一种硅基MEMS阵列扬声器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅基MEMS阵列扬声器，包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。本实用新型专利技术具有厚度薄，音质好等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基MEMS阵列扬声器
本技术涉及扬声器
，具体涉及一种硅基MEMS阵列扬声器。
技术介绍
目前市场上扬声器通常为动圈式扬声器，动铁式扬声器，压电式扬声器及静电扬声器，而市场对扬声器要求厚度更薄、音质更清晰需求的日益增长，整个电子行业已将大部分产品数字化和小型化，现有的扬声器已满足不了电子行业的需求。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术提供一种解决上述问题的硅基MEMS阵列扬声器。实现本技术的技术方案如下：一种硅基MEMS阵列扬声器，包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。进一步地，单个MEMS微声单元的形状为等边六边形。进一步地，所述振膜包括正六边形的边缘部和圆形的中间部，中间部位于边缘部的中心，中间部与边缘部之间通过S型悬挂线连接。进一步地，所述S型悬挂线有四条。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅基MEMS阵列扬声器，其特征在于：包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。

【技术特征摘要】
1.一种硅基MEMS阵列扬声器，其特征在于：包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。2.根据权利要求1所述的一种硅基MEMS阵列扬声器，其特征在于：单个MEMS...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐波，徐金国，吴逸飞，朱志刚，
申请(专利权)人：汉得利常州电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32