一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座。本实用新型专利技术的设计机构能使得晶圆搬送机上能自动的进行卡匣的升降、检测晶片的存在数量和其存在的层数，方便机械手对某一层晶片进行提取和放回，效率较高，而且精确度较高。

A wafer cassette device for wafer conveying machine

The utility model discloses a wafer cassette device for wafer conveying machine, which is characterized in that the device comprises a wafer cassette for placing a wafer cassette carrier, used to control the lifting shaft driving device and the lifting table cassette for mounting the lifting shaft transmission device of the lifting shaft fixing seat. The design of the utility model can make the wafer transfer mechanism on the machine can automatically the number and the number of wafer cassette lifting, detection, convenient mechanical hand on a layer of wafer extraction and back, high efficiency and high precision.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置。
技术介绍
半导体晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外力碰撞，会将多个晶圆收纳于晶圆暂存卡匣中。一般来说，晶圆暂存卡匣内设置有逐层排列的多个插槽可水平容置多个晶圆，且其一侧面具有一开口可供晶圆的载出及载入。再者，于开口处亦设置有可防止晶圆于搬运时滑出的止挡构件。然而，当将存放晶圆的晶圆暂存卡匣搬运至下一工作站时，作业人员常会忘记解除止挡构件对晶圆的限位，而导致机械手臂强行从开口将晶圆取出，造成晶圆撞击止挡构件而破裂及损坏。此外，晶圆暂存卡匣的插槽间距大于晶圆厚度，且晶圆暂存卡匣的容置空间会大于晶圆面积，因此晶圆于搬运过程中仍会在晶圆暂存卡匣内晃动，而与晶圆暂存卡匣相互碰撞，此也会造成晶圆的破裂及损坏。因此，如何有效降低作业人员误动作的机会及降低搬运过程中晶圆暂存卡匣与晶圆间相互碰撞的机率是业界亟欲解决的课题之一。而，现在针对全自动晶圆搬送机的卡匣放置需要一个稳定且快捷安装的卡匣装置来配合。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台(1)、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置(2)和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座(3)，其中：所述升降轴传动装置(2)包括用于提供卡匣载台升降的滑行导轨(4)、用于控制卡匣载台升降的丝杆(5)和用于控制丝杆转动的伺服电机，所述伺服电机的主轴和丝杆一端均设有相同的同步皮带轮(6)，并通过同步带(7)连接；升降轴固定座(3)背面安装有伺服电机安装板(20)，升降轴固定座正面设有用于固定滑行导轨(4)的安装孔、滑行道轨的限位块(8)和丝杆安装座(9)，升降轴侧面分别设有延伸支架(10)，延伸支架上分别设有光纤...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台(1)、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置(2)和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座(3)，其中：所述升降轴传动装置(2)包括用于提供卡匣载台升降的滑行导轨(4)、用于控制卡匣载台升降的丝杆(5)和用于控制丝杆转动的伺服电机，所述伺服电机的主轴和丝杆一端均设有相同的同步皮带轮(6)，并通过同步带(7)连接；升降轴固定座(3)背面安装有伺服电机安装板(20)，升降轴固定座正面设有用于固定滑行导轨(4)的安装孔、滑行道轨的限位块(8)和丝杆安装座(9)，升降轴侧面分别设有延伸支架(10)，延伸支架上分别设有光纤传感器(11)；所述卡匣载台(1)分为卡匣工作面(19)和卡匣安装面(12)，所述卡匣工作面设有针对卡匣的安装槽位(13)，所述卡匣安装面设有与滑行道轨匹配的导轨座(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，陈曦，王广禄，
申请(专利权)人：泉州市憬承光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35