一种抗氧化型真空镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种抗氧化型真空镀膜装置，包括卷绕室和镀膜室，卷绕室中设置有放卷辊、放膜过渡辊、第一张力调节辊、第一展平辊、冷却辊、压辊、第二张力调节辊、导辊、第二展平辊、牵引辊和收券辊，镀膜室中设置有送丝机构、熔融坩埚、排液管、工位转盘、步进电机、底板。该抗氧化型真空镀膜装置适用于镀银/锌型金属化薄膜的真空镀膜作业，利用离心力配合挡锥降低从蒸发坩埚中喷出的锌或银金属蒸气中氧化物颗粒的含量，能够避免蒸发坩埚中喷出的锌或银金属蒸气四处逃逸，蒸发坩埚中喷出的锌或银蒸气集中成束，方向性好，可控性高，锌或银蒸气利用率高，蒸镀形成的金属镀层结构致密、成分均匀。

An anti oxidation vacuum coating device

The invention relates to a vacuum coating antioxidant device, comprises a winding chamber and a coating chamber, a film unwinding roller, a transition roller, the first tension roller, first flattening roller and the cooling roller, pressure roller, second tension adjusting roller and guide roller, second flat roller, traction roller and roller is arranged coupons received the winding chamber, the coating chamber is arranged in the wire feeder, melting crucible, drainage tube, station turntable, stepping motor, floor. The antioxidant vacuum coating device suitable for silver / zinc metallized film vacuum coating operation, the use of centrifugal force with the content of reducing block cone ejected from the evaporating crucible in silver or zinc oxide particles in metal vapor, to avoid evaporation in the crucible of sprayed zinc or silver metal vapor to escape, spray evaporation crucible the silver or zinc vapor bunched, good direction, high controllability, high utilization rate of silver or zinc vapor, structure of metal coating is compact, evaporation formed uniform composition.

