密封门装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，包括：一密封门，贴附于基板进出口所在平面，且可平移至基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于密封门两端的驱动螺杆；其中，驱动电机连接齿轮，位于密封门至少一端的驱动螺杆套接于齿轮的中心，通过齿轮驱动驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得密封门在驱动螺杆上移动；有益效果为：本发明专利技术所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。

Sealing door device

The present invention provides a sealing device for door, precision machine import and export of substrate comprises a sealed, sealed door, attached to the substrate plane and the import and export, import and export can be translated to the substrate; and a driving mechanism comprises a driving screw drive motor, gear and connected to both ends of the sealing door the driving motor is connected; gear, located in the sealed door at least one end of the drive screw is sheathed on the gear through the gear drive screw center, with its center line to the axis of rotation, the seal door on the drive screw movement; beneficial effect: one type provided by the invention seal door is attached to the body the surface setting has better sealing effect of sealing, sealing door and driving mechanism has the advantages of simple structure, easy disassembly; solve the orbit design of double door sealing door will affect the chamber. The technical problem that the temperature of the chamber is unstable and the measuring accuracy is influenced by the sealing effect.

【技术实现步骤摘要】
密封门装置
本专利技术涉及液晶显示面板制造领域，尤其涉及一种液晶显示面板测量设备的密封门。
技术介绍
伴随液晶显示技术正在向高端精细方向发展，对于LTPS(LowTemperaturePoly-silicon，简称：低温多晶硅)产品而言，黑色矩阵的线宽从10um到现在4～5um，规格要求越来越细，并且曝光遮罩的形状精度和位置精度的要求从4～5um到现在1.5～2um。对检测设备的精度也就要求更高，线宽检测精度在0.05um以内，精密测长机精度要求在0.3um，因此不仅需要对设备进行防震、测量镜头精度校准，而且最重要的是测量基板需放置于密闭恒温恒湿室中，对设备的温度要求在±0.1℃，防止温度对精密测长机测量误差带来较大影响。通常无尘室的温度控制在23±0.5℃，精密测长机设备量测时，密封门打开，机械手将玻璃基板搬送到精密测长机腔室内，这一过程中腔室内与外界是相通的，若密封门关闭不够紧密，外界温度的变化对精密测长机的精度总是会有影响。现有技术的精密测长机，用于封闭腔室的密封门为双开门设计，并且需要在精密测长机的表面设置轨道，轨道中存在缝隙，难以实现对腔室的紧密封闭，而且，密封门在开启及关闭的过程中，两扇门相对运动，两门之间空气流速加快，从而加速了腔室内外空气交换，导致腔室内温度不稳定，进一步影响精密测长机的测量精度。
技术实现思路
本专利技术提供一种密封门装置，为一体式密封门，能够对精密测长机的腔室进行较好地密封，以解决双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。根据本专利技术一优选实施例，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。根据本专利技术一优选实施例，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。根据本专利技术一优选实施例，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。根据本专利技术一优选实施例，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；其中所述传动机构包括：第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆上；第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及传动连杆，垂直于所述第一驱动螺杆及第二驱动螺杆，所述传动连杆的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆的相对另一端连接所述第四伞形齿轮。根据本专利技术一优选实施例，所述基板进出口所在平面上，位于所述密封门行程的一端设置有第一挡板，所述第一挡板内侧设置有第一缓冲垫，位于所述密封门行程的另一端设置有第二挡板，所述第二挡板内侧设置有第二缓冲垫。根据本专利技术一优选实施例，所述基板进出口所在平面上设置有止位传感器，所述密封门上设置有与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构。根据本专利技术一优选实施例，所述密封门的端部设置有连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于所述驱动螺杆上，且与所述驱动螺杆螺接。根据本专利技术一优选实施例，所述密封门朝向所述基板进出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板进出口的外部。根据本专利技术一优选实施例，所述密封门端部的斜面与所述密封门外表面的连接处形成圆弧过渡面。本专利技术的有益效果为：相较于现有的密封门，本专利技术所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术密封门装置结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术针对现有的双开门式密封门，轨道的设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题，本实施例能够解决该缺陷。本专利技术所提供的密封门装置，包括：一密封门，用于封闭精密测长机的基板进出口，所述基板进出口开设于所述精密测长机的一侧表面，所述基板进出口用于基板的进入及移出；所述密封门贴附于所述基板进出口所在平面，且可贴附在平面上平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。如图1所示，本专利技术实施例的密封门装置，包括一体式的密封门101，所述密封门101贴附于精密测长机102的一侧表面，基板进出口103开设于所述精密测长机102一侧表面，且与所述密封门101位于所述精密测长机102的同一侧；所述密封门101贴附于所述精密测长机102表面平移；所述基板进出口103在打开时，所述密封门101平移至所述基板进出口103的一端，所述基板进出口103需要关闭时，所述密封门101平移至所述基板进出口103所在区域，并覆盖所述基板进出口103。所述密封门101由驱动机构驱动平移。所述驱动机构包括：第一驱动螺杆104，位于所述密封门101的一端，通过第一固定件105与所述密封门101连接，所述第一固定件105螺接于所述第一驱动螺杆104；第二驱动螺杆106，位于所述密封门101的相对另一端，通过第二固定件107与所述密封门101连接；所述第二固定件107螺接于所述第二驱动螺杆106；所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106相互平行，并且，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106垂直于所述精密测长机102的底部；例如，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106位于所述精密测长机102边缘的外侧，以避免驱动螺杆阻挡所述密封门101与所述基板进出口103所在平面之间的贴合，又如，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106位于所述密封门101贴附面的另一面，同样能解决所述密封门1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。

【技术特征摘要】
1.一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。2.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。3.根据权利要求2所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。4.根据权利要求3所述的密封门装置，其特征在于，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。5.根据权利要求4所述的密封门装置，其特征在于，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；所述传动机构包括：第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马海买提，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42