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本实用新型涉及一种硅基MEMS阵列扬声器，包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导...
该专利属于汉得利（常州）电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过汉得利（常州）电子股份有限公司授权不得商用。

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