一种可自动检测栅极腐蚀装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于栅极腐蚀检测技术领域，具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体，壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统，安全房设于栅极的下方，检测机构与六轴机械模组连接，六轴机械模组容置于安全房内，检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极的腐蚀情况时，六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。本发明专利技术的可自动检测栅极腐蚀装置，能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。

【技术实现步骤摘要】
一种可自动检测栅极腐蚀装置
本专利技术属于栅极腐蚀检测
，具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置。
技术介绍
有一些大型设备通常工作在真空环境中，进行栅极离子溅射，但栅极又会有腐蚀的情况发生，所以为了防止对后续的离子溅射产生不良的影响，所以必须在每次栅极进行离子溅射前对栅极的腐蚀进行检测，如果靠人工去检验，则难度系数很高，而且危险，又比较浪费时间。
技术实现思路
本专利技术主要提供了一种可自动检测栅极腐蚀装置，能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。其技术方案如下：一种可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体，壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统，安全房设于栅极的下方，检测机构与六轴机械模组连接，六轴机械模组容置于安全房内，检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极的腐蚀情况时，六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。优选的，所述六轴机械模组包括滑出机构、支撑机构、旋转机构、滑移机构、角度调节机构和对焦机构，安全房的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房外，滑出机构滑动的设于所述滑轨上，支撑机构上具有一旋转杆，滑出机构从安全房内滑出时旋转杆由与滑出机构贴合状态变为直立状态，旋转机构设于旋转杆的端部，旋转机构与一滑行件连接，滑移机构滑动的设于滑行件上，角度调节机构位于滑移机构上，角度调节机构与检测机构连接使检测机构左右摆动，对焦机构与检测机构连接以微调检测机构与栅极间的距离。优选的，所述检测机构包括相机和光源，检测时，相机、光源和栅极上待检测部位处于同一直线上。优选的，所述滑出机构包括滑板和滑出电机，滑板架设在所述滑轨上，滑出电机与滑板驱动连接以使滑板滑行，滑出电机与所述控制系统电连接。优选的，所述支撑机构还包括底座、支撑电机和直角基准板，底座坐设于滑出机构上，旋转杆与底座铰接，支撑电机与旋转杆连接以使旋转杆转动使其与底座贴合或直立于底座上，直角基准板立于底座上，直角基准板为旋转杆的直立状态提供定位，支撑电机与所述控制系统电连接。优选的，所述旋转机构包括旋转电机和旋转座，旋转座设于旋转杆的端部，旋转电机设于旋转座上，旋转电机的输出轴与滑行件连接，旋转电机与所述控制系统电连接。优选的，所述滑行件为一弧形导轨，滑移机构包括滑移电机和滑移座，滑移座滑动的设于所述弧形导轨上，滑移电机与滑移座连接以使滑移座沿所述弧形导轨滑行，滑移电机与所述控制系统电连接。优选的，所述角度调节机构设于滑移座上，角度调节机构为直角电机，检测机构与所述直角电机的输出轴连接，所述直角电机带动检测机构以直角电机的对称轴为中心进行左右摆动，所述直角电机与所述控制系统电连接。优选的，所述对焦机构包括对焦电机和对焦座，对焦座坐设在角度调节机构上，检测机构设于对焦座上，对焦电机与检测机构连接以微调检测机构与栅极间的距离，对焦电机与所述控制系统电连接。优选的，所述安全房上设有防护门，六轴机械模组从防护门处脱出。采用上述自动检测栅极腐蚀装置，其具有以下优点：(1)本专利技术设计一套完整的检测系统，通过多机构组合，一次定位栅极实现多面检测，克服栅极在真空环境检测下不易定位的问题；(2)本专利技术采用安全房结构形式，即栅极进行离子溅射实验时，将检测装置收起，放置安全房内，隔绝离子溅射时产生的高温，检测时打开防护门，对实验后的栅极检测，保护检测设备。附图说明图1为本专利技术的可自动检测栅极腐蚀装置结构图；图2为图1所示可自动检测栅极腐蚀装置除去真空箱后的结构图；图3为本专利技术中的六轴机械模组结构图。其中：1、壳体，11、真空箱，12、检测设备壳体，13、离子溅射实验壳体，2、栅极，3、安全房，31、防护门，4、检测机构，41、相机，5、六轴机械模组，51、滑出机构，51-1、滑板，51-2、滑出电机，52、支撑机构，52-1、旋转杆，52-2、底座，52-3、支撑电机，52-4、直角基准板，53、旋转机构，53-1、旋转电机，53-2、旋转座，54、滑移机构，54-1、滑移电机，54-2、滑移座，55、角度调节机构，56、对焦机构，56-1、对焦电机，56-2、对焦座，6、滑行件。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1-3所示，为本专利技术的可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体1、栅极2、安全房3、检测机构4、六轴机械模组5、滑行件6和控制系统，壳体1包括依次连接的真空箱11、检测设备壳体12和离子溅射实验壳体13，栅极2位于离子溅射实验壳体13内并朝真空箱11的方向溅射，安全房3位于离子溅射实验壳体13内并设于栅极2的下方。