容器收纳设备制造技术

气体供给装置（3）具备配管（19）、质量流量控制器（20）、多个连接部（18），前述多个连接部（18）与被收纳于供给收纳部（1a）的容器（W）连接，前述配管（19）将气体向多个连接部（18）分岔地供给，前述质量流量控制器（20）控制在配管（19）内流通的气体的流量，配管（19）具备第1配管（23）、第2配管（24）、分岔配管（26），前述第1配管（23）被相对于供给收纳部（1a）的每一个设置，前述第2配管（24）被比第1配管（23）靠上游侧地设置，前述分岔配管（26）使被从第2配管（24）供给的气体向第1配管（23）分岔，质量流量控制器（20）被设置于第2配管（24），且被设置于设置区域（E2）。

Container storage device

The gas supply device (3) with piping (19), the mass flow controller (20), a plurality of connection portions (18), the plurality of connection part (18) and is housed in a supply storage part (1a) of the container (W) connected to the piping (19) gas to a plurality of connecting parts (18) to supply the bifurcation, the mass flow controller (20) under the control of the piping (19) gas flowing in the flow pipe (19) with first (23, second) piping piping (24), (26), the bifurcation pipe first pipe (23) is relative to the supply storage part (1a) each set of the second (24) were more than first piping piping (23) on the upstream side of the bifurcation set, piping (26) is from second (24) of the gas supply pipe to pipe first (23) bifurcation, mass flow controller (20) is arranged on the second pipe (2 4) and is set in the setting area (E2).

