的不良现象可能引起更多的问题。因此，亟需一种新的方法，克服上述激光切割工艺中存在的缺陷。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，其能够有效改善热应力的产生和微裂纹的扩展等不良现象。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，包括如下步骤：在显示面板的倒角区域的表面形成一导热缓冲层，所述导热缓冲层包括第一区域及设置在所述第一区域两侧的第二区域，所述第一区域的导热缓冲层的厚度小于所述第二区域的导热缓冲层的厚度；发射激光，所述激光作用在所述第一区域，所述第一区域及所述第二区域的导热缓冲层汽化，所述第一区域的导热缓冲层完全汽化，所述第二区域的导热缓冲层部分汽化，使得所述激光作用在第一区域对应的显示面板上；继续发射激光，所述激光继续切割所述显示面板，在切割过程中，剩余的所述第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中，且在切割过程中，流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化；形成具有倒角的显示面板。在一实施例中，所述导热缓冲层由有机材料及金属材料构成。在一实施例中，所述有机材料选自于酰亚胺，丙烯酸，聚乙烯及聚丙烯酸酯中的一种或几种。在一实施例中，所述金属材料选自于Mo、Ta、Ti、Fe、Ni、Cu、Al及Nb中的一种或几种。在一实施例中，所述导热缓冲层在激光的作用下，吸收所述激光的能量，先融化再汽化。在一实施例中，所述导热缓冲层的宽度大于所述倒角区域的宽度。在一实施例中，在显示面板的倒角区域的表面的形成一导热缓冲层的步骤中，采用高温涂覆、化学气相沉积、物理气相沉积及溅射的工艺形成所述导热缓冲层。本专利技术的优点在于，在倒角区域制备导热缓冲层，导热缓冲层材料易吸热，避免在显示面板内部形成较大的温度梯度，可以在保证有效完成倒角的同时有效的减少显示面板微观缺陷和宏观缺陷的产生，从而有效改善热应力的产生和微裂纹的扩展等不良现象。本专利技术的另一优点在于，导热缓冲层材料吸热汽化不需要后续附加的清洗工艺。附图说明图1A是现有的OLED显示面板激光倒角前的侧面示意图；图1B是现有的OLED显示面板激光倒角后的侧面示意图；图1C是现有的OLED显示面板激光倒角后的俯视示意图；图1D是现有的OLED显示面板激光倒角后的另一示意图；图1E是激光倒角后热影响区域及未裂纹示意图；图1F是激光倒角后倒角区域的显微镜图；图2是本专利技术改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的步骤示意图；图3A～图3D是本专利技术改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的工艺流程图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术提供的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的具体实施方式做详细说明。现有技术中，请参阅图1E，在倒角区域A区域，若将激光11直接照射该倒角区域的显示面板表面，则会在一定范围内会形成热影响区及裂纹区，容易产生微观缺陷和宏观缺陷。鉴于此，本专利技术提供一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，其能够克服上述缺陷，明显改善激光切割工艺中倒角区域缺陷。图2是本专利技术改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的步骤示意图，图3A～图3D是本专利技术改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的工艺流程图。其中，为了清楚描述本专利技术改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法的技术方案，夸大了倒角区域A区域的范围，在实务中，倒角区域A区域的范围很小。请参阅图3A及步骤S20，在显示面板20的倒角区域A区域的表面形成一导热缓冲层21。在该步骤中，形成所述导热缓冲层的方法包括但不限于高温涂覆、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)及溅射(Sputter)的成膜工艺。所述导热缓冲层21由有机材料及金属材料构成。其中，所述有机材料包括但不限于酰亚胺，丙烯酸，聚乙烯及聚丙烯酸酯中的一种或几种。所述金属材料包括但不限于Mo、Ta、Ti、Fe、Ni、Cu、Al及Nb中的一种或几种。所述导热缓冲层21的材料具有良好的吸热能力和导热能力，激光作用过程中所述导热缓冲层21的材料会先融化后汽化，所述导热缓冲层21的材料成膜性好，在制备过程中不会对显示面板20产生不良的影响。所述导热缓冲层21包括第一区域211及设置在所述第一区域211两侧的第二区域212。所述第一区域211的导热缓冲层的厚度小于所述第二区域212的导热缓冲层的厚度，即所述导热缓冲层21呈中间薄两边厚的结构。所述导热缓冲层21的具体厚度与切割时所使用的激光的类型及切割倒角的类型有关。在实施例中，所述导热缓冲层21的宽度大于所述倒角区域A区域的宽度，即所述导热缓冲层21的边缘超出所述倒角区域A区域的边缘，以在后续工艺中提供足够的传导能量的导热缓冲层。在一实施例中，所述显示面板20包括柔性基板层(附图中未标示)、设置在所述柔性基板层表面的有机发光层(附图中未标示)、设置在所述有机发光层表面的薄膜封装层(TFE)(附图中未标示)及设置在所述薄膜封装层表面的偏光层(POL)(附图中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，其特征在于，包括如下步骤：在显示面板的倒角区域的表面形成一导热缓冲层，所述导热缓冲层包括第一区域及设置在所述第一区域两侧的第二区域，所述第一区域的导热缓冲层的厚度小于所述第二区域的导热缓冲层的厚度；发射激光，所述激光作用在所述第一区域，所述第一区域及所述第二区域的导热缓冲层汽化，所述第一区域的导热缓冲层完全汽化，所述第二区域的导热缓冲层部分汽化，使得所述激光作用在第一区域对应的显示面板上；继续发射激光，所述激光继续切割所述显示面板，在切割过程中，剩余的所述第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中，且在切割过程中，流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化；形成具有倒角的显示面板。

【技术特征摘要】
1.一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，其特征在于，包括如下步骤：在显示面板的倒角区域的表面形成一导热缓冲层，所述导热缓冲层包括第一区域及设置在所述第一区域两侧的第二区域，所述第一区域的导热缓冲层的厚度小于所述第二区域的导热缓冲层的厚度；发射激光，所述激光作用在所述第一区域，所述第一区域及所述第二区域的导热缓冲层汽化，所述第一区域的导热缓冲层完全汽化，所述第二区域的导热缓冲层部分汽化，使得所述激光作用在第一区域对应的显示面板上；继续发射激光，所述激光继续切割所述显示面板，在切割过程中，剩余的所述第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中，且在切割过程中，流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化；形成具有倒角的显示面板。2.根据权利要求1所述的改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法，其特征在于，所述导热缓冲层由有机材料及金属材料构成。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁朝煜，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42