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本实用新型公开了一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座。本实用新型的设计机构能使得晶圆搬送机上能自动的进行卡匣的升降、...
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