The utility model discloses a gallium AZO high density rotary target, including from the outside to the inside in turn set target tube, indium layer and a rigid core rod; wherein, the target tube for the sintering of AZO ceramics with high density rotating cylindrical target gallium tube target tube through the indium layer bonded to a rigid core rod casting the target tube components; zinc oxide, alumina and gallium oxide ZnO Al2O3 Ga2O3, the thickness of 5 15mm; the indium layer is pure indium, the rigid core rod is a metal core rod. The utility model by adding gallium oxide Ga2O3, AZO can improve the light transmittance and conductivity and, after processing the pure indium casting adhesive bound to a rigid metal core rod, AZOGa rotary target, density of not less than 96% and, through the rigid metal core rod, AZOGa rotary target stable performance.
【技术实现步骤摘要】
一种加镓的AZO高密度旋转靶材
本技术涉及靶材
,尤其涉及的是一种加镓的AZO高密度旋转靶材。
技术介绍
传统的AZO靶材(氧化锌ZnO+氧化铝Al2O3)现广泛应用于节能低辐射玻璃(又称Low-E玻璃)以及太阳能薄膜电池的制造中。其特点是用AZO材料镀制的薄膜透明、导电,且有良好的附着力。但随着行业的发展,镀膜产业对材料提出了更高的要求。镀膜行业要求膜的透过率更高、导电性更高。这就对材料的改进提出了新的挑战。经过试验表明,在AZO(氧化锌ZnO+氧化铝Al2O3)中添加0.1-10%的氧化镓(Ga2O3)可以改善AZO的透光率和导电性能。因此,现有技术存在缺陷,需要改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种新材料AZOGa的旋转靶材,解决现有AZO靶材透光率以及电导率偏低的问题。本技术的技术方案如下:一种加镓的AZO高密度旋转靶材,包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆;其中,靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管,靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上;所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3,其厚度为5-15mm;所述铟层为纯铟,所述刚性芯杆为金属芯杆。应用于上述技术方案,所述的AZO高密度旋转靶材中,所述刚性芯杆为钛管或不锈钢管。应用于各个上述技术方案,所述的AZO高密度旋转靶材中,靶材的主要材料为氧化锌ZnO和氧化铝Al2O3,靶材的辅材料为添加少量的氧化镓Ga2O3,其中,氧化镓Ga2O3的成分比例为0.1-10%。应用于各个上述技术方案,所述的AZO高密度旋转靶材中,所述靶管的密度为5.60-5.65g ...
【技术保护点】
一种加镓的AZO高密度旋转靶材,其特征在于:包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆;其中,靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管,靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上;所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3,其厚度为5‑15mm;所述铟层为纯铟,所述刚性芯杆为金属芯杆。
【技术特征摘要】
1.一种加镓的AZO高密度旋转靶材,其特征在于:包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆;其中,靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管,靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上;所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3,其厚度为5-15mm...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡茂横,张剑华,
申请(专利权)人:深圳恒泰克科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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