检测机构4安装在六轴机械模组5上，六轴机械模组5容置于安全房3内，安全房3上设有防护门31，需要检测栅极2的腐蚀情况时，防护门31打开，六轴机械模组5从安全房3内滑出运行到检测设备壳体12内，六轴机械模组5将检测机构4输送至栅极2的正前方。六轴机械模组5包括滑出机构51、支撑机构52、旋转机构53、滑移机构54、角度调节机构55和对焦机构56。安全房3的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房3外。滑出机构51包括滑板51-1和滑出电机51-2，滑板51-1架设在所述滑轨上，滑出电机51-2与滑板51-1驱动连接以使滑板51-1滑行，滑出机构51的目的是将六轴机械模组5从安全房3内移出。支撑机构52包括旋转杆52-1、底座52-2、支撑电机52-3和直角基准板52-4，底座52-2坐设于滑板51-1上，旋转杆52-1与底座52-2铰接，支撑电机52-3与旋转杆52-1连接，滑出机构51从安全房3内滑出时旋转杆52-1转动并直立于底座52-2上。直角基准板52-4立于底座52-2上，直角基准板52-4为旋转杆52-1的直立状态提供定位，使旋转杆52-1正好旋转90度到栅极2正前方。支撑机构52的设置使整个六轴机械模组5不仅可以折叠收纳在安全房3内，还可以在检测时将检测机构4送到栅极2的正前方。旋转机构53包括旋转电机53-1和旋转座53-2，旋转座53-2设于旋转杆52-1的端部，旋转电机53-1设于旋转座53-2上，旋转电机53-1的输出轴与滑行件6连接，滑行件6为一弧形导轨，弧形导轨主要是根据栅极2的球面专门定制。旋转机构53的设置可以调整滑行件6的延伸方向。滑移机构54包括滑移电机54-1和滑移座54-2，滑移座54-2滑动的设于所述弧形导轨上，滑移电机54-1与滑移座54-2连接以使滑移座54-2沿所述弧形导轨滑行。滑移机构54的设置方便的调整检测机构4的位置。角度调节机构55设于滑移座54-2上，角度调节机构55为直角电机。对焦机构56包括对焦电机56-1和对焦座56-2，对焦座56-2坐设在所述直角电机上，所述直角电机的输出轴与对焦座56-2连接，检测机构4设于对焦座56-2上，所述直角电机带动对焦座56-2以直角电机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：包括壳体(1)，壳体(1)内设有栅极(2)、安全房(3)、检测机构(4)、六轴机械模组(5)和控制系统，安全房(3)设于栅极(2)的下方，检测机构(4)与六轴机械模组(5)连接，六轴机械模组(5)容置于安全房(3)内，检测机构(4)、六轴机械模组(5)均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极(2)的腐蚀情况时，六轴机械模组(5)从安全房(3)内滑出并将检测机构(4)输送至栅极(2)的待检测部位。

【技术特征摘要】
1.一种可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：包括壳体(1)，壳体(1)内设有栅极(2)、安全房(3)、检测机构(4)、六轴机械模组(5)和控制系统，安全房(3)设于栅极(2)的下方，检测机构(4)与六轴机械模组(5)连接，六轴机械模组(5)容置于安全房(3)内，检测机构(4)、六轴机械模组(5)均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极(2)的腐蚀情况时，六轴机械模组(5)从安全房(3)内滑出并将检测机构(4)输送至栅极(2)的待检测部位。2.根据权利要求1所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：六轴机械模组(5)包括滑出机构(51)、支撑机构(52)、旋转机构(53)、滑移机构(54)、角度调节机构(55)和对焦机构(56)，安全房(3)的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房(3)外，滑出机构(51)滑动的设于所述滑轨上，支撑机构(52)上具有一旋转杆(52-1)，滑出机构(51)从安全房(3)内滑出时旋转杆(52-1)由与滑出机构(51)贴合状态变为直立状态，旋转机构(53)设于旋转杆(52-1)的端部，旋转机构(53)与一滑行件(6)连接，滑移机构(54)滑动的设于滑行件(6)上，角度调节机构(55)位于滑移机构(54)上，角度调节机构(55)与检测机构(4)连接使检测机构(4)左右摆动，对焦机构(56)与检测机构(4)连接以微调检测机构(4)与栅极(2)间的距离。3.根据权利要求1所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：检测机构(4)包括相机(41)和光源，检测时，相机(41)、光源和栅极(2)上待检测部位处于同一直线上。4.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：滑出机构(51)包括滑板(51-1)和滑出电机(51-2)，滑板(51-1)架设在所述滑轨上，滑出电机(51-2)与滑板(51-1)驱动连接以使滑板(51-1)滑行，滑出电机(51-2)与所述控制系统电连接。5.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：支撑机构(52)还包括底座(52-2)、支撑电机(52-3)和直角基准板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨龙兴，张陈，郭大伟，张卫平，王晴晴，翟吉林，梁栋，
申请(专利权)人：江苏理工学院，
类型：发明
国别省市：江苏,32