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微环谐振滤波器及光信号处理系统技术方案
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文档序号:16325008
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本实用新型涉及硅基光子学以及半导体制备工艺技术领域,尤其涉及一种微环谐振滤波器及光信号处理系统。本实用新型提供的微环谐振滤波器以三氧化二铝为衬底,加上硅材料构成的微环谐振腔及两个直波导,利用其结构特点和材料间的折射率差,能够有效降低特定波长...
该专利属于铜仁学院所有,仅供学习研究参考,未经过铜仁学院授权不得商用。
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