气体浓度分析系统技术方案

一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

【技术实现步骤摘要】
气体浓度分析系统
本技术关于一种气体浓度分析系统。
技术介绍
当一般的气体感测装置用于量测真空工艺腔体的氧气浓度时，仅能获得腔体内氧气浓度的读值。然而，有些真空工艺的压力变化幅度相当大，当气体感测装置所侦测到的氧气浓度变化是在压力持续变化情况下的读值，因气体感测装置的读值不是在同一个基准(例如在相同压力区间或是相同腔体环境下)获得，因此难以准确分析出是何种原因造成氧气浓度的变化。再者，一般在真空腔体中,会用残余气体分析仪(RGA)来量测气体浓度，但残余气体分析仪(RGA)通常须在10-4Torr下的压力才能进行量测。“现有技术”段落只是用来帮助了解本
技术实现思路
，因此在“现有技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成所属
中具有通常知识者所知道的习知技术。在“现有技术”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本技术一个或多个实施例所要解决的问题，在本技术申请前已被所属
中具有通常知识者所知晓或认知。
技术实现思路
本技术提供一种于气体浓度分析系统。本技术的其他目的和优点可以从本技术所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为达到上述之一或部份或全部目的或是其他目的，本技术的一实施例提供一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。藉由上述实施例的设计，因控制单元可接收气体感测装置的待测气体浓度值、压力侦测装置的压力值及阀门动作感知器的阀门动作信号并进行运算，因此每个量测到的气体浓度均可得知其对应的压力值或腔体环境，因此可在同一个基准(例如在相同压力区间或相同腔体环境)下比较气体浓度的变化，建立对应不同真空压力范围或不同腔体环境的真空工艺阶段的气体浓度指标，且便于分析于不同真空压力阶段或不同腔体环境下的气体浓度与真空工艺间的相互影响。再者，于气体感测装置与腔体之间若设有一隔离阀，可获得例如避免某些工艺气体会造成气体感测装置损坏、或者可于特定压力范围、特定腔体环境或特定气体浓度下进行气体浓度侦测等效果。本技术的其他目的和优点可以从本技术所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例并配合所附图式，作详细说明如下。附图说明图1为本技术一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图2为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图3为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图4为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图5为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图6为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。图7为本技术另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。符号说明10、10a、10b、10c、10d、10e气体浓度分析系统11、13、15、17、19腔体12气体感测装置12a气体感知器12b残余气体分析仪14压力侦测装置16控制单元18、18a、18b隔离阀22阀门动作感知器24、26、28、32阀门具体实施方式有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考图式的实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本技术。图1为本技术一实施例的气体浓度分析系统的示意图。如图1所示，气体浓度分析系统10包含一气体感测装置12、一压力侦测装置14、一控制单元16、一隔离阀18及至少一阀门动作感知器22。气体感测装置12仅需能提供侦测腔体内的待测气体的浓度的效果即可，其种类并不限定。举例而言，气体感测装置12例如可为一气体感知器或一残余气体分析仪(RGA)，或者可同时包含一气体感知器及一残余气体分析仪(RGA)。气体感知器例如可为一含氧感知器而不限定。举例而言，气体感知器可在大于10-4Torr的压力下侦测气体浓度，而残余气体分析仪(RGA)的工作压力区间约为10-4torr以下，故可视量测浓度的压力区间、侦测气体种类等因素决定使用何种气体感测装置12而不限定。气体感测装置12及压力侦测装置14可连接至至少一腔体11，腔体11例如可为一真空工艺腔体而不限定，且压力侦测装置14例如可为一真空计或一压力开关而不限定。阀门动作感知器22用以侦测阀门的开闭状态，举例而言，如图2所示，一阀门24连接于腔体11与腔体13之间且阀门24开启/关闭可使腔体11与腔体13彼此连通/不连通，另一阀门26连接于腔体11与腔体15之间且阀门24开启/关闭可使腔体11与腔体15彼此连通/不连通，阀门动作感知器22可侦测阀门24、26目前的开闭状态，且例如可将阀门的状态信息传送至控制单元16，控制单元16为具数据记录、处理或分析功能的单元，其架构及组成完全不限定。阀门动作感知器22可为一硬件、软件、固件或包含三者至少其中之二的架构均可而不限定。于本实施例中，阀门动作感知器22可取得阀门24、26目前的开闭动作状态，因此气体感测装置12可侦测单一腔体11或连通的腔体空间内的气体浓度，且压力侦测装置14可侦测单一腔体11或连通的腔体空间内的压力，举例而言，藉由阀门24、26的开闭，连通的腔体空间例如可包含连通的腔体11及腔体13、连通的腔体11及腔体15、或者连通的腔体11、13及15，当然图1的腔体数目及配置方式而完全不限定，举例而言，如图2所示的腔体11、13、15、17及19可配置成枚叶式(Cluster)型态而非如图1的连续式(In-line)型态，腔体13、15、17及19可藉由阀门24、26、28及32连接腔体11，藉由各个阀门的开闭可形成不同的连通状态及连通的腔体空间，且阀门动作感知器22可取得阀门24、26、28及32目前的开闭动作状态。请再参考图1，于本实施例中，控制单元16可接收气体感测装置12取得的待测气体浓度值、压力侦测装置14取得的压力值、及阀门动作感知器22取得的阀门动作信号并进行运算，以例如获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下气体浓度指标。举例而言，于一真空工艺中，于不同的阶段可能在不同的真空工作压力范围下进行，且因各个阀门的开闭状态可构成不同的腔体空间(不同的腔体环境)，因此本实施例于取得待测气体浓度值时，同时可获得目前的压力值及各个阀门的开闭状态(对应不同腔体环境)的信息，故控制单元16可对不同的真空压力范围下及不同腔体环境下的待测气体浓度指标进行分析或分类。再者，于本实施例中，隔离阀18可连接于气体感测装置12与腔体11之间，且隔离阀18可开闭以连通或隔离气体感测装置12与腔体11。于一实施例中，依据压力侦测装置14回馈至控制单元16的压力信号，控制单元16可输出一控制信号至隔离阀18以控制隔离阀18的开闭，获得例如避免某些工艺气体造成气体感测装置损坏、或者可于特定压力范围、特定腔体环境或特定气体浓度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