【技术实现步骤摘要】
容器收纳设备
本专利技术涉及容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的前述多个收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量。
技术介绍
该容器收纳设备的以往例被在日本特开2013－133193号公报（专利文献1）中公开。在专利文献1的容器收纳设备中，由属于一个区的多个供给收纳部构成供给收纳部组。气体供给装置相对于构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个具备两个以上的第1配管。并且，专利文献1的气体供给装置使被从第2配管供给的气体借助分岔配管向两个以上的第1配管分岔，借助两个以上的第1配管，对构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个供供气体。并且，在专利文献1的容器收纳设备中，气体供给装置的质量流量控制器被设置于两个以上的第1配管的每一个的流路上。此外，质量流量控制器被设置于收纳区域，在前述收纳区域设置有收纳部。具体地，质量流量控制器在容器被收纳于收纳部的情况下，被设置于与该容器的横侧方相邻的位置。在上述以往的容器收纳设备中，质量流量控制器被设置于设置有收纳部的收纳区域，所以在质量流量控制器的温度上升的情况下，有该温度上升的影响对被收纳于收纳部的容器，特别是，对被容纳于容器的容纳物施加影响的可能性。此外，第1配管被相对于多个供给收纳部的每一个设置，在多个第1配管的每一个上设置有质量流量控制器。因此，质量流量控制器的设置数量较多，气体供给装置的制造成本变高。
技术实现思路
因此，需要一种收纳区域的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响、且能够抑制气体供给装置的制造成本的容器收纳设备。本专利技术的容器收纳设备的技术方案为，一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由前述多个供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。根据该方案，在第2配管上设置质量流量控制器，由此相对于构成供给收纳部组的多个供给收纳部设置一个质量流量控制器。因此，能够减少质量流量控制器的设置数量，能够抑制气体供给装置的制造成本。此外，通过在位于比第1配管靠上游侧的位置的第2配管上设置质量流量控制器，容易将质量流量控制器设置于从收纳部离开的位置。在被设定于具备多个收纳部的收纳区域的外部的区域上设置质量流量控制器，由此被容纳于该收纳部的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响。附图说明图1是第1实施方式的容器收纳设备的侧视图。图2是第1实施方式的容器收纳设备的主视图。图3是表示第1实施方式的相对于供给收纳部组的配管的图。图4是第1实施方式的容器的主视图。图5是第2实施方式的容器收纳设备的侧视图。具体实施方式〔第1实施方式〕以下，基于附图，对容器收纳设备的第1实施方式进行说明。如图1所示，容器收纳设备具备收纳容器W的收纳架1、输送容器W的堆垛起重机2、气体供给装置3。此外，在容器收纳设备上，具备壁体K和输送带4，前述壁体K覆盖设置收纳架1、堆垛起重机2的收纳区域E1的一侧的周围，前述输送带4被以将壁体K贯通的状态设置，将容器W输送。在收纳架1上，具备能够收纳容器W的多个收纳部1a。气体供给装置3构成为，向被收纳于收纳部1a的容器W的内部，供给作为气体的洁净干燥空气（以下简称为干燥空气）。即，借助气体供给装置3被向容器W的内部供给的气体为，比收纳部1a中的气体湿度低的气体。容器W构成为能够容纳1张衬底。在本实施方式中，将衬底设置为掩模（レチクル），此外，容器W设置为收纳掩模的容器W。输送带4设置成，在位于壁体K的外侧的外部部位和位于壁体K的内侧的内部部位之间输送容器W。输送带4设置于较高位置和较低位置。在与被设置于较高位置的输送带4对应的外部部位上，顶棚输送车（图中未示出）进行容器W的装卸。在与被设置于较低位置的输送带4对应的外部部位上，操作者进行容器W的装卸。另外，被设置于较低位置的输送带4未被图示。并且，堆垛起重机2在对应于输送带4的内部部位和收纳架1的收纳部1a之间输送容器W。容器收纳设备被设置于洁净室内，前述洁净室为，空气（气体）在内部区域E，从顶棚侧向地面侧向下方流动的下游式的洁净室。若加以说明，则在收纳区域E1的正上方，设置有使气体向下方流动的送风风扇5。通过该送风风扇5的送风作用，使气体在收纳区域E1及设置区域E2从顶棚侧向地面侧向下方流动。另外，送风风扇5相当于，遍及收纳区域E1和设置区域E2使设备内的气体向下方流动的气流发生装置。洁净室地面部F由下部地面部F2、与下部地面部F2相比被配设于上侧的上部地面部F1构成。下部地面部F2是没有通气孔的地面，在本实施方式中，由无孔状的混凝土构成。堆垛起重机2在该下部地面部F2上行进。上部地面部F1是格栅地面，形成有多个在上下方向Y上贯通的通气孔。操作者在该上部地面部F1上步行。另外，上部地面部F1被设置于比下部顶棚部C2（参照图5）靠下方的位置，且被设置于比下部地面部F2靠上方的位置，相当于构成为在上下方向Y上能够使气体穿过的作业地面。以下，在收纳架1的长度方向（堆垛起重机2行进的行进方向）上观察，将收纳架1和堆垛起重机2排列的方向设为前后方向X，将堆垛起重机2相对于收纳架1存在的方向设为内侧方向X1，将其相反方向设为外侧方向X2来说明。另外，前后方向X为地面上壁31的厚度方向。此外，内侧方向X1为收纳区域E1相对于地面上壁31存在的方向即第1方向，外侧方向X2为与第1方向相反的方向即第2方向。此外，被壁体K覆盖的区域和比上部地面部F1靠下方的区域为内部区域E。壁体K覆盖收纳区域E1。由此，限制空气从流入口33以外的部分向收纳区域E1流通。壁体K具备地面上壁31和地面下壁32。地面上壁31位于比上部地面部F1的上表面靠上方的位置，且位于比顶棚C靠下方的位置。地面下壁32位于比上部地面部F1的上表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由多个前述供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。

【技术特征摘要】
2016.03.31 JP 2016-070793;2016.07.14 JP 2016-139581.一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由多个前述供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。2.如权利要求1所述的容器收纳设备，其特征在于，多个前述收纳部被配置成在上下方向上排列，多个前述收纳部的每一个具备将前述容器的底面部从下方支承的支承部，在比多个前述收纳部的最下级的前述收纳部所具备的前述支承部靠下方的位置设定有前述设置区域。3.如权利要求1或2所述的容器收纳设备，其特征在于，具备气流发生装置，前述气流发生装置遍及前述收纳区域和前述设置区域使设备内的气体向下方流动。4.如权利要求1至3中任一项所述的容器收纳设备，其特征在于，构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部被配置成仅在上下方向上排列。5.如权利要求1至4中任一项所述的容器收纳设备，其特征在于，多个前述收纳部被配置成在上下方向及与该上下方向正交的横向上排列，多个前述收纳部的每一个具备将前述容器的底面部从下方支承的支承部，在前述收纳部处具备将前述容器输送的堆垛起重机，前述堆垛起重机具备行进台车、杆、移载装置，前述行进台车在前述横向上行进，前述杆被立起设置于前述行进台车，前述移载装置沿前述杆在上下方向上移动，且从自身向前述收纳部移载前述容器，前述行进台车的至少一部分位于比最下级的收纳部...

【专利技术属性】
技术研发人员：河村真辅，吉本忠浩，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP