一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法制造方法及图纸

一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置，包括，光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统；其中，所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处，玻璃基板进入玻璃基板加工单元时接触光感应系统，光感应系统将信号反馈至中央控制系统。通过检测发射器发出的光是否能量变化来判断玻璃基板被检测区域是否有裂纹或破损，并停止玻璃基板加工单元运行，有效排除了裂纹破碎的玻璃基板，提高产品的制程良率。

【技术实现步骤摘要】
一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法
本专利技术是应用于液晶面板生产过程中的一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法。
技术介绍
液晶面板在生产过程中，玻璃基板需要进行涂布、曝光、显影、烘烤等制程，由于经过的设备多，且生产流程长，容易造成玻璃基板边角破裂和裂纹，如果未及时发现，会流入后制程污染设备，造成设备损伤，并且不易查到造成破裂的真正原因。
技术实现思路
为了避免玻璃基板在生产过程中边角破裂和裂纹现象发生不易被发现造成破裂的现象发生，设置一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法，提高玻璃基板的制程良率。一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，包括，光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统；其中，所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处，玻璃基板进入玻璃基板加工单元时光感应系统得到感应，将感应信号反馈至中央控制系统。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光感应系统包括光源发射器和光源接收器，所述光源发射器和光源接收器成对设置在玻璃基板加工单元入口处玻璃基板经过区域的上下两边，光源发射器发射的光穿过玻璃基板后被光源接收器接收。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光源发射器和光源接收器设置在玻璃基板加工单元入口处位于玻璃基板待检测边的上下位置，所述玻璃基板待测边为平行于玻璃基板运动方向的两个边。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光源发射器能够发出红外线，所述光源接收器能够检测红外线能量变化。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述玻璃基板由机械手臂运送至玻璃基板加工单元，所述光源发射器和光源接收器为多对，且避开所述机械手臂的正上下方位置设置。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述机械手臂包括三个支撑玻璃基板的支撑臂，所述支撑臂宽度不超过3cm。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光源发射器发射的光的能量可调节。一种检测玻璃基板破损和裂纹的方法，包括以下步骤：步骤一、中央控制系统控制光源发射器发出光，光源接收器接收光并将原始光能量信息M1反馈至中央控制系统；步骤二、玻璃基板进入玻璃基板加工单元并从光源发射器和光源接收器之间穿过，光源接收器将正常玻璃基板穿过过程中接收的光能信息M2反馈至中央控制系统；步骤三、当玻璃基板边缘有裂纹时，光源发射器发射的光穿过有裂纹的地方，此时光源接收器接收的光能信息M3反馈至中央控制系统；步骤四、中央控制系统对光能量信息M2和光能量信息M3进行处理。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法，其中，步骤四中，中央控制系统通过对比光能量信息M2和M3是否相等判断是否停止玻璃基板加工单元的运行。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法，其中，所述光能量信息M2和光能量信息M3相同，所述玻璃基板加工单元继续运行，所述光能量信息M2和光能量信息M3不同，中央控制系统控制玻璃基板加工单元停止运行。本专利技术具有以下优点：在玻璃基板加工单元入口处设置光源发射器和光源接收器，通过检测发射器发出的光是否能量变化来判断玻璃基板被检测区域是否有裂纹或破损，并停止玻璃基板加工单元运行，有效排除了裂纹破碎的玻璃基板，提高产品的制程良率。在平行于玻璃基板运动方向的两个边上下位置设置光源发射器和光源接收器，一能够全面排除裂纹破碎的玻璃基板。设置多对光源发射器和光源接收器不仅可以在裂纹破碎发生率高的玻璃基板边缘处检测玻璃基板是否存在瑕疵，也可以在玻璃基板中央位置检测是否存在裂纹破碎现象的发生，全面排除裂纹破碎基板。附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1是本专利技术检测玻璃基板破损和裂纹的装置主视图；图2是本专利技术检测玻璃基板破损和裂纹的装置俯视图。在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。如图1所示，为本专利技术一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置的主视图，包括：光感应系统(图中未绘制出)、玻璃基板加工单元1以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元1的中央控制系统(图中未绘制出)；其中，所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元1入口处，玻璃基板2进入玻璃基板加工单元1时接触光感应系统，光感应系统将信号反馈至中央控制系统。所述光感应系统包括，光源发射器4、光源接收器5、所述光源发射器4和光源接收器5成对设置在玻璃基板加工单元1入口处玻璃基板2经过区域的上下两边，光源发射器4发射的光穿过玻璃基板2后被光源接收器5接收。其中，机械手臂3承载玻璃基板2进入玻璃基板加工单元1，所述光源发射器4和光源接收器5垂直相对应分别设置在玻璃基板加工单元入口处玻璃基板经过区域的上下两边，且避开正对机械手臂的上下位置，光源发射器4发射的光穿过玻璃基板后3被光源接收器5接收。如图2所示，为本专利技术检测玻璃基板破损和裂纹的装置俯视图，在一个实施例中，所述光源发射器4和光源接收器5设置在玻璃基板加工单元2入口处位于玻璃基板待检测边的上下位置。所述玻璃基板待测边为平行于玻璃基板运动方向的两个边。图中箭头方向为玻璃基板运动方向。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光源发射器为可发出红外线的设备，所述光源接收器为检测红外线能量的设备。在一个实施例中，所述光源发射器和光源接收器为多对，分别设置在玻璃基板加工单元入口处玻璃基板经过区域的上下两边，且避开正对机械手臂的上下位置。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述机械手臂3包括三个支撑玻璃基板的支撑臂：第一支撑臂31、第二支撑臂32以及第三支撑臂33，所述支撑臂宽度不超过3cm。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其中，所述光源发射器发射的光的能量可调节。一种检测玻璃基板破损和裂纹的方法，包括以下步骤：步骤一、中央控制系统控制光源发射器发出光，光源接收器接收光并将原始光能量信息M1反馈至中央控制系统；步骤二、玻璃基板进入玻璃基板加工单元并从光源发射器和光源接收器之间穿过，光源接收器将正常玻璃基板穿过过程中接收的光能信息M2反馈至中央控制系统；步骤三、当玻璃基板边缘有裂纹时，光源发射器发射的光穿过有裂纹的地方，此时光源接收器接收的光能信息M3反馈至中央控制系统；步骤四、中央控制系统对光能量信息M2和光能量信息M3进行处理。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法，其中，步骤四中，中央控制系统通过对比光能量信息M2和M3是否相等判断是否停止玻璃基板加工单元的运行。所述的检测玻璃基板破损和裂纹的方法，其中，所述光能量信息M2和光能量信息M3相同，所述玻璃基板加工单元继续运行，所述光能量信息M2和光能量信息M3不同，中央控制系统控制玻璃基板加工单元停止运行。当玻璃在机械手臂的取放时，玻璃边缘接触到光源发射器发出的光，如果玻璃边缘有裂纹或者破损，光穿过玻璃基板，能量会发生变化，设备报警并停止。如果玻璃基板边缘无裂纹或者破损，光穿过玻璃基板能量不会发生变化，加工设备则正常运行。用这种检测玻璃基板破损和裂纹的方法，使得每张玻璃基板都会进行裂纹和破裂检查，不会造成漏检；当检查出有裂纹时，设备能及时报警并停止，保证检出及时性；不会讲有裂纹的玻璃流入下制程设备中，减少设备污染的风险性；能及时发现和锁定异常，并帮助理清真因。在玻璃基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，包括，光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统；其中，所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处，玻璃基板进入玻璃基板加工单元时光感应系统得到感应，将感应信号反馈至中央控制系统。

【技术特征摘要】
1.一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，包括，光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统；其中，所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处，玻璃基板进入玻璃基板加工单元时光感应系统得到感应，将感应信号反馈至中央控制系统。2.根据权利要求1所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，所述光感应系统包括光源发射器和光源接收器，所述光源发射器和光源接收器成对设置在玻璃基板加工单元入口处玻璃基板经过区域的上下两边，光源发射器发射的光穿过玻璃基板后被光源接收器接收。3.根据权利要求2所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，所述光源发射器和光源接收器设置在玻璃基板加工单元入口处位于玻璃基板待检测边的上下位置，所述玻璃基板待测边为平行于玻璃基板运动方向的两个边。4.根据权利要求2所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，所述光源发射器能够发出红外线，所述光源接收器能够检测红外线能量变化。5.根据权利要求2所述的检测玻璃基板破损和裂纹的装置，其特征在于，所述玻璃基板由机械手臂运送至玻璃基板加工单元，所述光源发射器和光源接收器为多对，且避开所述机械手臂的正上下方位置设置。6.根据权利要求5所述的检测玻璃基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚冰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42