【技术实现步骤摘要】
一种抗氧化型真空镀膜装置
本专利技术涉及一种抗氧化型真空镀膜装置，属于电容器

技术介绍
能源短缺和环境恶化已经成为威胁人类生存的全球化问题，发展新能源是实现人类可持续发展的必经之路，中国应该加快开发利用新能源的步伐，大力发展新能源，逐步实现从常规能源向清洁能源转变。用新能源逐步取代传统能源进行发电将是今后电力工业发展的趋势，新能源发电主要包括太阳能发电、风力发电、生物质能发电、地热发电、潮汐发电等方面。城市轨道交通是指具有运量大、速度快、安全、准点、保护环境、节约能源和用地等特点的交通方式，包括地铁、轻轨、磁悬浮、快轨、有轨电车、新交通系统等。因此，在城市轨道交通
中综合利用新能源也成为未来城市轨道交通的发展需求。新能源汽车是指采用非常规的车用燃料作为动力来源，新能源汽车包括混合动力汽车、纯电动汽车、燃料电池电动汽车、氢发动机汽车、其他新能源（如高效储能器、二甲醚）汽车等各类别产品。无论是新能源发电、新能源汽车还是城市轨道交通等领域，最终都是要电力设备来驱动、转换或实现，在电力设备中，电容器作为储能元件是其中的重要部件，尤其是在新能源作为非常规能源，在其综合利用过程中，对传统的电力设备尤其是电容器在体积、耐压、耐温、耐电流冲击、可靠性、使用时间上有很高的要求，目前国际上以金属化薄膜电容器最符合其要求，这方面最关键性的材料就是金属化薄膜。镀银型金属化薄膜具有较好的电学性能，常被用于一些特种设备中。目前镀银型金属化薄膜是使用金属银和绝缘薄膜在真空镀膜机中进行真空镀膜制成。但是，由于银丝在蒸发坩埚中熔化、蒸发镀膜过程中易被氧化生成大量的氧化银杂质，在交流高压大电流下工作时，氧化银会导致电容器的容量迅速下降，因此目前在新能源发电、新能源汽车还是城市轨道交通等领域中很少利用镀银型金属化薄膜制成的电容器用作储能元件。再加上，由于真空镀膜机中的环境为负压环境，银蒸气在从蒸发坩埚中流出时易四散逃逸，这使得一部分的银蒸气被浪费，银蒸气的利用率有限，而且四溢的银蒸气易分布不均，使得镀银层易造成分布不均，从而产生疵点，这使得后续的镀银型金属化薄膜易在疵点处发生击穿，对电容器的安全性和使用寿命长造成不良影响。镀锌型金属化薄膜常用于交流高压大电流的设备中。目前镀锌型金属化薄膜是使用金属锌和绝缘薄膜在真空镀膜机中进行真空镀膜制成。但是，由于锌丝在蒸发坩埚中熔化、蒸发过程中易被氧化生成大量的氧化锌杂质，虽然氧化锌杂质对于交流高压大电流的适应能力不会急剧地下降，但是氧化形成的氧化锌具有蓬松的结构，在后续使用过程中，空气中的氧气易进入到蓬松的氧化锌中进一步氧化金属锌，如果使用不当易导致电容器发生发热甚至击穿的事故，因此目前在新能源发电、新能源汽车还是城市轨道交通等领域中很少利用镀锌型金属化薄膜制成的电容器。再加上，由于真空镀膜机中的环境为负压环境，锌蒸气在从蒸发坩埚中流出时易四散逃逸，这使得一部分的锌蒸气被浪费，锌蒸气的利用率有限，而且四溢的锌蒸气易分布不均，使得镀锌层易造成分布不均，从而产生疵点，这使得后续的镀锌型金属化薄膜更易在疵点处发生击穿，对电容器的安全性和使用寿命长造成不良影响。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的不足，提供了一种抗氧化型真空镀膜装置，具体技术方案如下：一种抗氧化型真空镀膜装置，包括卷绕室和镀膜室，所述卷绕室中设置有放卷辊、放膜过渡辊、第一张力调节辊、第一展平辊、冷却辊、压辊、第二张力调节辊、导辊、第二展平辊、牵引辊和收券辊，所述镀膜室中设置有送丝机构，所述镀膜室中还设置有熔融坩埚、排液管、工位转盘、步进电机、底板，所述排液管的尾端与熔融坩埚连通，排液管上还设置有排液阀；所述工位转盘设置在底板的上方，所述工位转盘与底板转动连接，所述工位转盘由步进电机驱动；所述工位转盘的上方设置有一对相互对称的离心转盘，离心转盘与工位转盘转动连接，离心转盘的一侧设置有高速电机，离心转盘由高速电机驱动；所述离心转盘的上方固设有蒸发坩埚，蒸发坩埚包括圆台形上蒸发室和倒圆台形下蒸发室，上蒸发室顶部的直径小于上蒸发室底部的直径，下蒸发室顶部直径大于下蒸发室底部直径，上蒸发室的底部与下蒸发室的顶部连通，所述上蒸发室的顶部固设有缓冲喷管，缓冲喷管与上蒸发室连通；所述上蒸发室的内锥角为α，α为钝角；所述下蒸发室的内锥角为β，β为锐角；所述下蒸发室的中央设置有立柱，立柱的下端与下蒸发室的底部固定连接，所述蒸发坩埚的内部还设置有挡锥，挡锥包括圆锥形上椎体和倒圆台形下椎体，所述上椎体底面的直径等于下椎体顶面的直径，下椎体顶面的直径大于下椎体底面的直径，下椎体的底面与立柱的上端面固定连接；所述上椎体设置在上蒸发室中，上椎体的锥角为γ，γ=α；所述下椎体设置在下蒸发室中，下椎体的锥角为45°。作为上述技术方案的改进，所述上蒸发室的内锥角为α，100°≤α≤135°；所述下蒸发室的内锥角为β，5°≤β≤30°。作为上述技术方案的改进，所述底板与工位转盘之间设置有制动装置，制动装置包括磁性芯棒、与芯棒相配合的直管、弹簧、电磁铁，所述磁性芯棒的下端设置在直管的内部，弹簧设置在直管的内部且弹簧设置在磁性芯棒的下方，弹簧的上端与磁性芯棒的下端固定连接，所述电磁铁的上端与直管的下端固定连接，电磁铁的下端与底板固定连接，所述弹簧的下端与电磁铁的上端固定连接；所述工位转盘上设置有一对与磁性芯棒相适配的定位孔，两个定位孔以工位转盘的中心为对称中心呈中心对称分布。作为上述技术方案的改进，所述弹簧由铬镍不锈钢制成。作为上述技术方案的改进，所述芯棒与直管之间的配合为间隙配合。作为上述技术方案的改进，所述上椎体和下椎体为一体结构。作为上述技术方案的改进，所述挡锥和立柱均由紫铜制成。本专利技术所述抗氧化型真空镀膜装置适用于镀锌型金属化薄膜、镀银型金属化薄膜的真空镀膜作业，通过对现有蒸发坩埚的结构进行优化设计，利用离心力配合挡锥降低从蒸发坩埚中喷出的锌或银金属蒸气中氧化物颗粒的含量，同时也能够避免蒸发坩埚中喷出的锌或银金属蒸气四处逃逸，蒸发坩埚中喷出的锌或银蒸气集中成束，方向性好，可控性高，锌或银蒸气利用率高，蒸镀形成的金属镀层结构致密、成分均匀。使用该抗氧化型真空镀膜装置制成的成品质量高，次品率低，在后续使用过程中不易发生击穿，安全性高，使用寿命长。附图说明图1为本专利技术所述抗氧化型真空镀膜装置结构示意图；图2为本专利技术所述蒸发坩埚结构示意图；图3为本专利技术所述上蒸发室和下蒸发室结构示意图；图4为本专利技术所述挡锥结构示意图；图5为本专利技术所述工位转盘结构示意图；图6为本专利技术所述制动装置结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图1~4所示，所述抗氧化型真空镀膜装置，包括卷绕室1和镀膜室2，所述卷绕室1中设置有放卷辊11、放膜过渡辊12、第一张力调节辊13、第一展平辊14、冷却辊15、压辊16、第二张力调节辊17、导辊18、第二展平辊19、牵引辊110和收券辊111，所述镀膜室2中设置有送丝机构21，所述镀膜室2中还设置有熔融坩埚3、排液管31、工位转盘4、步进电机5、底板6，所述排液管31的尾端与熔融坩埚3连通，排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗氧化型真空镀膜装置，包括卷绕室（1）和镀膜室（2），所述卷绕室（1）中设置有放卷辊（11）、放膜过渡辊（12）、第一张力调节辊（13）、第一展平辊（14）、冷却辊（15）、压辊（16）、第二张力调节辊（17）、导辊（18）、第二展平辊（19）、牵引辊（110）和收券辊（111），所述镀膜室（2）中设置有送丝机构（21），其特征在于：所述镀膜室（2）中还设置有熔融坩埚（3）、排液管（31）、工位转盘（4）、步进电机（5）、底板（6），所述排液管（31）的尾端与熔融坩埚（3）连通，排液管（31）上还设置有排液阀（32）；所述工位转盘（4）设置在底板（6）的上方，所述工位转盘（4）与底板（6）转动连接，所述工位转盘（4）由步进电机（5）驱动；所述工位转盘（4）的上方设置有一对相互对称的离心转盘（8），离心转盘（8）与工位转盘（4）转动连接，离心转盘（8）的一侧设置有高速电机（81），离心转盘（8）由高速电机（81）驱动；所述离心转盘（8）的上方固设有蒸发坩埚（7），蒸发坩埚（7）包括圆台形上蒸发室（71）和倒圆台形下蒸发室（72），上蒸发室（71）顶部的直径小于上蒸发室（71）底部的直径，下蒸发室（72）顶部直径大于下蒸发室（72）底部直径，上蒸发室（71）的底部与下蒸发室（72）的顶部连通，所述上蒸发室（71）的顶部固设有缓冲喷管（711），缓冲喷管（711）与上蒸发室（71）连通；所述上蒸发室（71）的内锥角为α，α为钝角；所述下蒸发室（72）的内锥角为β，β为锐角；所述下蒸发室（72）的中央设置有立柱（74），立柱（74）的下端与下蒸发室（72）的底部固定连接，所述蒸发坩埚（7）的内部还设置有挡锥（73），挡锥（73）包括圆锥形上椎体（731）和倒圆台形下椎体（732），所述上椎体（731）底面的直径等于下椎体（732）顶面的直径，下椎体（732）顶面的直径大于下椎体（732）底面的直径，下椎体（732）的底面与立柱（74）的上端面固定连接；所述上椎体（731）设置在上蒸发室（71）中，上椎体（731）的锥角为γ，γ=α；所述下椎体（732）设置在下蒸发室（72）中，下椎体（732）的锥角为45°。...

