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压电致动器、压电马达、机器人、手部以及泵制造技术
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文档序号:16400658
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本发明提供即使多个压电元件中的一部分压电元件发生故障,也能够驱动剩余的压电元件的压电致动器,另外,提供具备这样的压电致动器的压电马达、机器人、手部以及泵。压电致动器的特征在于,具备产生向被驱动部传递的驱动力的多个压电元件和对上述多个压电元件...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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