【技术特征摘要】
1.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。2.如权利要求1所述的气体浓度分析系统，其特征在于，该气体感测装置包含一气体感知器与一残余气体分析仪两者的至少其中之一。3.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一气体感知器，侦测一腔体内的一第一压力范围下的待测气体浓度；一残余气体分析仪，侦测该腔体内的一第二压力范围下的该待测气体浓度，且该第二压力范围低于该第一压力范围；以及一控制单元，接收该气体感知器及该残余气体分析仪取得的气体浓度信息并进行分析。4.如权利要求3所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：至少一隔离阀，连接于该腔体与该气体感知器或该残余气体分析仪之间。5.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同腔体环境下的气体浓度指标。6.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值及该压力侦测装置取得的压力值并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下的气体浓度指标。7.如权利要求1、2、5或6所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：至少一隔离阀，连接于该腔体与该气体感测装置之间。8.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：一第一腔体；至少一第二腔体，经由一阀门连接该第一腔体，其中当该阀门开启时该第一腔体与该第二腔体彼此连通，且该阀门关闭时该第一腔体与该第二腔体彼此不连通；一气体感测装置，侦测该第一腔体内的待测气体浓度、及彼此连通的该第一、该第二腔体的待测气体浓度两者的至少其中之一；一压力侦测装置，侦测该第一腔体内的压力、及彼此连通的该第一、该第二腔体的压力两者的至少其中之一；以及一控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄集尧，吴柄村，
申请(专利权)人：毅泰成科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71