【技术特征摘要】
1.一种抗氧化型真空镀膜装置，包括卷绕室（1）和镀膜室（2），所述卷绕室（1）中设置有放卷辊（11）、放膜过渡辊（12）、第一张力调节辊（13）、第一展平辊（14）、冷却辊（15）、压辊（16）、第二张力调节辊（17）、导辊（18）、第二展平辊（19）、牵引辊（110）和收券辊（111），所述镀膜室（2）中设置有送丝机构（21），其特征在于：所述镀膜室（2）中还设置有熔融坩埚（3）、排液管（31）、工位转盘（4）、步进电机（5）、底板（6），所述排液管（31）的尾端与熔融坩埚（3）连通，排液管（31）上还设置有排液阀（32）；所述工位转盘（4）设置在底板（6）的上方，所述工位转盘（4）与底板（6）转动连接，所述工位转盘（4）由步进电机（5）驱动；所述工位转盘（4）的上方设置有一对相互对称的离心转盘（8），离心转盘（8）与工位转盘（4）转动连接，离心转盘（8）的一侧设置有高速电机（81），离心转盘（8）由高速电机（81）驱动；所述离心转盘（8）的上方固设有蒸发坩埚（7），蒸发坩埚（7）包括圆台形上蒸发室（71）和倒圆台形下蒸发室（72），上蒸发室（71）顶部的直径小于上蒸发室（71）底部的直径，下蒸发室（72）顶部直径大于下蒸发室（72）底部直径，上蒸发室（71）的底部与下蒸发室（72）的顶部连通，所述上蒸发室（71）的顶部固设有缓冲喷管（711），缓冲喷管（711）与上蒸发室（71）连通；所述上蒸发室（71）的内锥角为α，α为钝角；所述下蒸发室（72）的内锥角为β，β为锐角；所述下蒸发室（72）的中央设置有立柱（74），立柱（74）的下端与下蒸发室（72）的底部固定连接，所述蒸发坩埚（7）的内部还设置有挡锥（73），挡锥（73）包括圆锥形上椎体（731）和倒圆台形下椎体（732），所述上椎体（731）底面的直径等于下椎体（732）顶面的直径...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋仁祥，宋仁喜，吴义超，汪志彬，
申请(专利权)人：安徽省宁国市海伟电子有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34