微环谐振滤波器及光信号处理系统技术方案

本实用新型专利技术涉及硅基光子学以及半导体制备工艺技术领域，尤其涉及一种微环谐振滤波器及光信号处理系统。本实用新型专利技术提供的微环谐振滤波器以三氧化二铝为衬底，加上硅材料构成的微环谐振腔及两个直波导，利用其结构特点和材料间的折射率差，能够有效降低特定波长的信号在能量传递时过程中的能量损耗，同时获得需要的滤波谱线，具有较窄的3dB带宽。

Microring resonator filter and optical signal processing system

The utility model relates to the technical field of silicon based Photonics and the preparation process of semiconductor, in particular to a micro ring resonant filter and an optical signal processing system. Micro ring resonator filter provided by the utility model three to two aluminum oxide substrate, micro ring resonator formed by silicon material and two straight waveguide, refractive index using the structural characteristics and the material rate among the poor, the energy loss signal can effectively reduce the specific wavelength in the process of energy transfer, and the filter line, with narrow bandwidth of 3dB.

【技术实现步骤摘要】
微环谐振滤波器及光信号处理系统
本技术涉及硅基光子学以及半导体制备工艺
，尤其涉及一种微环谐振滤波器及光信号处理系统。
技术介绍
随着集成电路工艺技术的飞速发展，芯片的集成度更高，芯片上晶体管的数目增加，芯片的功能和处理速度明显提升，这极大程度地推进了通信技术的进步。然而，当集成电路芯片上线条宽度为nm量级时，晶体管材料的物理化学性质会发生很大变化，片上金属导线之间的传输延迟，还伴有严重的散热问题，这进一步限制了集成电路的发展。为了突破电互连对芯片集成的束缚，用光互连来代替电互连。用光集成器件构成的集成光路具有低功耗、高带宽、抗电磁干扰、低成本、小尺寸、适合量产等优点。随着网络通信和互连中数据量的飞速膨胀，这就对其中大量使用的光集成器件提出了更高的要求。在光波导集成器件中，滤波器是极为重要的一类无源器件，应用广泛，可以实现不同波长光信号的复用和解复用，以及提取或抑制某个或某些波长通道。微环谐振滤波器在很小尺寸上可以实现高密度、多功能光子集成，是光电子集成回路中一个很重要的功能单元，是光通信和光传感中的一个重要功能器件，目前也有对微环滤波器的一些特性进行的研究，比如滤波器温度可调本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振滤波器包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设有一个或多个微环谐振腔(2)、输入直波导(3)和输出直波导(4)；所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)互相平行且位于所述微环谐振腔(2)的两侧，所述微环谐振腔(2)的轴线垂直于所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)；所述输入直波导(3)与所述微环谐振腔(2)之间形成第一耦合区域(5)，所述微环谐振腔(2)与所述输出直波导(4)之间形成第二耦合区域(6)；所述衬底(1)的材料为三氧化二铝；所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)的材料为硅。

【技术特征摘要】
1.一种微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振滤波器包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设有一个或多个微环谐振腔(2)、输入直波导(3)和输出直波导(4)；所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)互相平行且位于所述微环谐振腔(2)的两侧，所述微环谐振腔(2)的轴线垂直于所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)；所述输入直波导(3)与所述微环谐振腔(2)之间形成第一耦合区域(5)，所述微环谐振腔(2)与所述输出直波导(4)之间形成第二耦合区域(6)；所述衬底(1)的材料为三氧化二铝；所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)的材料为硅。2.根据权利要求1所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述多个微环谐振腔(2)的半径相同、圆心位于同一条直线上。3.根据权利要求2所述的微环谐振滤波器，其特征在于，相邻的所述微环谐振腔(2)之间形成第三耦合区域(7)。4.根据权利要求3所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)的宽度为180－220nm。5.根据权利要求3所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振腔(2)的外径为950－1050nm，内径为780－820nm。6.根据权利要求3所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振腔(2)、所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)的高度均为90－110nm。7.根据权利要求3所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振腔(2)、所述输入直波导(3)和所述输出直波导(4)在高度上均有40－50nm嵌入衬底(1)内。8.根据权利要求3所述的微环谐振滤波器，其特征在于，所述第一耦合区域(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，佘彦超，黄帅，宋谋胜，
申请(专利权)人：铜仁学院，
类型：新型
国别省市：贵州,52