压电致动器、压电马达、机器人、手部以及泵制造技术

本发明专利技术提供即使多个压电元件中的一部分压电元件发生故障，也能够驱动剩余的压电元件的压电致动器，另外，提供具备这样的压电致动器的压电马达、机器人、手部以及泵。压电致动器的特征在于，具备产生向被驱动部传递的驱动力的多个压电元件和对上述多个压电元件供给电力的电力供给部，上述多个压电元件以并联的方式电连接。

Piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, hand and pump

The invention provides a plurality of even a part of the piezoelectric element of the piezoelectric element failure, can also drive the piezoelectric element of the piezoelectric actuator, the remaining also provide a piezoelectric actuator of the piezoelectric motor, robot, and hand pump. Features of the piezoelectric actuator is driven to produce driving force transfer of a plurality of piezoelectric elements and the plurality of piezoelectric power supply components of the electric power supply unit, the plurality of piezoelectric element to connect electrically connected in parallel.

【技术实现步骤摘要】
压电致动器、压电马达、机器人、手部以及泵
本专利技术涉及压电致动器、压电马达、机器人、手部以及泵。
技术介绍
已知有具备多个压电元件的压电致动器(例如，参照专利文献1)。例如，专利文献1所记载的压电致动器具备具有多个压电元件的压电致动器主体和设于该压电致动器主体的端部的传递体，多个压电元件以串联的方式电连接。专利文献1：日本特开2015－115542号公报在专利文献1所记载的压电致动器中，由于多个压电元件以串联的方式电连接，所以就算只有一个压电元件发生故障，也不能够驱动其它的压电元件，结果，存在不能够驱动传递体这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供即使多个压电元件中的一部分压电元件发生故障，也能够驱动剩余的压电元件的压电致动器，还在于提供具备这样的压电致动器的压电马达、机器人、手部以及泵。上述目的通过下述的本专利技术实现。本专利技术的压电致动器的特征在于，具备：多个压电元件，它们产生向被驱动部传递的驱动力；以及电力供给部，其对上述多个压电元件的每一个供给电力，上述多个压电元件分别以并联的方式与上述电力供给部电连接。根据这样的压电致动器，即使多个压电元件中的一部分压电元件由于断线等而发生故障，也能够驱动剩余的压电元件而向被驱动部传递驱动力。在本专利技术的压电致动器中，优选层叠有上述多个压电元件。由此，能够对被驱动部的一个位置传递较大的驱动力。另外，即使一部分压电元件发生故障，也能够随着剩余的压电元件的驱动来驱动该故障的压电元件。在本专利技术的压电致动器中，优选具备多组层叠的上述多个压电元件。由此，能够对被驱动部的多个位置传递驱动力。在本专利技术的压电致动器中，优选上述驱动力是使上述被驱动部旋转的力。由此，能够使被驱动部旋转。在本专利技术的压电致动器中，优选具备以并联的方式与上述多个压电元件电连接的线圈。由此，能够降低多个压电元件以并联的方式电连接所引起的电压效应。在本专利技术的压电致动器中，优选上述线圈的电感可变。由此，即使多个压电元件中的一部分压电元件发生故障，也能够通过调整线圈的电感，降低剩余的多个压电元件以并联的方式电连接所引起的电压效应。本专利技术的压电马达的特征在于，具备本专利技术的压电致动器。由此，能够提供具有优异的可靠性的压电马达。本专利技术的机器人的特征在于，具备本专利技术的压电致动器。由此，能够提供具有优异的可靠性的机器人。本专利技术的手部的特征在于，具备本专利技术的压电致动器。由此，能够提供具有优异的可靠性的手部。本专利技术的泵的特征在于，具备本专利技术的压电致动器。由此，能够提供具有优异的可靠性的泵。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式所涉及的压电致动器的整体构成的示意图。图2是表示图1所示的压电致动器所具备的压电振动体的俯视图。图3是图2中的A－A线剖视图。图4是表示图1所示的压电致动器所具备的多个压电元件的连接状态的图。图5是说明图2所示的压电振动体的动作的图。图6是表示本专利技术的第二实施方式所涉及的压电致动器所具备的多个压电元件的连接状态的图。图7是表示本专利技术的第三实施方式所涉及的压电致动器所具备的压电振动体的剖视图。图8是表示本专利技术的压电马达的实施方式的示意立体图。