The invention discloses a movable lens adjusting mechanism comprises a lens unit and is used for supporting and fixing the lens unit flexible lens holder, the flexible mirror seat is used to adjust the position of the lens unit in the mirror plane perpendicular to the direction of the. By setting the driving mechanism and the hinge structure in rigid flexible component lens seat, the hinge structure is a rigid member slot form symmetrical structure and several fulcrum lever interconnection, the drive mechanism drives the rigid component and a hinge structure, so as to drive the lens unit axial adjustment, simple structure and convenient operation; the the driving mechanism comprises a first drive motor and the drive motor second, driven flexible mirror seat movement, avoid single motor drive motor unit lens adjusting mechanism due to deformation caused by tilt shift lens unit process, to ensure that the entire movement mechanism without tilting in the axial direction, the invention is applicable to the circular and square lens lens, wide application range, the effect is stable and reliable.
【技术实现步骤摘要】
一种可动镜片调整机构
本专利技术涉及光刻机
,具体涉及一种可动镜片调整机构。
技术介绍
在光刻投影物镜中,由于镜片的制造和装配误差,使得物镜的成像像质变差,为了解决这一问题,一般通过设置可动镜片组,该可动镜片组包括一个可动镜片和一个调整机构,该调整机构对可动镜片进行调整以补偿镜片的制造和装配误差。现有技术中提供了一种可动镜组,由三个均布的刚性构件支撑可动镜片,通过刚性构件的弹性变形实现可动镜片的移动。此外现有技术中还提供一种可动镜组,由三个均布的杠杆机构支撑可动镜片,通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。然而上述两个可动镜组均存在一定的局限性,一是结构比较复杂,安装操作繁琐;二是需要设置3个支撑点的位置,以实现镜片的运动,仅适用于调整圆形镜片,然而对于长条形矩形镜片,从结构布局上无法实现3点支撑,因此具有局限性。
技术实现思路
本专利技术提供了一种可动镜片调整机构,以解决现有技术中存在的结构复杂、操作繁琐、以及无法实现方形镜片的轴向调整的问题。为了解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种可动镜片调整机构,包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座,所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。进一步的,所述镜片单元包括一方形镜片或圆形镜片。进一步的,所述柔性镜座包括刚性构件、设于所述刚性构件上的驱动机构和铰链结构,所述铰链结构为由所述刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构,所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动,从而带动镜片单元沿轴向运动。进一步的,所述支点设有两个,所述刚性构件中相对的两条侧边上设有第一开槽和第二开 ...
【技术保护点】
一种可动镜片调整机构,其特征在于,包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座,所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。
【技术特征摘要】
1.一种可动镜片调整机构,其特征在于,包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座,所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。2.根据权利要求1所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述镜片单元包括一方形镜片或圆形镜片。3.根据权利要求1所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述柔性镜座包括刚性构件、设于所述刚性构件上的驱动机构和铰链结构,所述铰链结构为由所述刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构,所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动,从而带动镜片单元沿轴向运动。4.根据权利要求3所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述支点设有两个,所述刚性构件中相对的两条侧边上设有第一开槽和第二开槽,所述第一开槽和第二开槽分别对应第一支点和第二支点,两个所述支点构成两个柔性运动副。5.根据权利要求4所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第一支点位于所述刚性构件的侧边的中部,所述第二支点设于所述刚性构件的侧边的其中一端。6.根据权利要求5所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述杠杆包括第一杠件、第二杠件和第三杆件,所述第一杠件和第二杠件之间通过所述第一支点连接,所述第二杆件与第三杆件之间通过所述第二支点连接,所述第一杠件、第二杠件、第三杠件构成双摇杆柔性铰链机构,所述镜片单元固设于所述第三杆件上。7....
【专利技术属性】
技术研发人员:夏洪发,苏同克,
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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