一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用技术

本发明专利技术提供了一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用，所述超薄银基薄膜具有双层结构，包括Ag(O)层和位于Ag(O)层上且与其接触、连续的超薄Ag层；所述Ag(O)层的厚度为0.5 nm~5 nm，所述Ag层的厚度为2 nm~10 nm；在所述Ag(O)层中，氧掺杂浓度x为1≤x≤24%。多层复合透明导电薄膜包括基底和位于所述基底上的至少一个Ag(O)/Ag双层。本发明专利技术中的超薄银基薄膜及基于其的多层复合透明导电薄膜在一定程度上弱化了薄膜整体导电性对Ag(O)层中氧掺杂浓度的过分依赖，解决了Ag(O)氧掺杂浓度不易精确控制等技术问题，得到了机械柔性好、综合光电性能更优的透明导电薄膜，且可在室温条件下制备，成本低廉，应用前景广阔。

Ultrathin silver base film, multilayer composite transparent conductive film and its preparation method and Application

The present invention provides a thin silver film, multilayer transparent conductive composite film and preparation method and application thereof, wherein the silver thin film has double-layer structure, including Ag (O) and Ag (O) layer in ultrathin Ag layer and its contact and continuous; the thickness of the Ag (O) 0.5 nm~5 nm, the Ag layer thickness of 2 nm~10 nm; in the Ag (O) layer, oxygen doping concentration x = 1 = x = 24%. The multilayer composite transparent conductive film includes a substrate and at least one Ag (O) /Ag bilayer on the substrate. Silver thin film in the invention and the multilayer transparent conductive composite film based on thin film to some extent weaken the overall conductivity of Ag (O) relies on the concentration of oxygen doped layer, Ag (O) to solve the technical problems of oxygen doping concentration is not easy to precisely control, obtained the mechanical flexible transparent conductive film good, better photoelectric properties, and can be prepared at room temperature, low cost, wide application prospect.

【技术实现步骤摘要】
一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用
本专利技术涉及一种银基薄膜及其制备方法，具体地说是涉及一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用。
技术介绍
透明导电薄膜具有良好的导电性和透光性，是许多光敏电子器件的重要组成部分，已被广泛应用于平板显示、太阳电池、发光二极管、电致变色器件、防电磁干扰透明窗等领域。近年来，随着柔性电子技术的飞速的发展，以铟锡氧化物（ITO）为代表的传统透明导电氧化物（TCO）薄膜，由于其所固有的力学脆性和在柔性衬底上低温沉积时较差的导电性，已不能满足当前电子器件发展对柔性电极的需求。虽然新兴纳米材料如碳纳米管、石墨稀、金属纳米网格、金属纳米线等已被广泛应用于新型透明导电电极的研究，但由于缺乏高产出的制备方法并难以进行大规模制造，基于这些纳米材料的透明电极难以在短期内实现商业化生产。基于超薄金属薄膜的介质/金属/介质结构多层复合薄膜是一种新型透明导电薄膜，其具有高的电导率、透光性以及良好的机械柔性可以满足目前柔性电子器件的应用需求，而且其还具有功函数可通过选择介质层材料来调节、可利用连续的卷对卷技术在室温下于廉价塑料衬底上沉积等独本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超薄银基薄膜，其特征在于，具有双层结构，包括Ag(O)层和位于所述Ag(O)层上且与其接触、连续的Ag层；所述Ag(O)层的厚度为0.5 nm ~5 nm，所述Ag层的厚度为2 nm ~10 nm；在所述Ag(O)层中，氧掺杂浓度x为1≤x≤24%。

【技术特征摘要】
1.一种超薄银基薄膜，其特征在于，具有双层结构，包括Ag(O)层和位于所述Ag(O)层上且与其接触、连续的Ag层；所述Ag(O)层的厚度为0.5nm~5nm，所述Ag层的厚度为2nm~10nm；在所述Ag(O)层中，氧掺杂浓度x为1≤x≤24%。2.根据权利要求1所述的超薄银基薄膜，其特征在于，所述Ag(O)层的厚度为1nm~3nm。3.根据权利要求1所述的超薄银基薄膜，其特征在于，所述Ag层的厚度为3nm~7nm。4.根据权利要求1所述的超薄银基薄膜，其特征在于，所述Ag(O)层中氧掺杂浓度x为2≤x≤15%。5.一种超薄银基薄膜的制备方法，其特征在于，采用真空镀膜技术首先在基底或底层上沉积Ag(O)层，再在所述Ag(O)层的表面上沉积Ag层，即可制备得到所述Ag(O)层和Ag层，其中，所述Ag(O)层的制备是在Ag膜沉积过程中引入含有氧元素的气体，使之与Ag反应。6.一种多层复合透明导电薄膜，其特征在于，包括基底和位于所述基底上的至少一个Ag(O)/Ag双层；在所述Ag(O)/Ag双层...

【专利技术属性】
技术研发人员：路万兵，于威，蒋树刚，王佩，武利平，刘海旭，刘啸宇，傅广生，
申请(专利权)人：河北大学，
类型：发明
国别省市：河北,13