图9是表示本专利技术的机器人的实施方式的示意立体图。图10是说明图9所示的机器人所具备的手部的示意图。图11是表示本专利技术的泵的实施方式的示意图。具体实施方式以下，基于附图所示的优选的实施方式对本专利技术的压电致动器、压电马达、机器人、手部以及泵进行详细说明。1.压电致动器首先，对本专利技术的压电致动器的实施方式进行说明。第一实施方式图1是表示本专利技术的第一实施方式所涉及的压电致动器的整体构成的示意图。图2是表示图1所示的压电致动器所具备的压电振动体的俯视图。图3是图2中的A－A线剖视图。图4是表示图1所示的压电致动器所具备的多个压电元件的连接状态的图。图5是说明图2所示的压电振动体的动作的图。图1所示的压电致动器1具有产生对未图示的被驱动部给予的驱动力的多个压电振动体10和驱动多个压电振动体10的驱动电路20。以下，依次对压电致动器1的各部进行说明。压电振动体多个压电振动体10彼此相同地构成。另外，如图1所示，多个压电振动体10以并联的方式电连接。压电振动体10的数目在图示中为四个以上，但并不限定于此，也可以是两个、三个或者五个以上。如图3所示，图2所示的压电振动体10具有两个压电元件单元11、将两个压电元件单元11相互接合的粘合层12、以及横跨两个压电元件单元11设置的凸部件13。此处，两个压电元件单元11被构成为相对于粘合层12对称(图3中的上下对称)，且相互具有相同的构成。各压电元件单元11具有基板14、设在基板14上的多个压电元件15、以及覆盖多个压电元件15的保护层16。如图2所示，基板14具有驱动部141、固定部142、以及连接它们的一对连接部143。在本实施方式中，驱动部141在从基板14的厚度方向观察的俯视(以下，也简称为“俯视”)时，呈长方形。另外，固定部142被设置为在俯视时沿着驱动部141的长边方向上的一端侧的部分的外周与驱动部141分离。另外，一对连接部143被配置在驱动部141的宽度方向(与长边方向正交的方向)上的两侧。而且，一对连接部143连接驱动部141的长边方向上的中央部与固定部142。需要说明的是，若能够实现驱动部141的所希望的变形或者振动，则驱动部141、固定部142以及一对连接部143的形状、配置等并不限定于上述的方式。例如，固定部142也可以按照每个连接部143分开设置。另外，连接部143的数目、形状以及配置等也是任意的。作为基板14，例如能够使用硅基板。另外，虽然未图示，但在基板14的压电元件15侧的面设有绝缘层。该绝缘层虽然并无特别限定，但例如，在使用硅基板作为基板14的情况下，能够通过对该硅基板的表面进行热氧化来形成。在这样的基板14的驱动部141上配置有多个压电元件15。在本实施方式中，多个压电元件15由五个驱动用的压电元件15a、15b、15c、15d、15f以及一个检测用的压电元件15e构成。此处，多个压电振动体10具有的驱动用的压电元件15a、15c是产生向被驱动部传递的驱动力的“多个压电元件”。另外，多个压电振动体10具有的驱动用的压电元件15b、15d也是产生传递到驱动部的驱动力的“多个压电元件”。另外，多个压电振动体10具有的驱动用的压电元件15f也是产生传递到驱动部的驱动力的“多个压电元件”。压电元件15f在驱动部14的宽度方向的中央部，沿着驱动部14的长边方向配置。相对于该压电元件15f，在驱动部141的宽度方向上的一侧配置有压电元件15a、15b，在另一侧配置有压电元件15c、15d。压电元件15a、15b、15c、15d与沿着驱动部141的长边方向以及宽度方向分割的四个区域对应地配置。在本实施方式中，压电元件15a、15b被配置在驱动部141的宽度方向上的一侧，压电元件15c、15d被配置在驱动部141的宽度方向上的另一侧。另外，压电元件15a、15c被配置在驱动部141的长边方向上的一侧，压电元件15b、15d被配置在驱动部141的长边方向上的另一侧。另外，压电元件15e在驱动部141的宽度方向上的一侧，相对于压电元件15a被配置在与压电元件15b相反的一侧。需要说明的是，压电元件15e的配置并不限本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电致动器，其特征在于，具备：多个压电元件，它们产生向被驱动部传递的驱动力；以及电力供给部，其对所述多个压电元件供给电力，所述多个压电元件以并联的方式与所述电力供给部电连接。

【技术特征摘要】
2016.03.28 JP 2016-0631821.一种压电致动器，其特征在于，具备：多个压电元件，它们产生向被驱动部传递的驱动力；以及电力供给部，其对所述多个压电元件供给电力，所述多个压电元件以并联的方式与所述电力供给部电连接。2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器中，层叠有所述多个压电元件。3.根据权利要求2所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器具备多组层叠的所述多个压电元件。4.根据权利要求1所述的压电致动器...

【专利技术属性】
技术研发人员：梶野喜一，宫泽修，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP