气体浓度分析系统技术方案

一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

Gas concentration analysis system

A gas concentration analysis system comprises a gas sensing device, a pressure detecting device, a valve sensor and a control unit. A gas sensor detects the concentration of the gas to be measured in a chamber, a pressure sensor is connected to the chamber to detect the pressure in the chamber, a valve sensor detects the opening and closing state of a valve in the chamber, and a control unit receives the gas concentration value obtained by the gas sensor, the pressure value obtained by the pressure detector and the valve. Valve status signals obtained by the sensor are calculated to obtain gas concentration indices in different vacuum pressure ranges or in different chamber environments.

【技术实现步骤摘要】
气体浓度分析系统
本专利技术关于一种气体浓度分析系统。
技术介绍
当一般的气体感测装置用于量测真空工艺腔体的氧气浓度时，仅能获得腔体内氧气浓度的读值。然而，有些真空工艺的压力变化幅度相当大，当气体感测装置所侦测到的氧气浓度变化是在压力持续变化情况下的读值，因气体感测装置的读值不是在同一个基准(例如在相同压力区间或是相同腔体环境下)获得，因此难以准确分析出是何种原因造成氧气浓度的变化。再者，一般在真空腔体中,会用残余气体分析仪(RGA)来量测气体浓度，但残余气体分析仪(RGA)通常须在10-4Torr下的压力才能进行量测。“现有技术”段落只是用来帮助了解本
技术实现思路
，因此在“现有技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成所属
中具有通常知识者所知道的习知技术。在“现有技术”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本专利技术一个或多个实施例所要解决的问题，在本专利技术申请前已被所属
中具有通常知识者所知晓或认知。
技术实现思路
本专利技术提供一种于气体浓度分析系统。本专利技术的其他目的和优点可以从本专利技术所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为达到上述之一或部份或全部目的或是其他目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

【技术特征摘要】
1.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。2.如权利要求1所述的气体浓度分析系统，其特征在于，该气体感测装置包含一气体感知器与一残余气体分析仪两者的至少其中之一。3.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感知器，侦测一腔体内的一第一压力范围下的待测气体浓度；一残余气体分析仪，侦测该腔体内的一第二压力范围下的该待测气体浓度，且该第二压力范围低于该第一压力范围；以及一控制单元，接收该气体感知器及该残余气体分析仪取得的气体浓度信息并进行分析。4.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同腔体环境下的气体浓度指标。5.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值及该压力侦测装置取得的压力值并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下的气体浓度指标。6.如权利要求1-5中任一项所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：至少一隔离阀，连接于该腔体与该气体感测装置、该气体感知器或该残余气体分析仪之间。7.一种气体浓度分析系统，包含：一第一腔体；至少一第二腔体，经由一阀门连接该第一腔体，其中当该阀门开启时该第一腔体与该第二腔体彼此连通，且该阀门关闭时该第一腔体与该第二腔体彼此不连通；一气体感测装置，侦测该第一腔体内的待测气体浓度、及彼此连通的该第一、该第二腔体的待测气体浓度两者的至少其中之一；一压力侦测装置，侦测该第一腔体内的压力、及彼此连通的该第一、该第二腔体的压力两者的至少其中之一；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、该压力侦测装置取得的压力值及该阀门的开闭状态信息。8.如权利要求7...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄集尧，吴柄村，
申请(专利权)人：毅泰成科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71