激光装置制造方法及图纸

该激光装置可以具有：振荡器，其包括第1激光腔室、光谐振器和配置在第1激光腔室中的第1放电电极对，该振荡器输出激光；第1放大器，其包括配置在从振荡器输出的激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于第2激光腔室中的第2放电电极对，该第1放大器对激光进行放大并输出；以及第1光束调节光学系统，其配置在振荡器和第1放大器之间的光路上，调节从振荡器输出的激光，以使得入射到第1放大器的激光沿第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与第2放电电极对的第1间隙间隔大致相同。

Laser device

The laser device may have an oscillator, comprising first laser cavity, optical resonator and configuration in the first laser cavity in the first electrode of the oscillator, the output laser amplifier; first, which includes second laser cavity configuration in the room, from the light path of the laser oscillator output and to configure the first gap interval in the second discharge the second electrode in the chamber of the laser, the first amplifier and the output of the laser; and first beam adjustment of the optical system, the configuration of optical path between the oscillator and the amplifier first, adjusting output from the oscillator laser, so that the incident beam width to first gap interval and second discharge electrodes along the second laser amplifier first the discharge electrode on the discharge direction of roughly the same.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光装置
本公开涉及激光装置。
技术介绍
激光退火装置是向成膜于基板上的非晶硅膜照射脉冲激光使其改性为多晶硅(ポリシリコン)膜的装置，其中，该脉冲激光是从准分子激光器等激光系统输出的，具有紫外线区域的波长。通过将非晶硅膜改性为多晶硅膜，能够制作TFT(薄膜晶体管)。该TFT用于比较大型的液晶显示器中。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009－277977号公报专利文献2：美国专利第8803027号说明书专利文献3：日本专利第4818871号公报专利文献4：日本专利第5376908号公报
技术实现思路
本公开的一个方面的激光装置可以具有：振荡器，其输出激光，包括第1激光腔室、光谐振器和配置在第1激光腔室中的第1放电电极对；第1放大器，其对激光进行放大并输出，包括配置在从振荡器输出的激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于第2激光腔室中的第2放电电极对；以及第1光束调节光学系统，其配置在振荡器和第1放大器之间的光路上，调节从振荡器输出的激光，以使得入射到第1放大器的激光沿第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与第2放电电极对的第1间隙间隔大致相同。本公开的一个方面的激光装置可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光装置，其中，该激光装置具有：振荡器，其输出激光，包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对；第1放大器，其对所述激光进行放大并输出，包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对；以及第1光束调节光学系统，其配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上，调节从所述振荡器输出的所述激光，以使得入射到所述第1放大器的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与所述第2放电电极对的所述第1间隙间隔大致相同。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光装置，其中，该激光装置具有：振荡器，其输出激光，包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对；第1放大器，其对所述激光进行放大并输出，包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对；以及第1光束调节光学系统，其配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上，调节从所述振荡器输出的所述激光，以使得入射到所述第1放大器的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与所述第2放电电极对的所述第1间隙间隔大致相同。2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第1光束调节光学系统包括正光焦度的第1光学元件、和相比所述第1光学元件靠所述激光的下游侧配置的正或负光焦度的第2光学元件。3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，所述第1光学元件具有第1焦距FL1，所述第2光学元件具有在所述第1焦距FL1以下的第2焦距FL2，入射到所述第1光学元件的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的第1光束宽度A、与从所述第2光学元件射出的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的第2光束宽度B之比B/A由式B/A≒FL2/FL1确定，且所述第2光束宽度B与所述第2放电电极对的所述第1间隙间隔大致相同。4.一种激光装置，其中，该激光装置具有：振荡器，其输出激光，包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对；第1放大器，其对所述激光进行放大并输出，包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对；以及第1光束调节光学系统，其配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上，调节从所述振荡器输出的所述激光，包括正光焦度的第1光学元件、和相比所述第1光学元件靠所述激光的下游侧配置的正或负光焦度的第2光学元件。5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，所述第1光学元件具有第1焦距FL1，所述第2光学元件具有在所述第1焦距FL1以下的第2焦距FL2，所述激光装置被配置为，所述第2光学元件的前侧焦点的位置相比所述第1光学元件的后侧焦点的位置稍靠所述激光的下游侧。6.一种激光装置，其中，该激光装置具有：振荡器，其输出激光，包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对；第1放大器，其对所述激光进行放大并输出，包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对；以及第1光...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒川正树，柿崎弘司，若林理，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP